一种晶圆旋转上料上支撑结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆旋转上料上支撑结构，包括转动设置在机架上转运连接体，转运连接体连接转运吸盘，转运吸盘包括吸盘架，吸盘架上方设置吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆；吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置调节凸轮，调节凸轮的凸轮轴转动设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节凸轮外表面始终接触，吸盘调节杆末端设置与负压气源连通的负压吸嘴。转动凸轮凸轮，多个吸盘调节杆同时沿着径向移动相同的距离。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆旋转上料上支撑结构
本技术属于硅晶圆激光加工领域，具体涉及一种晶圆旋转上料上支撑结构。
技术介绍
硅晶圆进行激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并直线移动到转运位。转运吸盘吸附晶圆托盘并转动使其移动到加工转运位上方，切割平台的晶圆真空吸盘也移动的加工转运位上并接收晶圆托盘。转运吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置向下的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴联通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。不同规格是硅晶圆尺寸不同；而且在实际安装过程中，可能有一定的误差，需要在实际过程中根据需要调节吸头杆在吸盘架体上的位置。现有的调节机构，需要分别调节每个吸头杆的位置。晶圆旋转上料时，转运吸盘需要平稳的运行，需要稳定的支撑结构。
技术实现思路
本技术提供一种晶圆旋转上料上支撑结构。本技术的目的是以下述方式实现的：一种晶圆旋转上料上支撑结构，包括转动设置在机架上转运连接体，转运连接体向下连接可以升降的转运吸盘，转运吸盘包括吸盘架，吸盘架上方设置与转运连接体固定的吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆使吸盘架安装板和吸盘架固定；所述吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置可以转动的调节凸轮，调节凸轮的凸轮轴转动设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节凸轮外表面始终接触，吸盘调节杆末端设置与负压气源连通的负压吸嘴。调节凸轮外表面设置与吸盘调节杆的个数对应数量的转动曲面，调节凸轮转动预定的角度，每个吸盘调节杆都沿着径向移动相同的距离。吸盘架上沿着周向设置至少两个调节杆移动槽，吸盘调节杆滑动设置在调节杆移动槽内；吸盘调节杆上向侧面伸出调节杆复位部；弹簧复位机构包括设置固定在吸盘架上的弹簧，弹簧另一端与调节杆复位部连接使吸盘调节杆一端与调节凸轮接触。转运连接体两端分别设置转运升降气缸，转运升降气缸的外侧面设置转运升降气缸导轨，转运升降气缸的活塞头固定转运连接板，转运连接板固定转运升降气缸滑块；转运升降气缸滑块与转运升降气缸导轨构成导轨副；转运升降气缸滑块外侧伸出悬臂，悬臂上固定转运吸盘的吸盘架安装板。本技术的有益效果是：转动凸轮凸轮，多个吸盘调节杆同时沿着径向移动相同的距离，从而同时调节了各个吸头杆与吸盘架体中心之间的距离。附图说明图1是晶圆加工设备正面示意图（隐藏部分无关零部件）。图2是图1俯视剖视图（隐藏部分机架以及部分非运动部件）。图3是图1另一高度平面的俯视剖视图（隐藏部分机架以及部分非运动部件）。图4是托料架部分放大图。图5是转动转运机构放大图。图6是转运吸盘部分放大图。图7是转运吸盘另一种实施例结构示意图。图8是图7的B-B向视图.其中，1是机架、2是晶圆存料盒、3是晶圆夹持机构、4是晶圆托盘、5托料架、51是托料导轨、52是接近开关、53是托料底板、54是同步带、55是同步带连接板、56是托料底板位移传感器、57是托料导轨连接板、58是托料底板位移检测条、59是托料底板导轨、6转动转运机构；60是转运连接体、61是转运升降气缸、62转运气缸连接板、63悬臂；64转运吸盘；640是十字架体、641是架体连接板、642是吸头杆、643是负压吸嘴、645是调节槽、644是吸盘架、646吸盘调节杆、647吸盘架安装板、648连接杆、649避让圆孔、653调节杆移动槽、654调节杆复位部、655弹簧、656是调节凸轮、657是凸条轴、65转运升降气缸滑块；66转运升降气缸导轨、67是转运位移检测条；68转运位移传感器；69是转运限位柱，7是切割平台、75是晶圆真空吸盘。