A method and system for realizing the gain normalization in MEMS control system and / or devices, including the MEMS structure from the first position to the second position, the light to the output port in the first position from the first input port, output port to light in the second position from the second input ports, orientation jitter MEMS structure monitoring, jitter light intensity, the use of feedback signal, control loop gain to determine the structure of MEMS automatic calibration required. The gain normalization is realized by applying the fitting function, which is divided into gain control loop, gain part and mechanical part.
【技术实现步骤摘要】
本申请通常涉及MEMS，特别地，涉及在MEMS控制系统和/或MEMS器件中实现增益归一化的方法和系统。
技术介绍
微机电系统(MEMS)采用微加工技术将电子和机械元件集成在一个基片(如硅片)上。通常电子元件采用集成电路工艺制造，而机械元件则采用与集成电路工艺兼容的微加工工艺制造。MEMS器件正在从传感器技术到生物医学再到电信行业的许多领域获得日益广泛的应用。目前，光学应用就是MEMS器件最令人感兴趣的应用中的一个领域，其中微型机械元件包括反射镜、棱镜和/或光栅。例如，在电信领域，MEMS被用于光学开关、光学调制器、光学衰减器和滤光器中。在许多光学MEMS器件中，MEMS结构采用引入有意校准误差的抖动技术进行主动校准。尽管此技术在存在小范围MEMS取向时已被证明有价值，但在需要较宽范围的MEMS取向时却有很多问题。特别是当此范围相对较宽时，MEMS结构在该范围两端的驱动能量(actuation energy)的差非常大。这种非线性(例如可由MEMS的静电驱动导致)经抖动转换为增益失真，而对MEMS控制系统造成负面影响，并/或产生有害的光学失真(如可感知到的光学...
【技术保护点】
一种光学系统，包括：ＭＥＭＳ结构，可在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置将来自第一输入端口的光引向输出端口，在所述第二位置将来自第二输入端口的光引向所述输出端口，所述第一输入端口与所述第二输入端口在空间上分离；和ＭＥＭＳ控制系统，用于提供对处于所述第一位置和所述第二位置两者之一的所述ＭＥＭＳ结构进行主动校准的控制信号，以及提供用于调制所述控制信号的抖动信号，所述控制信号和所述抖动信号的每一个被确定以提供至少部分增益归一化。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大卫施奈特，达雷尔卡那吉，
申请(专利权)人：JDS尤尼弗思公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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