一种波纹管测漏治具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种波纹管测漏治具，该治具由模块A以及模块B共同组成，所述模块A设置为上盖板，所述模块B设置为用于容纳波纹管的桶形结构，将所述波纹管置于所述桶形结构内并盖上所述上盖板形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏；通过设置由模块A和模块B共同组成的测漏治具，波纹管置于桶形的模块B内再配合模块A作为上盖，并用螺丝组合固定形成真空区域，配合串联测漏设备进行测漏，这种将波纹管密封内置于测漏治具内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，解决了现有技术中存在的密封性无法保证、测试结果不准的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种波纹管测漏治具
本技术涉及集成电路制造领域，具体涉及一种波纹管测漏治具。
技术介绍
DPS步进阀主要功能是控制集成电路制造反应室真空压力，波纹管为主要核心部件，该部件会随步进阀的开关有拉伸及压缩状态，若有漏真空的问题，会使反应室真空压力失控，造成产品量异常，因此需要对DPS步进阀波纹管的真空状况进行测试。申请号为CN201510712929.1的中国技术专利公开了波纹管测漏工装，包括带孔上法兰盖板、双头螺柱、波纹管、六角螺母、带孔底部盲板和密封圈。密封圈安装在波纹管两端的法兰密封槽中，带孔底部盲板与波纹管的法兰孔位对应，通过双头螺柱和六角螺母将带孔底部盲板、带孔上法兰盖板与波纹管固定连接，带孔上法兰盖板的接口处连接检漏仪。然而现有技术中的测漏工装中，需设置双头螺柱和密封圈等配件进行密封连接，结构复杂，且波纹管与上法兰盖板和底部盲板之间连接关系难以确保完全密封，测漏数据真实性和有效性低下。
技术实现思路
针对以上问题，本技术提供了一种波纹管测漏治具，通过设置由模块A和模块B共同组成的测漏治具，波纹管置于桶形的模块B内再配合模块A作为上盖，并用螺丝组合固定形成真空区域，配合串联测漏设备进行测漏，这种将波纹管密封内置于测漏治具内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，解决了现有技术中存在的密封性无法保证、测试结果不准的技术问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种波纹管测漏治具，该治具由模块A以及模块B共同组成，所述模块A设置为上盖板，所述模块B设置为用于容纳波纹管的桶形结构，将所述波纹管置于所述桶形结构内并盖上所述上盖板形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏。作为优选，所述上盖板、波纹管以及桶形结构的边沿由螺钉依次贯穿进行固定。作为优选，所述桶形结构包括圆筒主体、由所述圆筒主体一端部沿径向延伸得到的安装部以及开设于所述圆筒主体上且用于与真空泵以及氦气测漏机串联使用的接口；所述安装部的尺寸与所述波纹管端部的凸沿相匹配。作为优选，所述接口贯穿所述圆筒主体的圆周面设置。作为优选，所述上盖板设置为圆形结构且尺寸与所述凸沿相匹配。作为优选，所述上盖板的边缘、凸沿以及安装部上对应开设有螺纹孔。作为优选，所述螺纹孔对应沿周向均布设置有多组。作为优选，所述模块A以及模块B采用白钢材质。作为优选，所述模块A以及模块B与所述波纹管密封连接部位设置为光滑平面结构。本技术的有益效果在于：(1)本技术通过设置由模块A和模块B共同组成的测漏治具，波纹管置于桶形的模块B内再配合模块A作为上盖，用螺丝组合固定后形成真空区域，配合串联测漏设备进行测漏，这种将波纹管密封内置于测漏治具内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，测漏操作方便，解决了现有技术中存在的密封性无法保证、测试结果不准的技术问题；(2)本技术可大幅降低使用者机台设备的停机调试时间，降低成本支出，提高生产效率和产品质量，通过采用本技术中的治具进行测漏，真空压力可达到3mtorr以下，氦气测漏环境可以达到1.0x10-8mtorr/s，可达到大范围检漏能力，符合集成电路制造高真空度的需求。