晶圆探针台自定义测试路径实现方法技术

本发明专利技术提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。本发明专利技术能够实现测试路径的自定义，满足客户对测试路径灵活规划的需求，还能使路径最优化，节省测试时间、提高测试效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆探针台自定义测试路径实现方法
本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法。
技术介绍
传统的晶圆测试方法只能按照晶圆探针台自带的几种固定测试路径实现对晶圆的测试。例如：按照逐行或逐列的顺序进行测试。固定的测试路径不能实现路径的自定义，无法满足客户对测试路径灵活规划的需求。同时无法实现路径的最优化，导致晶圆测试时间相对较长、效率较低。
技术实现思路
鉴于上述技术问题，本专利技术旨在提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，通过测试路径生成软件生成测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中对测试路径进行编辑，从而实现测试路径的自定义。为实现上述目的，本专利技术采用以下具体技术方案：本专利技术提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；/nS2、将测试模式载入所述测试路径编辑文件，在所述测试路径编辑文件中编辑测试路径；/nS3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入所述测试路径生成软件，生成所述晶圆探针台识别的测试路径文件。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；
S2、将测试模式载入所述测试路径编辑文件，在所述测试路径编辑文件中编辑测试路径；
S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入所述测试路径生成软件，生成所述晶圆探针台识别的测试路径文件。


2.如权利要求1所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述测试路径编辑文件为excel文件，在所述excel文件中编辑所述测试路径。


3.如权利要求2所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，在步骤S1之后，还包括如下步骤：
S110、在所述excel文件的sheet表中读取所述model属性图文件中的坐标范围；
S120、根据该坐标范围创建所述she...

【专利技术属性】
技术研发人员：高跃红，王蕾，严大生，邱海斌，董明远，孙德举，崔立志，姜鑫，
申请(专利权)人：长春光华微电子设备工程中心有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22