A solenoid device including a magnetic field sensor and a method of operating the device are described. The apparatus includes a magnetic field generator that generates flux extending through at least partially by a ferromagnetic material and defining a gap of a magnetic circuit body in the absence of an actual ferromagnetic material. A magnetic flux sensor is provided to detect a portion of the magnetic flux that extends across the gap. The device can be used as a fluid flow control valve.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及螺线管装置，更具体地涉及螺线管流量控制阀。
技术介绍
在例如半导体制造、光涂覆沉积以及平板显示器制造的许多工业制造场合中，流动气体和液体的控制和测量是重要的。例如，这些应用可能需要采用精确量的流体以形成具有要求厚度和成分的膜。质量流量控制器一般被用于流体流量控制和/或测量以支持用于这些场合的加工工具。质量流量控制器一般包括介于流体流通过阀孔其间的螺线管阀。普通的螺线管阀具有环绕在柱塞芯周围并封装在壳体内的绝缘线圈。将电流施加到线圈可相对于或靠向阀座中的孔地定位柱塞以控制流体流动速率。柱塞芯可用具有高磁导性材料(例如铁合金)制成。柱塞芯中形成所的磁通对柱塞芯产生磁力，该磁力与由阀的弹性部件所施加力的方向相反。可通过控制柱塞相对于阀座的位置而控制流过阀的流体。在一个操作模式中，通过选择施加于线圈的电流而选择柱塞位置。施加于柱塞的电磁力随电流的变化而变化，由此柱塞芯响应电流的改变移向阀座或移离阀座。柱塞的位置是由作用在柱塞上的力平衡确定的，例如弹性力、磁力和流体相关力。一些流量计装置的控制系统依赖于下列假设而形成即输入至螺线管阀线圈的给定电流在柱塞上产...
【技术保护点】
一种螺线管装置，包括：磁通回路体，至少部分由铁磁材料形成，并限定有效摆脱铁磁体桥的间隙；磁场发生器，在包含磁通回路体和间隙的电路中产生磁通；以及磁通传感器，对跨间隙延伸的磁通的一部分进行检测。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：MM贝森，
申请(专利权)人：MKS仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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