附图说明图1为本技术的模具安装结构拆解示意图；图2为本技术的模具整体结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。实施例一如图1-2所示，一种波纹管测漏治具，该治具10由模块A1以及模块B2共同组成，所述模块A1设置为上盖板11，所述模块B2设置为用于容纳波纹管3的桶形结构20，将所述波纹管3置于所述桶形结构20内并盖上所述上盖板11形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏。作为优选，所述上盖板11、波纹管3以及桶形结构20的边沿由螺钉5依次贯穿进行固定。作为优选，所述桶形结构20包括圆筒主体21、由所述圆筒主体21一端部沿径向延伸得到的安装部22以及开设于所述圆筒主体21上且用于与真空泵以及氦气测漏机串联使用的接口23；所述安装部22的尺寸与所述波纹管3端部的凸沿30相匹配。在本实施例中，设计一款由模块A1和模块B2共同组成的测漏治具10，其中模块B2设计成桶形结构20，模块A1设计为圆形上盖板11结构，测试前，将波纹管3置于桶形结构20内再配合盖上上盖板11，辅以螺丝5将三者的组合体进行密封固定，形成真空区域，在接口23处配合串联真空泵以及氦气测漏机进行测漏。本实施例中的这种将波纹管3密封内置于测漏治具10内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，测漏操作方便,节约生产中的时间成本。值得说明的是，本实施例可大幅下降使用者机台设备的停机时间。停机使间缩短，代表生产时间可以持续增加，对于使用的成本支出的降低产生实质的助益。通过采用本实施例中的治具10对波纹管3进行测漏，真空压力可达到3mtorr以下，可达到集成电路制造需求；氦气测漏环境可以达到1.0x10-8mtorr/s，可达到大范围检漏能力，符合集成电路制造高真空度的需求。需要说明的是，所述接口23采用FW25接口。作为优选，所述接口23贯穿所述圆筒主体21的圆周面设置。作为优选，所述上盖板11设置为圆形结构且尺寸与所述凸沿30相匹配。作为优选，所述上盖板11的边缘、凸沿30以及安装部22上对应开设有螺纹孔50。作为优选，所述螺纹孔50对应沿周向均布设置有多组。作为优选，所述模块A1以及模块B2采用白钢材质。作为优选，所述模块A1以及模块B2与所述波纹管3密封连接部位设置为光滑平面结构，以确保有效制造真空区域。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波纹管测漏治具，其特征在于，该治具(10)由模块A(1)以及模块B(2)共同组成，所述模块A(1)设置为上盖板(11)，所述模块B(2)设置为用于容纳波纹管(3)的桶形结构(20)，将所述波纹管(3)置于所述桶形结构(20)内并盖上所述上盖板(11)形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏。/n

【技术特征摘要】
1.一种波纹管测漏治具，其特征在于，该治具(10)由模块A(1)以及模块B(2)共同组成，所述模块A(1)设置为上盖板(11)，所述模块B(2)设置为用于容纳波纹管(3)的桶形结构(20)，将所述波纹管(3)置于所述桶形结构(20)内并盖上所述上盖板(11)形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏。


2.根据权利要求1所述的一种波纹管测漏治具，其特征在于，所述上盖板(11)、波纹管(3)以及桶形结构(20)的边沿由螺钉(5)依次贯穿进行固定。


3.根据权利要求1所述的一种波纹管测漏治具，其特征在于，所述桶形结构(20)包括圆筒主体(21)、由所述圆筒主体(21)一端部沿径向延伸得到的安装部(22)以及开设于所述圆筒主体(21)上且用于与真空泵以及氦气测漏机串联使用的接口(23)；所述安装部(22)的尺寸与所述波纹管(3)端部的凸沿(30)相匹配。


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【专利技术属性】
技术研发人员：杨苏圣，
申请(专利权)人：湖州科秉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33