一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法技术

本发明专利技术公开了一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；磨削废液收集后经一次过滤和二次分离，得到的混合粉末固体除油进行比重分离得到ITO粉末固体和杂质固体分开，ITO粉末固体水洗后干燥得到ITO粉末。本发明专利技术具有从磨削废液中回收ITO粉末，磨削废液采用二次分离的方法，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法
本专利技术涉及ITO靶材
，具体为一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法。
技术介绍
氧化铟锡是一种铟(III族)氧化物(In2O3)和锡(IV族)氧化物(SnO2)的混合物，通常质量比为90％In2O3，10％SnO2。它在薄膜状时，透明，略显茶色。在块状态时，它呈黄偏灰色。ITO主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有EMI屏蔽的透明传导镀膜。ITO也被用于各种光学镀膜，最值得注意的有建筑学中红外线-反射镀膜(热镜)、汽车、还有钠蒸汽灯玻璃等。别的应用包括气体传感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。ITO薄膜应可以在高于1400℃及严酷的环境中使用，例如气体涡轮、喷气引擎、还有火箭引擎。近年来，随着电子信息技术的发展，用于沉积ITO薄膜的靶材用量迅猛增加，但是目前ITO靶材的利用率只有30％左右，会有70％的靶材成为废料，存在很大的资源浪费问题。在生产ITO靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；/n所述方法包括以下步骤：/nS1、从磨削机上流出的磨削废液收集到超滤膜筒内，磨削废液从超滤膜筒内的超滤膜通过，超滤膜筒将磨削废液中大部分的混合粉末固体拦截过滤，少量小颗粒的混合粉末固体通过超滤膜筒；/nS2、经过超滤膜筒一次过滤后的磨削废液进入到固液分离机内，在固液分离机的作用下，废液和混合粉末固体分离，废液和混合粉末固体分开排出；固液分离机只分离少量的混合粉末固体，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机...

【技术特征摘要】
1.一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；
所述方法包括以下步骤：
S1、从磨削机上流出的磨削废液收集到超滤膜筒内，磨削废液从超滤膜筒内的超滤膜通过，超滤膜筒将磨削废液中大部分的混合粉末固体拦截过滤，少量小颗粒的混合粉末固体通过超滤膜筒；
S2、经过超滤膜筒一次过滤后的磨削废液进入到固液分离机内，在固液分离机的作用下，废液和混合粉末固体分离，废液和混合粉末固体分开排出；固液分离机只分离少量的混合粉末固体，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命；
S3、经过超滤膜筒一次过滤后的混合粉末固体和固液分离机分离出的混合粉末固体一起加入到除油锅中，先加入机油，ITO粉末混合固体浸泡1-2min后再次加入阴离子表面活性剂，再次将ITO粉末混合固体浸泡3-5min，浸泡的过程通过搅拌机对除油锅内溶液匀速搅拌；除油后将混合粉末固体捞出并用纯净水进行洗涤得到干净的混合粉末固体；
S4、将S3中等到的干净的混合粉末固体加入到分离机中，分离机中加入50-60％浓度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作为比重分离溶液，混合粉末固体加入后先搅拌，然后停止搅拌使溶液静置，等到溶液分层后捞出上层溶液的漂浮物，再次沉淀，重复沉淀-捞出操作，直到上层溶液不再有漂浮物，将ITO粉末和杂质粉末分离；
S5、经过分离机分离后的ITO粉末固体进行水洗作业，水洗流程分为浸泡和持续冲洗两个步骤，经过分离机分离的ITO粉末固体装入到超滤膜袋中，超...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐安泰，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43