一种定点定向测试模具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种定点定向测试模具，测试模具包括可匹配放置于待量测部件内的圆盘本体以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体上且沿轴向贯穿的测试孔，所述待量测部件上设置有若干个涡旋部，至少一组所述测试孔与所述涡旋部一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔内，以对所述涡旋部的高度进行定点定向量测；通过在圆盘本体上对应各涡旋部圆周均布开设若干个测试孔，将测试模具放置于待量测部件内后，再将量测设备对应置于各测试孔内，以对各涡旋部的高度进行量测，实现使得量测设备借助测试模具进行定点定向测量，大大提升了量测结果的再现性和准确性，解决了现有技术中存在的随机量测结果参考性低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种定点定向测试模具
本技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种定点定向测试模具。
技术介绍
ALDTaN机型属于半导体制造其中一环，主要用于化学气象沉积领域，广泛用于16nm以下制程。16nm制程于国内属于最先进制程领域，由于制程微缩化，制程要求精细，对于量测监控要求高。需测量的产品为ALDTaN机型中的一部件，主要是量测该部件中六角涡旋部分的高度，该高度因生产使用，尺寸会逐渐变化，当变化量过大时，将会对制程稳定度产生明显影响。目前传统的量测方式是采用随机性量测，其量测结果容易因取样位置、取样数量的不同而产生偏差，加之由于量测设备的精度高，若量测有些偏移，就会导致量测结果有差异，量测出的数值也因此降低参考价值，申请人以此为契机开发了一款行定向测试模具。
技术实现思路
针对以上问题，本技术提供了一种定点定向测试模具，通过在圆盘本体上对应各涡旋部圆周均布开设若干个测试孔，将测试模具放置于待量测部件内后，再将量测设备对应置于各测试孔内，以对各涡旋部的高度进行量测，实现使得量测设备借助测试模具进行定点定向测量，大大提升了量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定点定向测试模具，其特征在于，测试模具(100)包括可匹配放置于待量测部件(1)内的圆盘本体(2)以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体(2)上且沿轴向贯穿的测试孔(3)，所述待量测部件(1)上设置有若干个涡旋部(10)，至少一组所述测试孔(3)与所述涡旋部(10)一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔(3)内，以对所述涡旋部(10)的高度进行定点定向量测。/n

【技术特征摘要】
1.一种定点定向测试模具，其特征在于，测试模具(100)包括可匹配放置于待量测部件(1)内的圆盘本体(2)以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体(2)上且沿轴向贯穿的测试孔(3)，所述待量测部件(1)上设置有若干个涡旋部(10)，至少一组所述测试孔(3)与所述涡旋部(10)一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔(3)内，以对所述涡旋部(10)的高度进行定点定向量测。


2.根据权利要求1所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述待量测部件(1)包括向下凹设的内圆槽(11)，所述内圆槽(11)的中心下方设置为中空部(12)，由此所述内圆槽(11)的底面形成一环面，所述环面的内圈(111)上沿圆周方向间隔阵列设置有六个所述涡旋部(10)，每组所述测试孔(3)对应所述涡旋部(10)设置有六个。


3.根据权利要求2所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述涡旋部(10)两两之间形成有间隔槽(13)，所述测试模具(100)还包括若干个于所述圆盘本体(2)的底部沿周向阵列设置的卡榫(4)，所述卡榫(4)与所述间隔槽(13)的形状相适配且可分别对应卡设于间隔槽(13)内进行定位。


4.根据权利要求2所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述测...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨苏圣，
申请(专利权)人：湖州科秉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33