下载MEMS控制系统的增益归一化的技术资料

文档序号:2783343

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一种在MEMS控制系统和/或器件中实现增益归一化的方法和系统,包括将MEMS结构从第一位置移动至第二位置,在第一位置将来自第一输入端口的光引向输出端口,在第二位置将来自第二输入端口的光引向输出端口,抖动MEMS结构的取向,监测抖动光的强度,...
该专利属于JDS尤尼弗思公司所有,仅供学习研究参考,未经过JDS尤尼弗思公司授权不得商用。

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