一种载具防漏液装置及电化学沉积设备制造方法及图纸

本公开提供一种载具防漏液装置及电化学沉积设备，所述载具防漏液装置用于盛放从载具滴落的药液；所述载具防漏液装置包括：沿第一方向设置的导轨；防漏槽组件，所述防漏槽组件设置在所述导轨上，并能够沿所述导轨进行升降运动，以移动至所述载具上方或下方；及驱动所述防漏槽组件升降运动的驱动机构。本公开实施例提供的载具防漏液装置及电化学沉积设备，能够避免载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。

【技术实现步骤摘要】
一种载具防漏液装置及电化学沉积设备


[0001]本专利技术涉及电化学沉积
，尤其涉及一种载具防漏液装置及电化学沉积设备。

技术介绍

[0002]在相关技术中，电化学沉积设备在基板电镀厚铜时，基板搭载到载具上，载具通过设定的工艺流程，到指定的工艺槽内进行工艺生产，当完成某个工艺槽工作后，搬运机构(例如，行车)会把载具从该工艺槽搬送至下一个工艺槽。在载具从工艺槽内移出时，载具上会沾满槽内化学药剂，在搬送过程中会有大量的化学药剂滴落。化学药剂的滴落产生不可控因素，影响其他工艺槽的工艺良率，腐蚀设备造成安全事故。

技术实现思路

[0003]本公开实施例提供了一种载具防漏液装置及电化学沉积设备，能够避免载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。
[0004]本公开实施例所提供的技术方案如下：
[0005]本公开实施例提供了一种载具防漏液装置，用于盛放从载具滴落的药液；所述载具防漏液装置包括：
[0006]沿第一方向设置的导轨；
[0007]防漏槽组件，所述防漏槽组件设置在所述导轨上，并能够沿所述导轨进行升降运动，以移动至所述载具上方或下方；
[0008]及驱动所述防漏槽组件升降运动的驱动机构。
[0009]示例性的，所述载具包括相对两侧，所述相对两侧中至少一侧为承载基板的承载面；
[0010]所述防漏槽组件至少包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间相互分离，并间隔预定距离，以分别位于所述载具的相对两侧；或者，所述第一部分和所述第二部分组合一起，而形成开口朝上的槽体结构。
[0011]示例性的，所述第一部分包括第一挡板结构，所述第二部分包括第二挡板结构，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构均包括顶端和底端；
[0012]所述第一挡板结构与所述第二挡板结构平行间隔设置；
[0013]或者，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端连接一起，形成V字型槽体结构。
[0014]示例性的，所述第一挡板结构以可移动的方式设置在所述导轨上，所述第二挡板结构与所述第一挡板结构之间通过连杆连接，以使所述第一挡板结构在所述导轨上进行升降运动时，所述第二挡板结构同步升降。
[0015]示例性的，所述导轨上设置有滑块，所述第一挡板结构的顶端通过第一旋转轴连
接在所述滑块上；所述第二挡板结构通过第二旋转轴与所述连杆连接。
[0016]示例性的，所述第一挡板结构的底端设有第一磁性部件；
[0017]所述第二挡板结构的底端设有第二磁性部件，
[0018]所述第一磁性部件和所述第二磁性部件相互配合，以使所述第一挡板结构的底端与所述第二挡板结构的底端相互连接或分离。
[0019]示例性的，所述第一磁性部件和所述第二磁性部件中至少一个为电磁部件。
[0020]示例性的，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端设有密封条。
[0021]示例性的，所述导轨为齿条结构或丝杠结构，所述驱动机构包括伺服电机。
[0022]一种电化学沉积设备，包括：如上所述的载具防漏装置。
[0023]本公开实施例所带来的有益效果如下：
[0024]本公开实施例的载具防漏液装置及电化学沉积设备，设置有能够在导轨上升降的防漏槽组件，当载具在工艺槽内部进行工艺生产时，防漏槽组件可移动至载具的上方，当载具在当前工艺槽内工艺完成后，将载具从当前工艺槽提出过程中，防漏槽组件能够移动到载具底部，从而载具在搬送过程中化学药剂会被收集在防漏槽组件内，到达下一个工艺槽后，再提升至载具上方，这样，能够避免载具在工艺槽之间转移时化学药剂滴落，从而避免影响电化学沉积的均一性，避免化学药剂的滴落而导致的设备腐蚀设备问题。
附图说明
[0025]图1表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置应用于电化学设备内时防漏盘组件在第一状态时的结构主视图；
[0026]图2表示表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置应用于电化学设备内时防漏盘组件在第一状态时的结构侧视图；
[0027]图3表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置的防漏盘组件在第一状态时的结构侧视图；
[0028]图4表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置的防漏盘组件在第二状态时的结构主视图；
[0029]图5表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置应用于电化学设备内时防漏盘组件在第二状态时的结构侧视图；
[0030]图6表示本公开提供的一些实施例中载具防漏装置的防漏盘组件在第一状态时的结构侧视图。
具体实施方式
[0031]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0032]除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或
者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0033]在对本公开实施例提供的载具防漏液装置及电化学沉积设备进行详细说明之前，有必要对于相关技术进行以下说明：
[0034]在相关技术中，Mini LED作为一种市场前景广阔的新技术，具有薄膜化、微小化、阵列化的优势，将逐步导入产业应用。从终端应用场景来分，Mini LED的应用领域可以分为直接显示和背光两大场景。受益于两大场景的双重驱动，Mini LED市场规模有望迎来快速成长。为了降低能耗及避免长时间点灯导致背光源过热问题，需要尽可能大的降低走线通道阻抗。相关技术中，为了降低走线阻抗，通常通过导电层加厚来实现，就目前工艺而言，主要有磁控溅射和电化学沉积两种方案。但由于磁控溅射膜层越厚，玻璃基板形变量越大，制程中容易破片，而电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，可以沉积2～20um的厚金属，从而获得较低的电阻，电沉积具有效率高、应力低、风险小等优点。
[0035]电化学沉积设备在基板电镀厚铜时，基板搭载到载具上，载具通过设定的工艺流程，到指定的工艺槽内进行工艺生产，当完成某个工艺槽工作后，搬运机构(例如，行车)会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载具防漏液装置，其特征在于，用于盛放从载具滴落的药液；其特征在于，所述载具防漏液装置包括：沿第一方向设置的导轨；防漏槽组件，所述防漏槽组件设置在所述导轨上，并能够沿所述导轨进行升降运动，以移动至所述载具上方或下方；及驱动所述防漏槽组件升降运动的驱动机构。2.根据权利要求1所述的载具防漏液装置，其特征在于，所述载具包括相对两侧，所述相对两侧中至少一侧为承载基板的承载面；所述防漏槽组件至少包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间相互分离，并间隔预定距离，以分别位于所述载具的相对两侧；或者，所述第一部分和所述第二部分组合一起，而形成开口朝上的槽体结构。3.根据权利要求2所述的载具防漏装置，其特征在于，所述第一部分包括第一挡板结构，所述第二部分包括第二挡板结构，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构均包括顶端和底端；所述第一挡板结构与所述第二挡板结构平行间隔设置，或者，所述第一挡板结构和所述第二挡板结构的底端连接一起，形成V字型槽体结构。4.根据权利要求3所述的载具防漏装置，其特征在于，所述第一挡板结构以可移动的方式设置在所述导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成飞，闫俊伟，袁广才，孙少东，张国才，董士豪，董鹏程，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：