一种大型超硬纳米薄膜涂层设备制造技术

一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，包括滑阀泵、预抽阀、前级阀、扩散阀、高阀、真空镀膜室，所述真空镀膜室包括镀膜室主体、旋转挂架结构和镀膜室门结构，所述旋转挂架结构设置在镀膜室主体中间位置，所述镀膜室门结构设置在镀膜室主体侧边；所述镀膜室门结构为双层结构，所述隔层中设置有脉冲电磁发生器。在双层结构的镀膜室门结构中间层设置脉冲电磁发生器，使腔内等离子能量成倍的加强，从而大大提高了镀膜的沉积速度，提高了真空镀膜室中被镀工件从上到下的均匀性能。

【技术实现步骤摘要】
一种大型超硬纳米薄膜涂层设备
本技术涉及纳米镀膜领域，特别是涉及一种大型超硬纳米薄膜涂层设备。
技术介绍
为了改善一些机械零部件的表面性能，以达到减少振动、降低噪声、减小摩擦、延长寿命等目的，多在零件表面进行纳米薄膜涂层工艺处理，及由尺寸为纳米数量级的组元镶嵌于基体所形成一种耐磨、耐腐蚀涂层的薄膜材料。由于纳米薄膜涂层工艺比较复杂，目前使用的设备存在很大不足：1）现有的设备，由于其挂具结构的安装比较麻烦，故目前市场上的设备高度不超过1500mm高度,这就意味着整个镀膜腔体比较小，其工件的装载量少，其镀膜效率不高；2）挂件上的工件，不同位置的镀膜质量不一致，这就导致整体镀膜存在涂层均匀性以及沉积速度慢等性能的缺陷，从而大大影响产品的总体耐磨性能以及使用寿命等。
技术实现思路
技术目的：本技术的目的是提供一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，解决了纳米薄膜涂层设备使用时候存在的问题。技术方案：本技术提供了一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，包括滑阀泵：泵体内装有滑阀，滑阀内装有偏心轮，偏心轮通到泵缸外面的轴带动旋转，滑阀的外圆在泵本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：包括/n滑阀泵（1）：泵体内装有滑阀，滑阀内装有偏心轮，偏心轮通到泵缸外面的轴带动旋转，滑阀的外圆在泵缸的表面进行滑动，滑阀上部在半圆形滑阀导轨中自由的上下滑动及左右摆动；滑阀上部是中空，气体就通过滑阀的中空部分，被压缩的气体顶开排气阀排出泵外，如此循环工作；/n预抽阀（2）：在滑阀泵启动后，预抽阀主要用作粗抽时打开，即抽低真空时使用，高抽时关闭；/n前级阀（3）：粗抽完成关闭预抽阀后，在抽高真空时开启使用；/n扩散阀（4）：泵体内扩散泵油经加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁，油蒸...

【技术特征摘要】
1.一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：包括
滑阀泵（1）：泵体内装有滑阀，滑阀内装有偏心轮，偏心轮通到泵缸外面的轴带动旋转，滑阀的外圆在泵缸的表面进行滑动，滑阀上部在半圆形滑阀导轨中自由的上下滑动及左右摆动；滑阀上部是中空，气体就通过滑阀的中空部分，被压缩的气体顶开排气阀排出泵外，如此循环工作；
预抽阀（2）：在滑阀泵启动后，预抽阀主要用作粗抽时打开，即抽低真空时使用，高抽时关闭；
前级阀（3）：粗抽完成关闭预抽阀后，在抽高真空时开启使用；
扩散阀（4）：泵体内扩散泵油经加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁，油蒸汽冷凝后返回泵底，气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽流携带到前级，被前级泵抽走；
高阀（5）：粗抽完成关闭预抽阀，打开前级阀后开启，抽高真空时使用；
真空镀膜室（6）：将需涂层产品，按工艺要求悬挂在真空室内的悬架上，利用真空辉光放电，加速正离子使其轰击靶材表面而引起的溅射现象，使靶材表面释放出的原子和分子沉积到产品上而形成薄膜；
所述真空镀膜室（6）包括镀膜室主体（61）、旋转挂架结构（62）、镀膜室门结构（63）和辉光放电结构（64），所述旋转挂架结构（62）设置在镀膜室主体（61）中间位置，所述镀膜室门结构（63）设置在镀膜室主体（61）侧边，所述辉光放电结构（64）设置在镀膜室主体（61）内部靠近内壁侧；所述镀膜室门结构（63）为双层结构，所述双层结构中设置有脉冲电磁发生器。


2.根据权利要求1所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述旋转挂架结构（62）包括旋转电机（621）、联轴器（622）、第一轴承座（623）、第一连接轴结构（624）、挂具结构（625）、第二连接轴结构（626）和第二轴承座（627），所述旋转电机（621）通过联轴器（622）与设置在第一轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：周树法，
申请(专利权)人：昆山立特纳米电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32