一种线源坩埚余料检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种线源坩埚余料检测装置，坩埚上盖盖设于坩埚本体上，且坩埚上盖上设置有多个喷嘴；还包括：检测装置，检测装置用于检测线源坩埚内剩余的蒸镀材料；检测装置为超声波监测仪，超声波监测仪设置于坩埚上盖上方，且超声波监测仪包括：超声波发射探头、超声波接收装置，超声波发射探头、超声波接收装置集成在超声波监测仪内，且超声波发射探头用于发出超声波信号，超声波接收装置用于接收超声波信号；或者检测装置为磁场发射装置、磁场传感器，磁场发射装置设置于坩埚上盖上方，磁场传感器设置于坩埚本体下方；磁场发射装置用于发射磁场，磁场传感器用于接收磁场。提高了蒸镀产品的良率以及生产效率，减少废料的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种线源坩埚余料检测装置
本技术涉及线源坩埚蒸镀余料检测
，尤其涉及一种线源坩埚余料检测装置。
技术介绍
目前，一般采用真空蒸镀的方式制备器件的有机发光层，在真空环境下，加热线性蒸镀源坩埚中的升华型有机材料使其气化，气化的升华型有机材料通过喷嘴喷出，最后在玻璃基板上冷沉积凝结成膜。然而线性蒸镀源在对线性坩埚内部升华型的有机材料进行加热时容易出现受热不均匀的现象，导致线性坩埚内升华型有机材料分布不均匀，如果升华型有机材料少的区域随着蒸镀时不断的加热而使得有机材料裂解产生灰质，若蒸镀到基板上会影响到器件的性能。升华型有机材料在线性坩埚内经过一段时间的加热会出现有机材料在坩埚底部分布不均匀的现象，如果不知道在坩埚底部某区域的有机材料是否使用完，而继续对坩埚进行加热使用就有可能导致坩埚加热不均匀，或是少量的有机材料因为过热而导致裂解产生灰质，最终会影响器件的光电性能。在经过一段时间的加热后，若要判断有机材料在坩埚内的剩余量或是需要知道坩埚内是否还有剩余的有机材料，就要拆开坩埚观察情况，而此时装坩埚的腔体要降温后才可以破真空，再进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线源坩埚余料检测装置，线源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚上盖；所述坩埚上盖盖设于所述坩埚本体上，且所述坩埚上盖上设置有多个喷嘴；其特征在于：还包括：多个的检测装置，所述检测装置用于检测所述线源坩埚内剩余的蒸镀材料；/n所述检测装置为超声波监测仪，所述超声波监测仪设置于所述坩埚上盖上方，且所述超声波监测仪包括：超声波发射探头和超声波接收装置，所述超声波发射探头、超声波接收装置集成在所述超声波监测仪内，且所述超声波发射探头用于发出超声波信号，所述超声波接收装置用于接收超声波信号；多个的检测装置的超声波发射探头和超声波接收装置排成一排且平行于坩埚本体内侧底面；/n或者所述检测装置为磁场发射装置和...

【技术特征摘要】
1.一种线源坩埚余料检测装置，线源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚上盖；所述坩埚上盖盖设于所述坩埚本体上，且所述坩埚上盖上设置有多个喷嘴；其特征在于：还包括：多个的检测装置，所述检测装置用于检测所述线源坩埚内剩余的蒸镀材料；
所述检测装置为超声波监测仪，所述超声波监测仪设置于所述坩埚上盖上方，且所述超声波监测仪包括：超声波发射探头和超声波接收装置，所述超声波发射探头、超声波接收装置集成在所述超声波监测仪内，且所述超声波发射探头用于发出超声波信号，所述超声波接收装置用于接收超声波信号；多个的检测装置的超声波发射探头和超声波接收装置排成一排且平行于坩埚本体内侧底面；
或者所述检测装置为磁场发射装置和磁场传感器，所述磁场发射装置设置于所述坩埚上盖上方，所述磁场传感器设置于所述坩埚本体下方；所述磁场发射装置用于发射磁场，所述磁场传感器用于接收磁场；多个的检测装置的磁场发射装置排...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄逸臻，孙玉俊，林仕龙，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35