一种便捷真空镀膜基片除尘装置制造方法及图纸

为了解决纳米真空镀膜前需要对镀件单独除尘，然后再将镀件放入机舱内，从而增加了操作流程，也对工人造成不便，并且放置的过程极有可能造成二次污染，除尘效果差的问题，本实用新型专利技术提出一种便捷真空镀膜基片除尘装置，其包括：离子风枪、镀膜伞叶和基片，通过接一个离子风枪，对即将进入真空炉上的镀膜伞叶上的基片进行除尘，随后直接将伞叶推入真空炉进行镀膜处理，工艺操作简单、无需搬运拆装，除尘效果。

【技术实现步骤摘要】
一种便捷真空镀膜基片除尘装置
本技术涉及真空镀膜机
，较为具体的，涉及到一种便捷真空镀膜基片除尘装置。
技术介绍
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程
的重要组成部分，真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而是固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、放辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术技术经济效益的作用。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。目前纳米真空镀膜前需要对镀件单独除尘，然后再将镀件放入机舱内，从而增加了操作流程，也对工人造成不便，并且放置的过程极有可能造成二次污染，除尘效果差。
技术实现思路
有鉴于此，为了解决纳米真空镀膜前需要对镀件单独除尘，然后再将镀件放入机舱内，从而增加了操作流程，也对工人造成不便，并且放置的过程极有可能造成二次污染，除尘效果差的问题，本技术提出一种便捷真空镀膜基片除尘装置，通过接一个离子风枪1，对即将进入真空炉上的镀膜伞叶2上的基片3进行除尘，随后直接将伞叶推入真空炉进行镀膜处理，工艺操作简单、无需搬运拆装，除尘效果。一种便捷真空镀膜基片除尘装置，其包括：离子风枪1、镀膜伞叶2和基片3，其特征在于：所述基片3固定在伞叶的本体上，所述离子风枪1包括：手持式枪体11和位于枪体前端的静电发生组件16，手持式枪体11尾端连接设置有气源风管17和电源拖线18，气源风管17和电源拖线18分别与外界的气源和外界电源对应连接，其手持式枪体11设有手柄部位，手柄部位内部设置高压发生模块14；所述高压发生模块14的输入端经手持式枪体11尾部的电源拖线18与外界的低压电源连接，高压发生电路的输出端与位于枪体前端的静电发生组件16通过短连接线13连接。进一步的，手持式枪体11上端设有挂环12，当离子风枪1不使用的时候可以通过在墙壁上设置挂钩来挂至离子风枪1。进一步的，手持式枪体11的手柄部位为中空结构，手柄部位的外壁设有胶带15，用来固定气源风管17和电源拖线18。进一步的，手持式枪体11的上部为气体流量调节装置19，通过气体流量调节装置19调节离子风枪1口的风量大小，从而达到对镀膜机片除尘的效果。进一步的，所述的高压发生模块14至少包括直流升压电路和报警电路，报警电路设置在枪体上，有助于操作者直接了解和掌握离子风枪1的工作和运行状态。进一步的，高压发生电路的输出端，经过高压短连接线13与位于枪体前端的静电发生组件16连接。进一步的，外界低压电源为12V或24V电源，避免了高压电的远距离传送，降低了电源拖线18的耐压等级，从根本上避免和杜绝了操作者直接接触高压电的可能，有利于保证操作者的人身安全和现场操作安全。本技术的技术提出一种便捷真空镀膜基片除尘装置，通过接一个离子风枪1，对即将进入真空炉上的镀膜伞叶2上的基片3进行除尘，随后直接将伞叶推入真空炉进行镀膜处理，工艺操作简单、无需搬运拆装，除尘效果。附图说明图1为本技术的一种便捷真空镀膜基片除尘装置的结构示意图。图2为本技术的一种便捷真空镀膜基片除尘装置的结构示意图。图3为本技术的电路模块的方框图。主要元件符号说明离子风枪1手持式枪体11挂环12短连接线13高压发生模块14胶带15静电发生组件16气源风管17电源拖线18气体流量调节装置19镀膜伞叶2基片3如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。