一种危险废气无害处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种危险废气无害处理设备，包括进气筒(100)、第一管路(200)、第二管路(300)、第三管路(400)和风机筒(500)，进气筒(100)的中部分别与第一管路(200)和第二管路(300)连通，第一管路(200)和第二管路(300)均包括阀门和吸附桶，第三管路(400)连通第一管路(200)、第二管路(300)和风机筒(500)的中部，风机筒(500)的上部设有风机(501)，吸附桶内部均填充吸附剂。本实用新型专利技术采用吸附式处理方案，可实现所用设备有害颗粒及残留危险液体排放性质尾气、毒性尾气、腐蚀性尾气的一次性、集中性处理，设备安装容易，操作简单，废气处理能耗低。

【技术实现步骤摘要】
一种危险废气无害处理设备
本技术涉及特殊气体废气处理
，特别涉及一种危险废气无害处理设备。
技术介绍
目前，新基建如火如荼的进展。IC芯片、新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业的发展，各类工厂和科研院所对于设备尾气的排放也越来越重视。在这些行业中，工业气体使用的频率非常高，除惰性气体如氩气(Ar)、氮气(PN2)、氦气(He)等，还会经常会使用到硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)等自燃性气体，有些设备同时还会使用到诸如氨气(NH3)、氯化氢(HCl)、笑气(N2O)、氯气(Cl2)等毒性、腐蚀性的气体。还有一些气体性质更加危险复杂，既是易燃易爆性，又兼具毒腐性质。当然这类气体由于自身特性在供应过程中涉及到的吹扫、抽真空及设备本身尾气的排放等，会掺杂一些工艺气体在排放的尾气当中，甚至还会有一些残留危险液体及有害颗粒。如果直接排放，当然是不符合国家相关环保的要求，如果产生泄露将给环境、操作人员造成极大的危害，甚至影响到生命安全。目前，传统的尾气处理设备采用燃烧式或水洗式，需要采用加热燃烧或水洗的方式处理尾气，存在设备安装困本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种危险废气无害处理设备，其特征在于，包括进气筒(100)、第一管路(200)、第二管路(300)、第三管路(400)和风机筒(500)，所述进气筒(100)的顶部设有第一阀门(101)，所述进气筒(100)的中部分别与所述第一管路(200)和所述第二管路(300)连通，所述第一管路(200)包括依次连通的第二阀门(201)、第一吸附桶(202)、第二吸附桶(203)、第三阀门(204)，所述第二管路(300)包括依次连通的第四阀门(301)、第三吸附桶(302)、第四吸附桶(303)、第五阀门(304)，所述第三管路(400)包括依次连通的三通管(401)和第六阀门(402)，所述三通管...

【技术特征摘要】
1.一种危险废气无害处理设备，其特征在于，包括进气筒(100)、第一管路(200)、第二管路(300)、第三管路(400)和风机筒(500)，所述进气筒(100)的顶部设有第一阀门(101)，所述进气筒(100)的中部分别与所述第一管路(200)和所述第二管路(300)连通，所述第一管路(200)包括依次连通的第二阀门(201)、第一吸附桶(202)、第二吸附桶(203)、第三阀门(204)，所述第二管路(300)包括依次连通的第四阀门(301)、第三吸附桶(302)、第四吸附桶(303)、第五阀门(304)，所述第三管路(400)包括依次连通的三通管(401)和第六阀门(402)，所述三通管(401)分别连通所述第一管路(200)和所述第二管路(300)，所述风机筒(500)的中部与所述第三管路(400)连通，所述风机筒(500)的上部设有风机(501)，所述风机筒(500)的顶部设有法兰连接件(502)，所述第一吸附桶(202)、所述第二吸附桶(203)、所述第三吸附桶(302)和所述第四吸附桶(303)内部均填充吸附剂。


2.如权利要求1所述的一种危险废气无害处理设备，其特征在于，还包括设于所述第一管路(200)的第一压力传感器(205)、设于所述第二管路(300)的第二压力传感器(305)、设于所述第三管路(400)的第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘跃，
申请(专利权)人：深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44