一种用于镀膜机的真空辅助加热舱制造技术

一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：所述的加热舱(4)为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道(3)，长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座(3‑10)，滑块座的内侧与链条(3‑13)连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件(3‑8)的旋转杆(3‑7)，旋转杆的下部固定有自转齿轮(3‑5)并与长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。本发明专利技术舱室体积较小减低了制造成本，减少了抽真空时间和占地面积。

【技术实现步骤摘要】
一种用于镀膜机的真空辅助加热舱
本专利技术涉及一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，尤其是涉及一种具有长环形轨道的长方体形真空辅助加热舱。
技术介绍
近年来，为了提高镀膜效率，出现了多种多舱式镀膜机。这些多舱式镀膜机的各舱室可同时实现镀膜工艺不同阶段的功能，例如进料舱、加热舱、离子刻蚀舱、镀膜舱、冷却出料舱等。这些独立功能舱的设计，节约了破真空、抽真空的辅助时间，并分别在各舱室同时独立地进行加热、离子刻蚀、镀膜、冷却等作业，大大提高了生产效率和设备产能，且镀膜舱室始终处于真空状态，降低破真空时充入杂气的影响，提高镀膜质量和稳定性。现有的辅助舱室如加热舱等都是类似圆柱体状，工件在加热舱内一边在水平的圆环形轨道上公转一边自转，圆柱体的舱室体积较大增大了制造成本，也增加了抽真空时间，同时占地也较大。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题，就是提供一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其舱室体积较小减低了制造成本，减少了抽真空时间和占地面积；它可以和进料舱、PVD镀膜舱、还有出料舱一起组成类似连续式镀膜设备。解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案如下：一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：所述的加热舱4为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道3，长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座3-10，滑块座的内侧与链条3-13连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件3-8的旋转杆3-7，旋转杆的下部固定有自转齿轮3-5并与所述的长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。优选地，长环形轨道3包括内舱的长环形轨道底板3-1及其上支承着的垂直截面为T型的长环形轨道滑轨3-12，滑块座3-10底面下伸出两组共四个滚轮3-11，滚轮表面开有凹槽对应长环形轨道滑轨的内外侧边并对称地夹在长环形轨道滑轨内外侧边上，以支承起滑块座。优选地，长环形链条驱动机构包括：相同且水平设置的主动链轮3-15和从动链轮3-25分处两端，位于下方且垂直的伺服电机轴3-24的上端与主动链轮3-15固连，链条的外侧固定有链条连接耳3-14，链条连接耳上又固定有T形连接件3-17伸向外，在滑块座3-10的内侧上端面上固定有开口向内的C形连接件3-19，设计使得T形连接件3-17的外伸部分插入C形连接件3-19的开口内、并设有垂直的限位销3-18将两者铰接。如此，滑块座3-10及其上所承载物被链条带动在环形滑轨上公转，在拐弯段时，可以通过上述铰接实现平稳顺畅拐弯。所述的C形连接件3-19的固定方式为：C形连接件3-19的下端面有凸出块嵌入滑块座3-10上端面的对应凹槽上定位。优选地，所述的滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件的旋转杆的结构为：一工件支撑架底座3-9固定在滑块座3-10上，工件支撑架底座3-9上又固定有轴承座3-6，轴承座3-6通过轴承可转动地支承着旋转轴3-20，旋转轴上固定套有自转齿轮3-5、旋转轴的上端固定地着旋转杆3-7，工件3-8装挂在旋转杆3-7上。优选地，所述的工件支撑架底座3-9上还固定有工件支撑架3-16，工件支撑架3-16的上端设有水平的上连接板3-31，上连接板3-31上开有垂直孔支承限位所述旋转杆3-7的上端。优先地，所述的长环形固定内齿圈由两条对称平行的直线段内齿条3-4以及两端的两段环形段内齿条3-3连接构成。优选地，所述的加热舱4的顶部开有若干真空抽气孔9可外接抽真空设备抽真空、内壁上设有加热器5和水汽捕集器8及测温探针7。有益效果：本专利技术具有长环形轨道的方形真空辅助加热舱方案，减少了舱室空间，在给工件加热的同时，可实现工件挂具自转和公转功能，让产品受热均匀。附图说明图1为方形加热舱外部立体示意图；图2为方形加热舱剖视示意图；图3为长环形轨道立体示意图；图4为图3的A区域局部放大图；图5为图3的A区域剖面图；图6为图3的B区域局部放大图；图7为图3的B区域剖面图；图8为C区域局部放大图。