一种基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器，所述分束器包括波导层、热电极、缓冲层、输入端和输出端，所述波导层包括三段拉锥脊形波导、S形弯曲脊形波导和直波导、阿基米德螺线形弯曲脊形波导、直脊形波导以及输出脊形波导，由SOI材料制备，所述热电极和缓冲层依次设置于波导层的上方，且所述热电极由TiN材料制备，通过在所述热电极的两端施加电压可以改变其温度。通过本发明专利技术可以实现对输入光信号的偏振旋转、分束和分束比调节，可应用于偏振复用系统、相干光通信系统、光逻辑门设计等，具有插入损耗低、工艺简单、可重构性强、宽工作带宽等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器
本专利技术涉及光通信的
，尤其涉及一种基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器。
技术介绍
随着信息化的逐步发展，人们对超高速率、超大容量和超低功耗的信息传输、处理的需求日益增加，由此也带来了调制技术和复用技术的蓬勃发展。各种模拟调制技术和数字调制技术显著的提升了光通信的光谱利用率。复用技术可以在调制技术的基础上进一步提升通信容量。其中偏振复用就是利用不同的偏振态同时携带信息进行通信，一般是利用两种正交的偏振态来携带各自信息，这样在同等传输带宽下，偏振复用就增加了一倍的传输数据量。偏振旋转分束器是光偏振复用系统中的不可或缺的光学器件，其作用是对光偏振态进行旋转和对光功率进行分束。为实现光的旋转和分束，早期通常使用玻片和棱镜，但这两种器件尺寸大且不能集成，因此在实际应用中要求有好的替代材料。随着微加工工艺的提升，人们可以加工出品质优良的亚微米级结构，该技术就硅基光波导器件设计与制造创造了条件，基于SOI(SilicononInsulator，绝缘体上的硅)的偏振旋转分束器可与CMOS兼容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器，其特征在于：所述分束器包括波导层、热电极和缓冲层，所述波导层包括三段拉锥脊形波导、S形弯曲脊形波导和直波导、阿基米德螺线形弯曲脊形波导、直脊形波导以及输出脊形波导，均设置于同一平面且由SOI材料制备，所述S形弯曲脊形波导和直波导、所述阿基米德螺线形弯曲脊形波导分别与所述三段拉锥脊形波导相连接，所述直脊形波导与所述S形弯曲脊形波导和直波导相连接，所述输出脊形波导与所述直脊形波导相连接，所述热电极和缓冲层依次设置于波导层的上方，且所述热电极由TiN材料制备，通过在所述热电极的两端施加电压可以改变其温度；/n所述分束器还包括输入端和输出端，分别用于光...

【技术特征摘要】
1.一种基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器，其特征在于：所述分束器包括波导层、热电极和缓冲层，所述波导层包括三段拉锥脊形波导、S形弯曲脊形波导和直波导、阿基米德螺线形弯曲脊形波导、直脊形波导以及输出脊形波导，均设置于同一平面且由SOI材料制备，所述S形弯曲脊形波导和直波导、所述阿基米德螺线形弯曲脊形波导分别与所述三段拉锥脊形波导相连接，所述直脊形波导与所述S形弯曲脊形波导和直波导相连接，所述输出脊形波导与所述直脊形波导相连接，所述热电极和缓冲层依次设置于波导层的上方，且所述热电极由TiN材料制备，通过在所述热电极的两端施加电压可以改变其温度；
所述分束器还包括输入端和输出端，分别用于光的输入和输出，所述输出端还包括第一输出端和第二输出端。


2.如权利要求1所述的基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器，其特征在于：所述三段拉锥脊形波导包括第一拉锥脊形波导、第二拉锥脊形波导、第三拉锥脊形波导和第四拉锥脊形波导，依次连接且第三拉锥脊形波导的长度最长，用于偏振旋转和模式转化，第二拉锥脊形波导和第四拉锥脊形波导用于匹配不同宽度的脊形波导。


3.如权利要求2所述的基于SOI的宽带可调分束比偏振旋转分束器，其特征在于：所述S形弯曲脊形波导和直波导包括呈对称结构的第一S形弯曲脊形波导和的第四S形弯曲脊形波导，所述第一S形弯曲脊形波导和的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔一平，邓春雨，胡国华，徐嘉鑫，孙彧，黄磊，恽斌峰，张若虎，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32