一种用于定量分析痕量尿素的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于水质分析技术领域，具体的说是一种定量分析痕量尿素的方法及装置，其中定量分析痕量尿素的方法包括以下步骤：S1进水先经过注射泵P1和流量传感器F1；S2进水进入预处理单元后，依次进入紫外分解器A和有机吸附器B；S3经过预处理的进水通过蠕动泵W打入微量进样器C；S4进样时，试样溶液将与载水混合，然后进入检测单元；S5载水进入检测单元分析尿素浓度；根据本发明专利技术的痕量尿素定量分析方法和装置，可以准确测量半导体/液晶面板厂超纯水制备原水或产水的尿素浓度，且该方法具有准确度高、精密度高和装置集成化程度高的优点。精密度高和装置集成化程度高的优点。精密度高和装置集成化程度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于定量分析痕量尿素的方法及装置


[0001]本专利技术属于水质分析
，具体的说是一种定量分析痕量尿素的方法及装置。

技术介绍

[0002]超纯水是半导体/液晶面板厂产品生产必备的一种辅材，水质要求颇高。超纯水的制备原水基本来自市政自来水，市政自来水通过预处理系统、制成系统、抛光系统多级处理得到超纯水，用于半导体/液晶面板厂产品生产。
[0003]市政自来水中有时会掺入痕量尿素，浓度一般为50～200ppb，换算成TOC仅10～40ppb；而超纯水制备系统对尿素的去除能力有限，最终造成产水TOC超标，影响生产良率，给半导体/液晶面板厂造成巨大经济损失。现有的超纯水系统设计时会在原水端设置尿素去除单元，但业主会为了降低运行费用，减少实际运行时间；待产水TOC超标，再启动尿素去除单元，这种做法仍然会带来一定经济损失。即使在原水端设置TOC仪表，痕量尿素的掺入也不会引起TOC的巨大波动；若有对痕量尿素的线上监测，及时运行尿素去除单元，便可避免经济损失。
[0004]现有关于尿素的检测技术文献如下：
>[0005]专利文本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于定量分析痕量尿素的方法，其特征在于，其方法包括以下步骤：S1进水先经过注射泵P1和流量传感器F1；S2进水进入预处理单元后，依次进入紫外分解器A和有机吸附器B；S3经过预处理的进水通过蠕动泵W打入微量进样器C；S4进样时，试样溶液将与载水混合，然后进入检测单元；S5载水进入检测单元分析尿素浓度。2.根据权利要求1所述的一种用于定量分析痕量尿素的方法，其特征在于：所述紫外分解器A主体是外部设有石英套管的紫外灯管，采用真空紫外线，波长范围是100～200nm，所述有机吸附器B主体是离子交换树脂。3.根据权利要求1所述的一种用于定量分析痕量尿素的方法，其特征在于：所述微量进样器C主体是一个六通阀，六通阀包括六个端口和一个环形管路，六个端口编号分别是1
’
、2
’
、3
’
、4
’
、5
’
和6
’
；环形管路与2
’
和5
’
两个端口相连接，环形管路内液体流动方向是2
’→5’
。4.根据权利要求1所述的一种用于定量分析痕量尿素的方法，其特征在于：所述载水设有循环单元，流通池G内的载水由注射泵P2加压后进入载水管路
③
，经过流量传感器F2、离子吸收器D和加热线圈HC后进入微量进样器C的环形管路，与试样溶液混合，载水依次经过3

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炜彧，罗嘉豪，周伟，熊江磊，李军冠，张学良，罗峥，翟新桥，
申请(专利权)人：中国电子系统工程第二建设有限公司，
类型：发明
国别省市：