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本实用新型公开了一种线源坩埚余料检测装置，坩埚上盖盖设于坩埚本体上，且坩埚上盖上设置有多个喷嘴；还包括：检测装置，检测装置用于检测线源坩埚内剩余的蒸镀材料；检测装置为超声波监测仪，超声波监测仪设置于坩埚上盖上方，且超声波监测仪包括：超声波发...
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