一种阀门加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及管道设计技术领域，尤其是指一种阀门加热器，包括加热管身、反应装置以及阀门，所述阀门与所述反应装置连接，所述加热管身开设有用于装配阀门的通孔，所述通孔的内壁与所述阀门的外周贴合，所述加热管身内设置有用于装配所述反应装置的通道，所述加热管身用于为所述反应装置加热。本实用新型专利技术提供的一种阀门加热器，在阀门处的温度不易降低，从而避免为反应装置加热不均匀的情况，并且加热管身也不易受损。

【技术实现步骤摘要】
一种阀门加热器
本技术涉及管道设计
，尤其是指一种阀门加热器。
技术介绍
在原子层沉积技术中，常用的前驱体的加热管路是在反应装置的外部直接包裹加热层，该加热层是直接将加热丝设置在铝箔泡沫纸类里面设置而成，再在加热层上开孔安装阀门，在开孔处，由于加热层与阀门的接触不够紧密，所以在开孔处的温度容易降低，导致整个加热管路加热不均匀的问题，并且，加热丝容易损坏，而该加热层不便于维修，通常只能选择整个更换。
技术实现思路
本技术针对现有技术的问题提供一种阀门加热器，采用加热管身来为反应装置加热，并且通孔的内壁与阀门能够贴合，防止加热不均匀的问题。为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种阀门加热器，包括加热管身、反应装置以及阀门，所述阀门与所述反应装置连接，所述加热管身开设有用于装配阀门的通孔，所述通孔的内壁与所述阀门的外周贴合，所述加热管身内设置有用于装配所述反应装置的通道，所述加热管身用于为所述反应装置加热。优选的，所述阀门加热器还包括半圆筒型硅胶铝板，所述半圆筒型硅胶铝板套设于所述加热管身的外周，并且所述半圆筒型硅胶铝板与加热管身之间设有空气热阻隔层。优选的，所述半圆筒型硅胶铝板的外壁贴合有硅胶隔热垫。优选的，所述加热管身包括第一管身以及与第一管身可拆卸连接的第二管身，所述第一管身与所述第二管身连接后形成所述通道；所述第一管身的管壁设置有第一半孔，所述第二管身的管壁设置有第二半孔，所述第一半孔与所述第二半孔配合形成所述通孔。优选的，所述第一管身开设有若干第一加热通道，所述第二管身开设有若干第二加热通道，所述第一加热通道和第二加热通道内均装设有加热件。优选的，所述通道的内壁与所述反应装置的外壁贴合。优选的，所述通道内壁设置有限位圈，所述限位圈与所述反应装置抵触。优选的，所述加热管身采用铝材制成。优选的，所述阀门加热器连接有反应器，所述反应器包括第三管身，所述第三管身内装设有反应原装置，所述反应原装置与所述反应装置连接，所述第三管身用于为所述反应器加热。优选的，所述第三管身为铝材制成。本技术的有益效果：本技术提供的一种阀门加热器，将反应装置安装在加热管身的通道内，阀门安装在通孔处，并且阀门与通孔的内壁贴合，所以在加热管身为反应装置加热，在阀门处的温度也不易降低，从而避免为反应装置加热不均匀的情况，并且加热管身也不易受损。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术隐藏第一管身后的结构示意图。图3为本技术的隐藏反应装置后的结构示意图。图4为图3的俯视图。图5为本技术的加热管身的分解结构示意图。图6为本技术与反应器配合的结构示意图。在图1至图6中的附图标记包括：1-加热管身，2-反应装置，3-阀门，4-通孔，5-第一管身，6-第二管身，7-第一半孔，8-第二半孔，9-第一加热通道，10-第二加热通道，12-限位圈，13-反应器，14-通道，15-半圆筒型硅胶铝板。具体实施方式为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本技术作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本技术的限定。以下结合附图对本技术进行详细的描述。本实施例提供的一种阀门加热器，如图1和图2，包括加热管身1、反应装置2以及阀门3，所述阀门3与所述反应装置2连接，所述加热管身1开设有用于装配阀门3的通孔4，所述通孔4的内壁与所述阀门3的外周贴合，所述加热管身1内设置有用于装配所述反应装置2的通道14，所述加热管身1用于为所述反应装置2加热。反应装置2为现有技术，如原子层沉积中的前驱体的反应装置2。具体地，通道14与通孔4连通，将反应装置2安装在加热管身1的通道14内，阀门3安装在通孔4处，并且阀门3与通孔4的内壁贴合，在加热管身1为反应装置2加热时，热量不易从通孔4与阀门3的连接处散出，所以阀门3处的温度不易降低，从而避免出现反应装置2加热不均匀的情况，并且相较于现有技术中的加热丝加热的结构，加热管身1不易受损，可以保证长时间为反应装置2加热。