一种蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；蒸镀装置、填料装置分别设置于蒸镀腔体内，填料装置设置于蒸镀装置的一侧，旋转机构与填料装置可拆卸连接；蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；填料装置用于向蒸镀装置提供蒸镀材料；旋转机构用于将填料装置旋转至蒸镀装置上方；填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；感应机构设置于填料腔体的内壁上，出料开关设置于填料腔体上；填料腔体用于存放蒸镀材料；感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。蒸镀过程中，可以完全在真空状态下进行加料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，避免外界空气中的颗粒进入腔体内，保持了蒸镀腔体内的洁净度，提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备
本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀设备。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDisplay),即有机发光显示屏，在MP3屏幕应用领域属于新崛起的种类，被誉为“梦幻显示屏”。它无需背光灯，而是“主动发光“它抛弃了传统LCD的缺点，每个像素都可自行发光，不管在什么角度什么光线下都可以比传统LCD显示更加清晰的画面，环境越黑屏幕越亮，犹如夜间的荧彩精灵。蒸镀就是其中很关键的制程工艺，其工艺为在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在玻璃基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。在现有技术中，蒸镀设备因需要定期频繁地开腔进行加料，开腔加料过程需一定时间打开腔门，使得外界空气中的颗粒进入腔体内，从而影响腔体内环境的洁净度，污染腔体环境，影响产品质量；且因蒸镀过程中因蒸镀源内的蒸镀材料不足需破真空加料，从而中断镀膜，影响产能。
技术实现思路
为此，需要提供一种蒸镀设备，用于解决在现有技术中，蒸镀设备因需要定期频繁地开腔进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；/n所述蒸镀装置、所述填料装置分别设置于所述蒸镀腔体内，所述填料装置设置于所述蒸镀装置的一侧，所述旋转机构与所述填料装置可拆卸连接；/n所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；/n所述填料装置用于向所述蒸镀装置提供蒸镀材料；/n所述旋转机构用于将所述填料装置旋转至所述蒸镀装置上方；/n所述填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；/n所述感应机构设置于所述填料腔体的内壁上，所述出料开关设置于所述填料腔体上；/n所述填料腔体用于存放蒸镀材料；/n所述感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；
所述蒸镀装置、所述填料装置分别设置于所述蒸镀腔体内，所述填料装置设置于所述蒸镀装置的一侧，所述旋转机构与所述填料装置可拆卸连接；
所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；
所述填料装置用于向所述蒸镀装置提供蒸镀材料；
所述旋转机构用于将所述填料装置旋转至所述蒸镀装置上方；
所述填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；
所述感应机构设置于所述填料腔体的内壁上，所述出料开关设置于所述填料腔体上；
所述填料腔体用于存放蒸镀材料；
所述感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。


2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀装置包括坩埚以及加热源，所述坩埚设置于所述加热源上，所述加热源用于加热所述坩埚。


3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述旋转机构包括旋转轴以及支撑杆，所述支撑杆一端与所述旋转轴连接，所述支撑杆另一端与所述填料腔体可拆卸连接。


4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述填料装置还包括压缩部件，所述压缩部件设置于所述填料腔体内，所述压缩部件用于压缩所述填料腔体内的蒸镀材料。


5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备还包括控制机构，所述控制机构用于控...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑沂，林志斌，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35