石英玻璃坩埚的自动成型装置制造方法及图纸

技术编号:27932975 阅读:15 留言:0更新日期:2021-04-02 14:12
本实用新型专利技术的石英玻璃坩埚的自动成型装置,包括机架、升降装置、摆动装置、石英砂成型装置、控制装置,所述机架与升降装置固定连接,升降装置与摆动装置固定连接,以带动摆动装置上下移动,摆动装置与石英砂成型装置固定连接,以带动石英砂成型装置在水平方向上转动,控制装置与升降装置、摆动装置、石英砂成型装置电性连接,以控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作。通过在控制装置上设置相关参数,控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作,从而将石英砂布置到模具的预定位置,进而能够高效的加工出规格较为复杂的石英砂坩埚,同时节省了模具的使用。

【技术实现步骤摘要】
石英玻璃坩埚的自动成型装置
本技术涉及半导体材料生产设备
,尤其涉及一种石英玻璃坩埚的自动成型装置。
技术介绍
石英玻璃坩埚目前主要用于太阳能和半导体行业拉晶。目前石英玻璃坩埚成型都是使用简单、粗糙的人工倒砂方式完成,再使用成型棒完成成型,然后将模具送入熔融室内,通过石墨电极产生的电弧高温将石英砂融化,并且高温融化的过程中石墨模具外侧要不断抽真空形成真空压力,最后将熔融后的石英砂冷却形成一定尺寸和形状的石英玻璃坩埚。不同的坩埚规格不同,同一坩埚的不同部分的厚度也不同,这种方式在生产规格不同的坩埚时,需要更换模具,如果坩埚的种类非常多,那么所需的模具也就非常多,从而增加了坩埚的生产成本。同时,换模过程也费时费力,造成生产坩埚的效率比较低。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种低成本的、高效的石英玻璃坩埚的自动成型装置。一种石英玻璃坩埚的自动成型装置包括机架、升降装置、摆动装置、石英砂成型装置、控制装置,所述支撑装置与升降装置固定连接,升降装置与摆动装置固定连接,以带动摆动装置上下移动,摆动装置与石英砂成型装置固定连接,以带动石英砂成型装置在水平方向上转动,控制装置与升降装置、摆动装置、石英砂成型装置电性连接,以控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作。优选的,所述升降装置包括升降电机、升降丝杆、导轨座,所述升降电机的机身与机架的上端固定连接,升降电机的转轴与升降丝杆的上端固定连接,升降丝杆竖直设置在机架上,且升降丝杆的下端与机架通过轴承固定连接,导轨座的一侧设有螺纹孔,升降丝杆与导轨座通过螺纹孔螺纹连接,导轨座的另一侧与摆动装置固定连接,相应的,机架上还设有导轨,导轨座的水平两端与机架上的导轨卡合连接,以使导轨座稳定移动。优选的,所述升降装置还包括可伸缩防尘套,可伸缩防尘罩与升降丝杆套设连接,可伸缩防尘套的下端与机架固定连接,可伸缩防尘套的上端与导轨座固定连接。优选的,所述升降装置还包括电缆拖链,缆拖链的一端与导轨座固定连接,电缆拖链的另一端与机架固定连接。优选的,所述摆动装置包括摆动电机、连接轴、摆动支架,所述摆动电机的机身与导轨座的上端固定连接,摆动电机的转轴与连接轴固定连接,连接轴的两端与导轨座套设连接,连接轴还与摆动支架固定连接,以带动摆动支架转动。优选的,所述石英砂成型装置包括支撑架、若干装料桶、引流管、截砂阀、汇流管、下砂管、石英砂甩盘、旋转轴、旋转电机,所述支撑架的下端与摆动支架固定连接,支撑架的上端与装料桶固定连接,装料桶的出料口与引流管的上端连通,截砂阀设置在引流管上,引流管的下端与汇流管的上端连通,汇流管的下端与下砂管的上端固定连接,下砂管的下端与石英砂甩盘相正对,以通过石英砂甩盘将石英砂甩出,石英砂甩盘的中心与旋转轴的下端固定连接,旋转轴的上端与旋转电机固定连接,以使旋转电机带动旋转轴转动。优选的,所述控制装置包括PLC控制器,所述括PLC控制器与升降电机、摆动电机、截砂阀、旋转电机电性连接,PLC控制器上设有控制参数,以控制升降电机、摆动电机、旋转电机的转动速率和转动时间。有益效果:本技术的石英玻璃坩埚的自动成型装置包括机架、升降装置、摆动装置、石英砂成型装置、控制装置,所述支撑装置与升降装置固定连接,升降装置与摆动装置固定连接,以带动摆动装置上下移动,摆动装置与石英砂成型装置固定连接,以带动石英砂成型装置在水平方向上转动,控制装置与升降装置、摆动装置、石英砂成型装置电性连接,以控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作。通过在控制装置上设置相关参数,控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作,从而将石英砂布置到模具的预定位置,进而能够高效的加工出规格较为复杂的石英砂坩埚,同时节省了模具的使用。附图说明图1为本技术的石英玻璃坩埚的自动成型装置的结构示意图。图2为图1的局部结构示意图。图3为本技术的石英玻璃坩埚的自动成型装置的侧视图。