The invention discloses a mass flow sensor and control system and method for implementing mass flow control, mass flow sensor includes a whist bridge, the temperature sensor are respectively arranged in the upstream and downstream of the winding winding at whist bridge. The mass flow control system according to the temperature information of upstream and downstream of the winding winding, upstream and downstream calculation due to asymmetric winding winding and the error caused by the flow of value, and the error value to compensate according to the flow. The error caused by the inconsistency of the upper and lower windings is eliminated, and the zero drift of the system can be eliminated. The structure is simple and the accuracy is high.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种计量技术，尤其涉及一种质量流量传感器及控制系统及其实现质量流 量控制的方法。
技术介绍
气体质量流量控制器(MFC)是一种可以精确测量和控制气体质量流量的仪器。 如图1所示，现有技术中的气体质量流量控制器包括传感器，传感器测得的流量信号 经过放大，并与设定信号进行比较，然后根据比较的结果控制电磁阀的开关。如图2所示，所述的传感器实际上是一个惠斯特电桥，包括两个固定电阻R1、 R2，还 包括缠绕在气体管路3上的上游绕组1和下游绕组2。当管路3中的气体流量发生变化时，会 引起上游绕组1和下游绕组2的温度的变化，温度变化即会引起上游绕组1和下游绕组2的电 阻的变化，电阻的变化会引起惠斯特电桥输出电压V1的变化。也就是说传感器的输出电压 n是管路中气体质量流量A的函数。MFC正是根据这个函数关系计算和控制气体的质量流 量的。上述现有技术至少存在以下缺点由于传感器的制作工艺，往往会导致传感器上游绕组1和下游绕组2的不对称，即上游 绕组1和下游绕组2的电阻值存在一定的差值A，这个差值&会引起气体流量的测量值的误 差。因此，传感器的输出电压ri不仅仅...
【技术保护点】
一种质量流量传感器，包括惠斯特电桥，其特征在于，包括上游绕组、下游绕组，所述上游绕组和下游绕组分别为所述惠斯特电桥中的两个相邻的电阻，所述上游绕组和下游绕组分别缠绕在流体管道的上游和下游，所述上游绕组和下游绕组分别设有温度传感器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：牟昌华，王茂林，赵迪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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