本发明专利技术公开了一种真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，包括：冷却水槽，其内部平行间隔设有两个隔层，两个隔层密封卡设在冷却水槽的相对两侧壁之间，以将冷却水槽分隔为位于两侧的冷水腔和位于中间的冷却腔，冷水腔设有进水口和出水口，每个隔层包括依次贴附设置的钢板、保温板、耐高温板，其中，钢板与冷却腔接触，耐高温板与冷水腔接触；一对模具，一个模具贴附设置在一个隔层上方，每个模具均具有一个缺口，一对模具对合后的缺口形成一个漏液口。本发明专利技术通过一对模具使得浇铸口的毛刺等缺陷延伸到漏液口处，确保获得的靶材成品不会残留因浇铸口带来的缺陷，本发明专利技术让冷却过程达到一个平衡点，确保最终的用于磁控溅射的靶材的品质，无裂纹缩孔。
【技术实现步骤摘要】
真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置
本专利技术涉及磁控溅射
，具体是一种真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置。
技术介绍
晶界扩散技术是近年来发展起来的一种可以有效改善烧结钕铁硼磁体磁性能的技术手段，其是通过溅射将Dy或Tb等稀土金属或稀土合金沉积在钕铁硼磁体的表面，再进行高温扩散，使Dy或Tb择优分布到主相Nd2Fe14B晶粒的外延层，大幅度提升磁体矫顽力，同时，重稀土添加量显著降低，实现了节约资源和降低成本的双赢目标。磁控溅射时采用稀土金属作为阴极板，钕铁硼磁体作为基材。磁控溅射的阴极板一般选用真空蒸馏的方式制备，工艺繁琐复杂，且经真空蒸馏后采用传统的冷却装置得到的阴极板表面有裂纹缩孔等缺陷。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。本专利技术还有一个目的是提供一种真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，本专利技术通过一对模具使得浇铸口的毛刺等缺陷延伸到漏液口处，确保获得的靶材成品不会残留因浇铸口带来的缺陷，设置钢板、保温板、耐高温板的复合层结构，冷却过程达到一个平衡点，确保最终的用于磁控溅射的靶材的品质，无裂纹缩孔。为了实现根据本专利技术的这些目的和其它优点，提供了一种真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，包括：冷却水槽，其内部平行间隔设有两个隔层，两个隔层密封卡设在所述冷却水槽的相对两侧壁之间，以将所述冷却水槽分隔为位于两侧的冷水腔和位于中间的冷却腔，所述冷水腔设有进水口和出水口，每个隔层包括依次贴附设置的钢板、保温板、耐高温板，其中，钢板与所述冷却腔接触，耐高温板与所述冷水腔接触；一对模具，一个模具贴附设置在一个隔层上方，每个模具均具有一个缺口，一对模具对合后的缺口形成一个漏液口，所述漏液口位于所述冷却腔的上方。优选的是，所述冷水腔和所述冷却腔均为长方体结构。优选的是，所述模具为长方体结构，所述缺口设置在沿其长度方向的中部，所述漏液口为上大下小的结构。优选的是，还包括：暂存装置，其位于一对模具上方，所述暂存装置内部中空，其顶部设有进液口、底部设有正对所述漏液口的出液口。优选的是，所述保温板由莫奈石制成，所述耐高温板为钼板。优选的是，所述冷水腔内设有隔流板，所述隔流板平行于所述隔层设置，所述隔流板背离所述隔层的表面间隔设有平行的两个分隔片，两个分隔片均倾斜设置，每个分隔片的一端均延伸至所述冷水腔的顶部、另一端均延伸至所述冷水腔的侧面并靠近其底部，两个分隔片将所述冷水腔分隔为相互独立的上腔室、中腔室、下腔室，所述隔流板的顶部开设水孔，所述水孔上设有与之连通的喷管，所述喷管位于所述隔流板背离所述隔层的表面上且处于所述中腔室内，所述喷管的管径小于所述水孔的孔径，所述隔流板上设有一组搅拌扇，一组搅拌扇位于所述中腔室内并沿两个分隔片的倾斜方向呈线性列，每个搅拌扇均包括贯穿所述隔流板的转轴和设置在转轴上的两对扇叶，两对扇叶均匀的分布在所述隔流板的两侧，每个扇叶均为弧度相同的弧形叶片，位于所述隔流板朝向所述隔层的表面上的扇叶的弧长是位于所述隔流板背离所述隔层的表面上是扇叶的弧长的一半；所述进水口和所述出水口均靠近所述冷水腔的底部设置在所述冷水腔的同一个侧面上，所述进水口位于所述隔流板朝向所述隔层的表面一侧，所述出水口位于所述隔流板背离所述隔层的表面一侧并连通所述中腔室。优选的是，每个搅拌扇的转轴上均套设齿轮，相邻两个转轴上的齿轮相互啮合，且齿轮均处于所述中腔室内，其中一个搅拌扇的转轴通过设置在所述中腔室内的电机驱动，所述电机、齿轮均采用防水罩包裹。优选的是，所述隔流板背离所述隔层的表面上还设有两组导流件，其中一组导流件靠近所述冷水腔的顶部设置在所述上腔室内，剩余一组导流件靠近所述冷水腔的底部设置在所述下腔室内，每组导流件均包括多个导流片，每个导流片均平行于两个分隔片设置，每组导流件的多个导流片均形成一条蛇形通道，所述隔流板朝向所述隔层的表面间隔设有多个锥形金属棒；所述冷水腔上开设冷媒第一入口、冷媒第一出口、冷媒第二入口、冷媒第二出口，冷媒第一入口和冷媒第一出口均与所述上腔室连通，冷媒第二入口和冷媒第二出口均与所述下腔室连通，冷媒第一入口、冷媒第一出口、冷媒第二入口均与所述进水口或所述出水口位于所述冷水腔的同一个侧面，冷媒第一入口靠近所述冷水腔的顶部设置，冷媒第二出口设置在与所述冷水腔的该同一个侧面相对的侧面上。