图中:石英玻璃坩埚的自动成型装置10、机架20、升降装置30、升降电机301、升降丝杆302、导轨座303、可伸缩防尘套304、电缆拖链305、摆动装置40、摆动电机401、连接轴402、摆动支架403、石英砂成型装置50、支撑架501、装料桶502、引流管503、截砂阀504、汇流管505、下砂管506、石英砂甩盘507、旋转轴508、旋转电机509。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。请参看图1至图3,一种石英玻璃坩埚的自动成型装置10包括机架20、升降装置30、摆动装置40、石英砂成型装置50、控制装置,所述支撑装置与升降装置30固定连接,升降装置30与摆动装置40固定连接,以带动摆动装置40上下移动,摆动装置40与石英砂成型装置50固定连接,以带动石英砂成型装置50在水平方向上转动,控制装置与升降装置30、摆动装置40、石英砂成型装置50电性连接,以控制升降装置30、摆动装置40以及石英砂成型装置50工作。进一步的,所述升降装置30包括升降电机301、升降丝杆302、导轨座303,所述升降电机301的机身与机架20的上端固定连接,升降电机301的转轴与升降丝杆302的上端固定连接,升降丝杆302竖直设置在机架20上,且升降丝杆302的下端与机架20通过轴承固定连接,导轨座303的一侧设有螺纹孔,升降丝杆302与导轨座303通过螺纹孔螺纹连接,导轨座303的另一侧与摆动装置40固定连接,相应的,机架20上还设有导轨,导轨座303的水平两端与机架20上的导轨卡合连接,以使导轨座303稳定移动。具体的,导轨座303上设有滚珠丝母,滚珠丝母与升降丝杆302配合使用,丝母和丝杆定期注入润滑脂。由于作业环境中石英砂粉尘颗粒很多,石英砂颗粒落到升降丝杆302上,就会粘附在丝杆表面,长期积累,就会严重影响丝杆的寿命。因此,进一步的,所述升降装置30还包括可伸缩防尘套304,可伸缩防尘罩与升降丝杆302套设连接,可伸缩防尘套304的下端与机架20固定连接,可伸缩防尘套304的上端与导轨座303固定连接。在实际工作中,导轨座303的升降行程约3300毫米,与用电部件连接的电缆也需要配合移动。为了更好的保护电缆,因此,进一步的,所述升降装置30还包括电缆拖链305,缆拖链的一端与导轨座303固定连接,电缆拖链305的另一端与机架20固定连接。电缆拖链305能够保护电缆,同时也能够使走线整齐美观。进一步的,所述摆动装置40包括摆动电机401、连接轴402、摆动支架403,所述摆动电机401的机身与导轨座303的上端固定连接,摆动电机401的转轴与连接轴402固定连接,连接轴402的两端与导轨座303套设连接,连接轴402还与摆动支架403固定连接,以带动摆动支架403转动。在一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英玻璃坩埚的自动成型装置,其特征在于:包括机架、升降装置、摆动装置、石英砂成型装置、控制装置,所述机架与升降装置固定连接,升降装置与摆动装置固定连接,以带动摆动装置上下移动,摆动装置与石英砂成型装置固定连接,以带动石英砂成型装置在水平方向上转动,控制装置与升降装置、摆动装置、石英砂成型装置电性连接,以控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃坩埚的自动成型装置,其特征在于:包括机架、升降装置、摆动装置、石英砂成型装置、控制装置,所述机架与升降装置固定连接,升降装置与摆动装置固定连接,以带动摆动装置上下移动,摆动装置与石英砂成型装置固定连接,以带动石英砂成型装置在水平方向上转动,控制装置与升降装置、摆动装置、石英砂成型装置电性连接,以控制升降装置、摆动装置以及石英砂成型装置工作。


2.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的自动成型装置,其特征在于:所述升降装置包括升降电机、升降丝杆、导轨座,所述升降电机的机身与机架的上端固定连接,升降电机的转轴与升降丝杆的上端固定连接,升降丝杆竖直设置在机架上,且升降丝杆的下端与机架通过轴承固定连接,导轨座的一侧设有螺纹孔,升降丝杆与导轨座通过螺纹孔螺纹连接,导轨座的另一侧与摆动装置固定连接,相应的,机架上还设有导轨,导轨座的水平两端与机架上的导轨卡合连接,以使导轨座稳定移动。


3.如权利要求2所述的石英玻璃坩埚的自动成型装置,其特征在于:所述升降装置还包括可伸缩防尘套,可伸缩防尘罩与升降丝杆套设连接,可伸缩防尘套的下端与机架固定连接,可伸缩防尘套的上端与导轨座固定连接。


4.如权利要求2所述的石英玻璃坩埚的自动成型装置,其特征在于:所述升降装置还包括电缆拖链,缆...

【专利技术属性】
技术研发人员:王海东李常国杨春慧李杰
申请(专利权)人:宁夏富乐德石英材料有限公司
类型:新型
国别省市:宁夏;64

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