传送机械手制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头，正电荷端头和电子端头均设于支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。本实用新型专利技术提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤。

【技术实现步骤摘要】
传送机械手
本技术涉及半导体加工
，尤其涉及传送机械手。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体产品繁多，工艺制程复杂，晶圆为硅半导体集成电路制作所用的硅晶片。晶圆厚度在不同的晶圆厂有很大的不同，加之和晶圆接触的晶圆接触器接触面积被要求尽量小以避免缺陷和曝光问题。晶圆的厚度不同，相关技术中，用于传送晶圆的传送机械手中，一种规格的传送机械手适应一种规格的晶圆，目前没有一种传送机械手可以传送不同规格的晶圆，使得晶圆的传送成本较高，设备投入大。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤。根据本技术实施例的传送机械手，包括：基体，包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；电源，包括正极端和负极端；静电发生装置，连接于电源，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。根据本技术的一个实施例，所述支撑部上设置多条所述预设路径，在相邻所述预设路径上，所述正电荷端头与所述电子端头一一对应。根据本技术的一个实施例，所述电源与所述静电发生装置之间设置换向部件，所述换向部件处于第一状态，所述正电荷端头连接所述正极端，所述电子端头连接所述负极端；所述换向部件处于第二状态，所述正电荷端头连接所述负极端，所述电子端头连接所述正极端。根据本技术的一个实施例，所述电源设置一组，所述正极端连接有第一导线，所述负极端连接有第二导线，所述换向部件为换向开关，所述换向开关的两端分别所述第一导线与所述第二导线，所述换向开关关闭，所述正电荷端头连接所述正极端，所述电子端头连接所述负极端；所述换向开关打开，所述正电荷端头连接所述负极端，所述电子端头连接所述正极端。根据本技术的一个实施例，所述电源包括并联设置的第一直流电源发生器和第二直流电源发生器且所述第一直流电源发生器的正极端与所述第二直流电源发生器的正极端反向，所述换向部件包括第一开关和第二开关，所述第一开关连接于所述第一直流电源发生器所在支路，所述第二开关连接于所述第二直流电源发生器所在支路；所述第一开关打开且所述第二开关关闭，所述正电荷端头连接所述第一直流电源发生器的正极端，所述电子端头连接所述第一直流电源发生器的负极端；所述第一开关关闭且所述第二开关打开，所述正电荷端头连接连接所述第二直流电源发生器的负极端，所述电子端头连接所述第二直流电源发生器的正极端。根据本技术的一个实施例，所述支撑部设有晶圆接触器，所述晶圆接触器凸出于所述支撑部的表面，所述晶圆接触器的底部设有压力传感器。根据本技术的一个实施例，还包括中央处理器，所述电源和所述压力传感器均连接于所述中央处理器，所述中央处理器内存储有所述静电发生装置的输入电压与所述压力传感器的输出电压之间的关系模型，所述电源停止向所述静电发生装置供电，根据所述关系模型和所述压力传感器的输出电压，获得所述静电发生装置的输入电压，并切换所述换向部件的状态，使得所述电源向所述静电发生装置供给所述输入电压。根据本技术的一个实施例，所述晶圆接触器与所述正电荷端头交替设置，和/或，所述晶圆接触器与所述电子端头交替设置。根据本技术的一个实施例，所述基体构造出走线槽，所述走线槽的延伸方向与所述预设路径相同，连接所述电源与所述正电荷端头的第一导线以及连接所述电源与所述电子端头的第二导线均设于所述走线槽内。根据本技术的一个实施例，所述走线槽沿直线型、圆弧形或蛇形延伸。本技术实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本技术的实施例提供一种传送机械手，包括基体、电源和静电发生装置，静电发生装置包括与电源连接的正电荷端头和电子端头，正电荷端头与电子端头均可与晶圆之间产生库仑力，实现对晶圆的吸附固定，可适用于多种规格的晶圆的传送，可降低生产成本；基体的支撑部上设置预设路径，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的传送机械手的俯视结构示意图；图2是本技术实施例提供的传送机械手的侧视结构示意图；图3是本技术实施例提供的传送机械手的正电荷端头与电子端头的分布方式的结构示意图；图4是本技术实施例提供的传送机械手的换向部件的第一种实施方式的结构示意图；图5是本技术实施例提供的传送机械手的换向部件的第二种实施方式的结构示意图；图6是本技术实施例提供的传送机械手的控制逻辑示意图；图7是本技术实施例提供的传送机械手的静电发生装置的输入电压和压力传感器的输出电压的关系模型的示意图；图8是本技术实施例提供的传送机械手的压力传感器的输出电压与晶圆接触器表面的静摩擦力的关系图；附图标记：1：基体；11：支撑部；12：连接部；13：走线槽；2：静电发生装置；21：正电荷端头；22：电子端头；3：晶圆接触器；4：压力传感器；5：第一导线；51：第一电阻；52：第二电阻；53：第一电容；6：第二导线；61：第三电阻；62：第四电阻；63：第二电容；7：接线分配器；8：电源；81：第一直流电源发生器；82：第二直流电源发生器；91：换向开关；92：第一开关；93：第二开关。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送机械手，其特征在于，包括：/n基体，包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；/n电源，包括正极端和负极端；/n静电发生装置，连接于电源，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种传送机械手，其特征在于，包括：
基体，包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；
电源，包括正极端和负极端；
静电发生装置，连接于电源，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。


2.根据权利要求1所述的传送机械手，其特征在于，所述支撑部上设置多条所述预设路径，在相邻所述预设路径上，所述正电荷端头与所述电子端头一一对应。


3.根据权利要求1所述的传送机械手，其特征在于，所述电源与所述静电发生装置之间设置换向部件，所述换向部件处于第一状态，所述正电荷端头连接所述正极端，所述电子端头连接所述负极端；所述换向部件处于第二状态，所述正电荷端头连接所述负极端，所述电子端头连接所述正极端。


4.根据权利要求3所述的传送机械手，其特征在于，所述电源设置一组，所述正极端连接有第一导线，所述负极端连接有第二导线，所述换向部件为换向开关，所述换向开关的两端分别所述第一导线与所述第二导线，所述换向开关关闭，所述正电荷端头连接所述正极端，所述电子端头连接所述负极端；所述换向开关打开，所述正电荷端头连接所述负极端，所述电子端头连接所述正极端。


5.根据权利要求3所述的传送机械手，其特征在于，所述电源包括并联设置的第一直流电源发生器和第二直流电源发生器且所述第一直流电源发生器的正极端...

【专利技术属性】
技术研发人员：周亮，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11