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具有磁场传感器的流量控制阀制造技术
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下载具有磁场传感器的流量控制阀的技术资料
文档序号:2791885
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描述了包括磁场传感器的螺线管装置以及操作该装置的方法。该装置包括产生延伸通过至少部分由铁磁材料制成并限定实际无铁磁材料的间隙的磁通回路体的磁通的磁场发生器。设置磁通传感器以检测横过间隙延伸的磁通的一部分。该装置可用作流体流量控制阀。...
该专利属于MKS仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器股份有限公司授权不得商用。
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