附图中另部名称：1--机架；2--长环形轨道固定座；3--长环形轨道；4--加热舱；5--加热器；6--加热器固定件；7--测温探针；8--水汽捕集器；9--真空抽气孔；10--伺服电机固定件；11--盲板；3-1--长环形轨道底板；3-2--齿条支撑件3-3--环形段内齿条；3-4--直线段内齿条；3-5--自转齿轮；3-6--轴承座；3-7--旋转杆；3-8--工件；3-9--工件支撑架底座；3-10--滑块座；3-11--滚轮；3-12--长环形轨道滑轨；3-13--链条；3-14--链条连接耳；3-15--主动链轮；3-16--工件支撑架；3-17--T形连接件；3-18--限位销；3-19--C形连接件；3-20--旋转轴；3-21--螺钉；3-22--轴承；3-23--卡簧；3-24--伺服电机轴；3-25--从动链轮；3-26--连接板；3-27--轴承；3-28--被动轴承座；3-29--被动旋转轴；3-30--螺母；3-31--工件支撑架上连接板。具体实施方式以下结合附图进一步说明。图1为本专利技术实施例的方形加热舱外部示意图，该图从立体角度展示了方形舱体的结构。图2为方形加热舱内部示意图。它显示方形加热舱是由机架1，长环形轨道3和加热舱4组成。类似足球场边跑道、由两条平行对称直线以及两个半圆弧构成的长环形轨道3通过螺丝固定在长环形轨道固定座2上，长环形轨道固定座2通过螺丝固定在加热舱4的底板上，加热器5通过加热器固定件6固定在舱体侧壁上，测温探针7固定在加热器5的加热管旁边，水汽捕集器8的冷凝盘管固定在舱体壁上，舱体顶板上开了若干抽气口连接管，其管上端口焊连真空抽气孔9，用以外连抽气系统。伺服电机固定件10和伺服电机组装好之后通过螺丝固定在舱体下面，盲板11封堵位于舱体下面的备用孔口。图3为长环形轨道示意图。图4为图3A区域局部放大图。它显示齿条支撑件3-2通过螺丝固定在长环形轨道底板3-1上，齿条支撑件3-2通过螺丝将环形段内齿条3-3和直线段内齿条3-4支撑在对应长环形轨道的长环形轨道滑轨3-12的上方，轴承座3-6四角通过螺丝固定在工件支撑架底座3-9上，工件支撑架底座3-9固定在滑块座3-10上，工件支撑架3-16焊接在工件支撑架底座3-9上，工件3-8装挂在旋转杆3-7上，链条连接耳3-14铆接在链条3-13上。图5为图3A区域剖面图。它显示伺服电机轴3-24的上端面与主动链轮3-15固连在一起，T形连接件3-17固定与链条连接耳3-14固连，C形连接件3-19固连在滑块座3-10的内侧上端面上，C形连接件3-19的下端面有凸出块嵌入滑块座3-10上端面的对应凹槽上定位。T形连接件3-17与C形连接件3-19的连接是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：加热舱(4)为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道(3)，长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座(3-10)，滑块座的内侧与链条(3-13)连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件(3-8)的旋转杆(3-7)，旋转杆的下部固定有自转齿轮(3-5)并与长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：加热舱(4)为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道(3)，长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座(3-10)，滑块座的内侧与链条(3-13)连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件(3-8)的旋转杆(3-7)，旋转杆的下部固定有自转齿轮(3-5)并与长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。


2.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：长环形轨道(3)包括长环形轨道底板(3-1)及其上支承着的垂直截面为T型的长环形轨道滑轨(3-12)，滑块座(3-10)底面下伸出两组共四个滚轮(3-11)，滚轮表面开有凹槽对应长环形轨道滑轨的内外侧边并对称地夹在长环形轨道滑轨内外侧边上，以支承起滑块座。


3.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：长环形链条驱动机构包括：相同且水平设置的主动链轮(3-15)和从动链轮(3-25)分处两端，位于下方且垂直的伺服电机轴(3-24)的上端与主动链轮固连，链条的外侧固定有链条连接耳(3-14)，链条连接耳上又固定有T形连接件(3-17)伸向外，在滑块座(3-10)的内侧上端面上固定有开口向内的C形连接件(3-19)，设计使得T形连接件的外伸部分插入C形连接件的开口内、并设有垂直的限位销(3-18)将两者铰接。


4.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：C形连接件(3-19)的固定方式为：C形连接件的下端面有凸出块嵌入滑块座(3-10)上端面的对应凹槽内定位。

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【专利技术属性】
技术研发人员：李志方，曾琨，魏先进，张明辉，李玉婷，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44