具体实施方式以下将结合附图以及具体实施例，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”“设置”等应做广义理解，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。诸如第一、第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另外一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。如图1-8所示，一种晶圆旋转上料上支撑结构，包括转动设置在机架1上转运连接体60，转运连接体60向下连接可以升降的转运吸盘64。转运吸盘有多种机构。如图7-8，一种可以调节的转运吸盘64，包括吸盘架644，吸盘架644上方设置吸盘架安装板647，吸盘架安装板647和吸盘架644之间设置连接杆648使吸盘架安装板647和吸盘架644固定。吸盘架644中心位置设置避让圆孔649，避让圆孔649内设置可以转动的调节凸轮656，调节凸轮656的凸轮轴657转动设置在吸盘架安装板647上。吸盘架644上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架644径向移动的吸盘调节杆646，吸盘调节杆646和吸盘架644之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆646一端与调节凸轮656外表面始终接触，吸盘调节杆646末端向下设置与负压气源连接的负压吸嘴643。吸盘调节杆646末端设置向下的吸头杆642，吸头杆642上设置负压吸嘴643；吸头杆643上设置与负压吸嘴643联通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。转动调节凸轮656，多个吸盘调节杆646同时沿着径向移动相同的距离，方便调节。吸盘调节杆646与调节凸轮656接触的一端设置转动的滚轮，滚轮与调节凸轮656之间滚动接触。调节凸轮656外表面设置与吸盘调节杆646的个数对应数量的转动曲面，调节凸轮656转动预定的角度，每个吸盘调节杆646都沿着径向移动相同的距离。具体转动曲面可以有多种，只要能保证功能既可以。吸盘架644上沿着周向设置至少两个调节杆移动槽653，吸盘调节杆646滑动设置在调节杆移动槽653内；吸盘调节杆646上向侧面伸出调节杆复位部654。弹簧复位机构包括设置固定在吸盘架644上的弹簧655，弹簧655另一端与调节杆复位部654连接使吸盘调节杆646一端与调节凸轮656接触。弹簧655轴线与对应吸盘调节杆646长度方向平行。调节杆复位部654设置靠近调节凸轮656的一端，则吸盘架644上固定的弹簧655设置在靠近负压吸嘴643的一端，弹簧655应该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆旋转上料上支撑结构，包括转动设置在机架上转运连接体，转运连接体向下连接可以升降的转运吸盘，其特征在于：所述转运吸盘包括吸盘架，吸盘架上方设置与转运连接体固定的吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆使吸盘架安装板和吸盘架固定；所述吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置可以转动的调节凸轮，调节凸轮的凸轮轴转动设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节凸轮外表面始终接触，吸盘调节杆末端设置与负压气源连通的负压吸嘴。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆旋转上料上支撑结构，包括转动设置在机架上转运连接体，转运连接体向下连接可以升降的转运吸盘，其特征在于：所述转运吸盘包括吸盘架，吸盘架上方设置与转运连接体固定的吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆使吸盘架安装板和吸盘架固定；所述吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置可以转动的调节凸轮，调节凸轮的凸轮轴转动设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节凸轮外表面始终接触，吸盘调节杆末端设置与负压气源连通的负压吸嘴。


2.根据权利要求1所述一种晶圆旋转上料上支撑结构，其特征在于：所述调节凸轮外表面设置与吸盘调节杆的个数对应数量的转动曲面，调节凸轮转动预...

【专利技术属性】
技术研发人员：时文飞，余健，田耕，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：河南;41