本专利技术至少包括以下有益效果：本专利技术的一对模具除漏液口之外的其他部分均与隔层整齐贴合，平整了冷却腔的上方，同时将冷却腔的上方相对密封，使得浇铸口的毛刺等缺陷延伸到漏液口处，确保获得的靶材成品不会残留因浇铸口带来的缺陷。本专利技术在冷水腔和冷缺腔之间设置钢板、保温板、耐高温板的复合层结构，相比于传统的单一的一层隔板，使得金属液与水发生热交换时的速率相对减弱，防止热交换时金属液的降温速率不均一。本专利技术让冷却过程达到一个平衡点，确保最终的用于磁控溅射的靶材的品质，无裂纹缩孔。本专利技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本专利技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1为本专利技术的其中一个技术方案的所述冷却水槽的俯视结构示意图；图2为本专利技术的其中一个技术方案的所述模具的结构示意图；图3为本专利技术的其中一个技术方案的所述隔流板背离所述隔层的表面的结构示意图；图4为本专利技术的其中一个技术方案的所述隔流板朝向所述隔层的表面的结构示意图；图5为本专利技术的其中一个技术方案的所述冷媒第一入口、冷媒第一出口、冷媒第二入口、出水口、进水口的分布示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。在本专利技术的描述中，术语“横向”、“纵向”、“轴向”、“径向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。如图1、2所示，本专利技术提供了一种真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，包括：冷却水槽，其内部平行间隔设有两个隔层，两个隔层密封卡设在所述冷却水槽的相对两侧壁之间，以将所述冷却水槽分隔为位于两侧的冷水腔10和位于中间的冷却腔20，所述冷水腔10设有进水口71和出水口72，每个隔层包括依次贴附设置的钢板31、保温板32、耐高温板33，其中，钢板31与所述冷却腔20接触，耐高温板33与所述冷水腔10接触；一对模具40，一个模具40贴附设置在一个隔层上方，每个模具40均具有一个缺口41，一对模具40对合后的缺口41形成一个漏液口，所述漏液口位于所述冷却腔20的上方。在使用本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，包括：/n冷却水槽，其内部平行间隔设有两个隔层，两个隔层密封卡设在所述冷却水槽的相对两侧壁之间，以将所述冷却水槽分隔为位于两侧的冷水腔和位于中间的冷却腔，所述冷水腔设有进水口和出水口，每个隔层包括依次贴附设置的钢板、保温板、耐高温板，其中，钢板与所述冷却腔接触，耐高温板与所述冷水腔接触；/n一对模具，一个模具贴附设置在一个隔层上方，每个模具均具有一个缺口，一对模具对合后的缺口形成一个漏液口，所述漏液口位于所述冷却腔的上方。/n
【技术特征摘要】
1.真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，包括：
冷却水槽，其内部平行间隔设有两个隔层，两个隔层密封卡设在所述冷却水槽的相对两侧壁之间，以将所述冷却水槽分隔为位于两侧的冷水腔和位于中间的冷却腔，所述冷水腔设有进水口和出水口，每个隔层包括依次贴附设置的钢板、保温板、耐高温板，其中，钢板与所述冷却腔接触，耐高温板与所述冷水腔接触；
一对模具，一个模具贴附设置在一个隔层上方，每个模具均具有一个缺口，一对模具对合后的缺口形成一个漏液口，所述漏液口位于所述冷却腔的上方。
2.如权利要求1所述的真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，所述冷水腔和所述冷却腔均为长方体结构。
3.如权利要求2所述的真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，所述模具为长方体结构，所述缺口设置在沿其长度方向的中部，所述漏液口为上大下小的结构。
4.如权利要求1所述的真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，还包括：暂存装置，其位于一对模具上方，所述暂存装置内部中空，其顶部设有进液口、底部设有正对所述漏液口的出液口。
5.如权利要求1所述的真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，所述保温板由莫奈石制成，所述耐高温板为钼板。
6.如权利要求1所述的真空熔炼制备磁控溅射靶的冷却装置，其特征在于，
所述冷水腔内设有隔流板，所述隔流板平行于所述隔层设置，所述隔流板背离所述隔层的表面间隔设有平行的两个分隔片，两个分隔片均倾斜设置，每个分隔片的一端均延伸至所述冷水腔的顶部、另一端均延伸至所述冷水腔的侧面并靠近其底部，两个分隔片将所述冷水腔分隔为相互独立的上腔室、中腔室、下腔室，所述隔流板的顶部开设水孔，所述水孔上设有与之连通的喷管，所述喷管位于所述隔流板背离所述隔层的表面上且...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘月玲，刘润海，
申请(专利权)人：京磁材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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