一种高拉速通用型水冷屏制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高拉速通用型水冷屏，包括中部上下贯穿的筒体、环形腔体、进水管管道、连通管管道以及出水管管道；所述筒体为锥形，上端开口大于下端开口，筒壁内设有中空的腔体，腔体内部设有冷却水水道；所述环形腔体位于筒体的下端开口处，其内部具有环形的中空腔道；所述进水管管道与筒体顶部内侧连接，并与筒体内部的腔体连通；所述连通管管道的一端与筒体顶部内侧连接，并与筒体内部的腔体连通，另一端向下弯折后与位于筒体底部的环形腔体内侧连接，并与环形腔体内的中空腔道连通；所述出水管管道的一端与环形腔体内侧连接，另一端向上并从筒体上端开口处伸出。

【技术实现步骤摘要】
一种高拉速通用型水冷屏
本技术属于单晶领域，具体涉及一种高拉速通用型水冷屏。
技术介绍
随着单晶行业竞争日趋激烈，只有不断提高单小时产出才能立于不败之地。而等径工序在整炉运行时间中占比70％以上，因此提高等径拉速可有效压缩等径时间提高单产。目前行业内利用水冷屏来提高等径拉速已普遍推广。现有各厂家所使用的水冷屏均采用中空金属腔体，内部通入冷却水。这样的结构可保证水冷屏所包围的内部空间处于低温区，从而对晶棒进行冷却，增大晶体生长纵向温度梯度，实现提高等径拉速的目的。现有水冷屏内壁为环形光滑曲面结构，其目的是便于导流同时可防止表面附着硅渣影响成晶。此结构的设计也导致了其散热面积较小。在加上需要考虑CCD相机捕捉直径及操作人员测量直径的需求，因此水冷屏内壁直径通常较大，距离晶棒较远。上述因素导致现有水冷屏对晶棒的冷却效果极其有限，晶体生长的等径拉速继续提高已达到瓶颈，同时现有水冷屏为不锈钢材质成型后只能拉制尺寸小于水冷屏口径40mm以下的晶棒，无法拉制更大直径的晶棒，兼容性较差。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高拉速通用型水冷屏，其特征在于，包括中部上下贯穿的筒体(1)、环形腔体(2)、进水管管道(3)、连通管管道(4)以及出水管管道(5)；/n所述筒体(1)为锥形，上端开口大于下端开口，筒壁内设有中空的腔体，腔体内部设有冷却水水道(11)；/n所述环形腔体(2)位于筒体(1)的下端开口处，其内部具有环形的中空腔道；/n所述进水管管道(3)与筒体(1)顶部内侧连接，并与筒体(1)内部的腔体连通；/n所述连通管管道(4)的一端与筒体(1)顶部内侧连接，并与筒体(1)内部的腔体连通，另一端向下弯折后与位于筒体(1)底部的环形腔体(2)内侧连接，并与环形腔体(2)内的中空腔道连通；/n所述出水管管...

【技术特征摘要】
1.一种高拉速通用型水冷屏，其特征在于，包括中部上下贯穿的筒体(1)、环形腔体(2)、进水管管道(3)、连通管管道(4)以及出水管管道(5)；
所述筒体(1)为锥形，上端开口大于下端开口，筒壁内设有中空的腔体，腔体内部设有冷却水水道(11)；
所述环形腔体(2)位于筒体(1)的下端开口处，其内部具有环形的中空腔道；
所述进水管管道(3)与筒体(1)顶部内侧连接，并与筒体(1)内部的腔体连通；
所述连通管管道(4)的一端与筒体(1)顶部内侧连接，并与筒体(1)内部的腔体连通，另一端向下弯折后与位于筒体(1)底部的环形腔体(2)内侧连接，并与环形腔体(2)内的中空腔道连通；
所述出水管管道(5)的一端与环形腔体(2)内侧连接，另一端向上并从筒体(1)上端开口处伸出。


2.根据权利要求1所述的高拉速通用型水冷屏，其特征在于，所述出水管管道(5)和连通管管道(4)设置在进水管管道(3)相对的一侧；且出水管管道(5)和连通管管道(4)的顶部弯折处，分别设有快拆接头(6)。


3.根据权利要求1所述的高拉速通用型水冷屏，其特征在于，所述环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑伟扬，王思锋，周宇，李莎，
申请(专利权)人：宁夏协鑫晶体科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64