其中，加热管身1优选采用铝材制成，如图3至图5，所述加热管身1包括第一管身5以及与第一管身5可拆卸连接的第二管身6，所述第一管身5与所述第二管身6连接后形成所述通道14；所述第一管身5的管壁设置有第一半孔7，所述第二管身6的管壁设置有第二半孔8，所述第一半孔7与所述第二半孔8配合形成所述通孔4。具体地，现有技术中的将加热丝设置在玻璃纤维等柔性类材料里面行成的加热结构，没有固定的形状，反而不好制作，难度高。而本实施例采用铝材制作加热管身1，既可以减少加热管身1的重量，同时在加热管身1的加工上也更简便，可以通过设置相应的治具来制作，相较于现有技术可以降低制作成本。另外，将加热管身1设置为第一管身5和第二管身6连接的结构，可以增加加热管身1的拆装简易度，当需要更换零件，可以直接拆开第一管身5和第二管身6，再将需要更换的零件更换维修便可，所以本实施例的加热管身1相较于现有技术，制造成本低，易拆装，更适合实际的生产应用。进一步的，如图4和图5，所述第一管身5开设有若干第一加热通道9，所述第二管身6开设有若干第二加热通道10，所述第一加热通道9和第二加热通道10内均装设有加热件。该加热件可以是电阻丝等任何可以产生热量的结构，只要适合本实施例的结构以及需求便可。具体地，在第一管身5和第二管身6上安装加热件，从而可以为加热管身1进行加热，进而为反应装置2加热。另外，安装于第一加热通道9和第二加热通道10内的加热件不易受损，可以减少本实施例的阀门3加热器的维修情况。本实施例提供的一种阀门加热器，如图6，所述阀门加热器还包括半圆筒型硅胶铝板15，所述半圆筒型硅胶铝板15套设于所述加热管身1的外周，并且所述半圆筒型硅胶铝板15与加热管身1之间设有空气热阻隔层(附图中未示出)。具体地，半圆筒型硅胶铝板15与加热管身1间隔设置形成空气热阻隔层，同时半圆筒型硅胶铝板15的金属内表面起到红外反射的作用，使得加热管身1内的热量更均匀。另外，半圆筒型硅胶铝板15的外壁贴有硅胶隔热垫(附图中未示出)，防止烫伤。本实施例提供的一种阀门加热器，如图2和图5，所述通道14的内壁与所述反应装置2的外壁贴合。所述通道14内壁设置有限位圈12，所述限位圈12与所述反应装置2抵触。具体地，反应装置2与通道14内壁贴合，可以更好的将加热管道上的热量传递到反应装置2上，另外设置限位圈12，可以防止反应装置2移位，影响反应装置2加热。本实施例提供的一种阀门加热器，如图6，进一步的，所述阀门3加热器连接有反应器13，所述反应器13包括第三管身(附图中未示出)，所述第三管身内装设有反应原装置(附图中未示出)，所述反应原装置与所述反应装置2连接，所述第三管身用于为所述反应器13加热。优选的，所述第三管身为铝材制成。具体地，实际使用时，反应器13的反应原本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀门加热器，其特征在于：包括加热管身、反应装置以及阀门，所述阀门与所述反应装置连接，所述加热管身开设有用于装配阀门的通孔，所述通孔的内壁与所述阀门的外周贴合，所述加热管身内设置有用于装配所述反应装置的通道，所述加热管身用于为所述反应装置加热。/n

【技术特征摘要】
1.一种阀门加热器，其特征在于：包括加热管身、反应装置以及阀门，所述阀门与所述反应装置连接，所述加热管身开设有用于装配阀门的通孔，所述通孔的内壁与所述阀门的外周贴合，所述加热管身内设置有用于装配所述反应装置的通道，所述加热管身用于为所述反应装置加热。


2.根据权利要求1所述一种阀门加热器，其特征在于：所述阀门加热器还包括半圆筒型硅胶铝板，所述半圆筒型硅胶铝板套设于所述加热管身的外周，并且所述半圆筒型硅胶铝板与加热管身之间设有空气热阻隔层。


3.根据权利要求2所述一种阀门加热器，其特征在于：所述半圆筒型硅胶铝板的外壁贴合有硅胶隔热垫。


4.根据权利要求1所述一种阀门加热器，其特征在于：所述加热管身包括第一管身以及与第一管身可拆卸连接的第二管身，所述第一管身与所述第二管身连接后形成所述通道；所述第一管身的管壁设置有第一半孔，所述第二管身的管壁设置有第二半孔，所述第一半孔与所述第二半孔配合形成所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李湘林，李力，钟权平，
申请(专利权)人：东莞纳锋微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44