一种全光滑自啮合的干式螺杆真空泵及其转子制造技术

一种全光滑自啮合的干式螺杆真空泵及其转子，阴阳转子型线相同，型线包括依次相连的修正圆弧段a

【技术实现步骤摘要】
一种全光滑自啮合的干式螺杆真空泵及其转子


[0001]本专利技术属于机械工程领域，具体涉及一种全光滑自啮合的干式螺杆真空泵及其转子。

技术介绍

[0002]近年来，随着半导体行业、微电子行业和IT等行业的蓬勃发展，对真空环境的要求日益提高，干式真空泵便应运而生。干式真空泵具有低碳环保、无油运行、稳定高效、适应性强等诸多优点，特别是其在工作过程中，泵腔内无需其他任何介质作用的特性，真正地实现了“干模式”运行，也从根本上解决了真空室内受油气污染的难题。
[0003]螺杆真空泵是通过转子在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精密动均衡校正，由轴承支撑，装置在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙。
[0004]干式双螺杆真空泵的核心是转子的型线，型线影响着真空泵的容积效率，热力学性能，良好的型线可以提高真空泵的效率，减少理论的泄漏量。
[0005]干式螺杆真空泵两个转子的型线要求必须啮合，形成封闭的啮合线。同时要求形成较小的泄漏三角形。考虑到装配、输运以及运行中磨损的影响，不希望转子型线中出现尖点。因本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全光滑自啮合的干式螺杆真空泵转子，其特征在于：阴阳转子型线相同，型线包括依次相连的修正圆弧段a
′
b
′
，圆弧摆线段b
′
c
′
，齿根圆弧段c
′
d
′
，蜗形线段d
′
e
′
，蜗形线共轭曲线段e
′
f
′
以及齿顶圆弧段f
′
a
′
，其中一个转子的修正圆弧段a
′
b
′
与另一个转子的圆弧摆线段b
′
c
′
相互啮合，其余的线段按照阴阳转子各自的旋转方向依次对应啮合。2.根据权利要求1所述全光滑自啮合的干式螺杆真空泵转子，其特征在于：所述的齿根圆弧段c
′
d
′
与蜗形线段d
′
e
′
连接点的一阶导数连续，蜗形线段d
′
e
′
与蜗形线共轭曲线段e
′
f
′
连接点的一阶导数连续，蜗形线共轭曲线段e
′
f
′
与齿顶圆弧段f
′
a
′
的一阶导数连续，齿顶圆弧段f
′
a
′
与修正圆弧段a
′
b
′
的一阶导数连续，修正圆弧段a
′
b
′
与圆弧摆线段b
′
c
′
的一阶导数连续，圆弧摆线段b
′
c
′
与齿根圆弧段c
′
d
′
的一阶导数连续。3.根据权利要求1所述全光滑自啮合的干式螺杆真空泵转子，其特征在于，齿根圆弧段c
′
d
′
的圆弧半径为r，齿顶圆弧段f
′
a
′
的圆弧半径为R，则阴阳转子中心距为：A＝R+r。4.根据权利要求1所述全光滑自啮合的干式螺杆真空泵转子，其特征在于，所述修正圆弧段a
′
b
′

【专利技术属性】
技术研发人员：马凯，郭蓓，周宇航，王岩彬，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：