具体实施方式具体实施案例1：如图1所示，为本技术的一种便捷真空镀膜基片除尘装置的结构示意图；如图2所示，为本技术的一种便捷真空镀膜基片除尘装置的结构示意图；如图3所示，为本技术的电路模块的方框图。一种便捷真空镀膜基片除尘装置，其包括：离子风枪1、镀膜伞叶2和基片3，其特征在于：所述基片3固定在伞叶的本体上，所述离子风枪1包括：手持式枪体11和位于枪体前端的静电发生组件16，手持式枪体11尾端连接设置有气源风管17和电源拖线18，气源风管17和电源拖线18分别与外界的气源和外界电源对应连接，其手持式枪体11设有手柄部位，手柄部位内部设置高压发生模块14；所述高压发生模块14的输入端经手持式枪体11尾部的电源拖线18与外界的低压电源连接，高压发生电路的输出端与位于枪体前端的静电发生组件16通过短连接线13连接。所述手持式枪体11上端设有挂环12，当离子风枪1不使用的时候可以通过在墙壁上设置挂钩来挂至离子风枪1。所述手持式枪体11的手柄部位为中空结构，手柄部位的外壁设有胶带15，用来固定气源风管17和电源拖线18。所述手持式枪体11的上部为气体流量调节装置19，通过气体流量调节装置19调节离子风枪1口的风量大小，从而达到对镀膜机片除尘的效果。所述所述的高压发生模块14至少包括直流升压电路和报警电路，报警电路设置在枪体上，有助于操作者直接了解和掌握离子风枪1的工作和运行状态。所述高压发生电路的输出端，经过高压短连接线13与位于枪体前端的静电发生组件16连接。所述外界低压电源为12V或24V电源，避免了高压电的远距离传送，降低了电源拖线18的耐压等级，从根本上避免和杜绝了操作者直接接触高压电的可能，有利于保证操作者的人身安全和现场操作安全。本技术的技术提出一种便捷真空镀膜基片除尘装置，通过接一个离子风枪1，对即将进入真空炉上的镀膜伞叶2上的基片3进行除尘，随后直接将伞叶推入真空炉进行镀膜处理，工艺操作简单、无需搬运拆装，除尘效果。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便捷真空镀膜基片除尘装置，其包括：离子风枪(1)、镀膜伞叶(2)和基片(3)，其特征在于：所述基片(3)固定在伞叶的本体上，所述离子风枪(1)包括：手持式枪体(11)和位于枪体前端的静电发生组件(16)，手持式枪体(11)尾端连接设置有气源风管(17)和电源拖线(18)，气源风管(17)和电源拖线(18)分别与外界的气源和外界电源对应连接，其手持式枪体(11)设有手柄部位，手柄部位内部设置高压发生模块(14)；所述高压发生模块(14)的输入端经手持式枪体(11)尾部的电源拖线(18)与外界的低压电源连接，高压发生电路的输出端与位于枪体前端的静电发生组件(16)通过短连接线(13)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种便捷真空镀膜基片除尘装置，其包括：离子风枪(1)、镀膜伞叶(2)和基片(3)，其特征在于：所述基片(3)固定在伞叶的本体上，所述离子风枪(1)包括：手持式枪体(11)和位于枪体前端的静电发生组件(16)，手持式枪体(11)尾端连接设置有气源风管(17)和电源拖线(18)，气源风管(17)和电源拖线(18)分别与外界的气源和外界电源对应连接，其手持式枪体(11)设有手柄部位，手柄部位内部设置高压发生模块(14)；所述高压发生模块(14)的输入端经手持式枪体(11)尾部的电源拖线(18)与外界的低压电源连接，高压发生电路的输出端与位于枪体前端的静电发生组件(16)通过短连接线(13)连接。


2.如权利要求1所述的便捷真空镀膜基片除尘装置，其特征在于：手持式枪体(11)上端设有挂环(12)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁小夫，舒本剑，
申请(专利权)人：安徽安合鑫光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34