一种硅料微波真空烘干机制造技术

本实用新型专利技术公开一种硅料微波真空烘干机，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与真空烘干箱连通的真空泵，真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。该真空烘干机烘干速度快、烘干效果好、效率高，微波加热装置的设置使硅料的受热更加均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种硅料微波真空烘干机
本技术属于硅料烘干领域，具体地说涉及一种硅料微波真空烘干机。
技术介绍
随着半导体和太阳能行业的不断发展壮大，硅料的需求量越来越大。硅料的纯度对最终产品的质量至关重要，有些硅料表面附带有很多杂质，对之必须用酸洗的方法将表面杂质去除，然后再进行清洗，清洗过的硅料在投炉前须经过烘干处理，以去除附着在硅料上的水分。常规的方法是将硅料用周转箱分装好后，以叠加方式装入普通烘箱中，加热器设置在烘箱的下方，通电加热进行烘干处理，采用常规的烘箱进行烘干，位于底层的硅料能够很快被烘干，而位于中上层的硅料则不易烘干，同时烘箱内的水汽不易排出，烘干速度慢、效率低，能耗高，且烘箱内的硅料受热不均匀，很难适应对大量硅料的烘干处理。针对上述问题，特提出本技术。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种硅料微波真空烘干机。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅料微波真空烘干机，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。优选的，所述真空烘干箱上设置有用于平衡真空烘干箱压力的平压阀。优选的，硅料清洗箱内设置有能够对硅料清洗箱内的清洗液进行加热的加热装置。优选的，所述真空烘干箱的侧壁上设置有多个用于连接所述微波加热装置的连接口，微波加热装置包括微波发热器、与微波发生器连接的微波传送波导以及与微波发生器连接的散热器，所述微波传送波导连接于所述连接口处的真空烘干箱上。优选的，所述真空烘干箱上设置有微波加热保护罩，若干个微波加热装置均设置于微波加热保护罩内，所述微波加热保护罩上设置有通风口。优选的，还包括主框架，所述硅料清洗箱和多个真空烘干装置均设置于所述主框架内部，所述主框架由多个子框架拼接而成，所述硅料清洗箱和多个真空烘干装置分布于多个子框架。优选的，所述主框架由第一子框架和第二子框架拼接而成，所述硅料清洗箱设置于所述第一子框架内，多个真空烘干装置设置于所述第二子框架内，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干装置和硅料清洗箱的上方,所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述水平滑动组件包括滑轨、滑动连接于所述滑轨上的滑座、固定连接于所述滑座上的第一电机、与所述第一电机的输出端连接的齿轮和与所述齿轮啮合的且对应滑轨设置的齿条,所述升降组件固定连接于所述滑座上，所述升降组件为链轮链条驱动，所述滑轨包括设置于第一子框架上的第一滑轨和设置于第二子框架上的可与第一滑轨配合连接的第二滑轨，所述齿条包括设置于第一子框架上的第一齿条和设置于第二子框架上的可与第一齿条配合连接的第二齿条，第一子框架和第二子框架拼接处还设置有相互配合连接的第一连接板和第二连接板。优选的，还包括多个用于盛放待烘干硅料的料篮，所述料篮的两端设置有第一齿轮盘，所述第一齿轮盘上设置有支撑杆，所述真空烘干箱内相对的两侧壁上设置有用于支撑所述料篮使其在真空烘干箱内旋转的U形座，所述料篮通过电机齿轮驱动实现在真空烘干箱内旋转。优选的，所述料篮设置为可开合的圆筒形结构。优选的，所述真空烘干箱的侧壁上设置有第三电机，所述第三电机的输出端上连接有旋转轴，所述旋转轴上连接有与所述第一齿轮盘配合的第二齿轮，所述旋转轴穿过所述真空烘干箱，所述第三电机位于真空烘干箱的外侧，第二齿轮设置于真空烘干箱的内部。优选的，还包括用于放置待烘干硅料的上料台和用于放置烘干后的硅料的出料放置装置,所述机械臂输送装置设置于所述上料台、硅料清洗箱、真空烘干装置和出料放置装置的上方用于实现硅料在上料台、硅料清洗箱、真空烘干装置和出料放置装置之间的转移，所述出料放置装置上设置有第二链条，所述第二链条通过第四电机和第二链轮配合驱动，所述料篮置于所述第二链条上通过第二链条向外输送。有益效果：本技术提供了一种硅料微波真空烘干机，该真空烘干机利用真空条件下水沸点降低从而短时间内能够将带有余温物料表面残留水分蒸发的原理设计，其包括能够加热的硅料清洗箱、真空烘干装置和机械臂输送装置，待烘干的硅料在硅料清洗箱内经清洗浸泡、初步水浴加热提高温度后置于真空烘干箱内，真空烘干箱内的硅料经微波加热装置微波加热后，真空烘干箱经真空泵抽真空，经水浴加热及微波加热的硅料表面残留的水分在真空条件下快速蒸发并经由真空泵组抽出，达到快速烘干效果，该真空烘干机烘干速度快、烘干效果好、效率高；其次，微波加热装置的设置使硅料的受热更加均匀，其能够减少硅料在硅料清洗箱内的放置时间，硅料经微波加热装置二次加热解决了硅料在硅料清洗箱内受热不均匀的问题，减少整个硅料烘干的周期，提高硅料烘干的效率；第三，硅料微波真空烘干机的分段设置，使得该硅料微波真空烘干机便于运输。附图说明图1为本技术硅料微波真空烘干机的结构示意图。图2为真空烘干箱的结构示意图。图3为本技术硅料微波真空烘干机分段的结构示意图。图中：1—主框架，11—第一子框架，12—第二子框架，2—硅料清洗箱，3—真空烘干箱，31—微波加热保护罩，33—第三电机，34—第二齿轮，35—U形座，4—出料放置装置，5—真空泵，6—水平滑动组件，61—第一滑轨，62—第二滑轨，63—第一齿条，64—第二齿条，7—升降组件，8—上料台，9—料篮，91—第一齿轮盘，92—支撑杆。具体实施方式为了使本领域的人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合本技术的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本技术创造。如图1、2和3所示，本具体实施例中提供的硅料微波真空烘干机包括主框架1、多个用于盛放待烘干硅料的料篮9、用于放置待烘干硅料的上料台8、用于清洗硅料的硅料清洗箱2、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置、用于放置烘干后的硅料的出料放置装置4和用于实现硅料在上料台8、硅料清洗箱、真空烘干装置和出料放置装置4之间的转移的机械臂输送装置，上料台8、硅料清洗箱2、多个真空烘干装置和出料放置装置4均设置于主框架1内部，机械臂输送装置设置于主框架1的上部。主框架1由多个子框架拼接而成，硅料清洗箱2和多个真空烘干装置分布于多个子框架。在本具体实施例中，主框架1由第一子框架11和第二子框架12拼接而成，硅料清洗箱2设置于第一子框架内，多个真空烘干装置设置于第二子框架12内，硅料微波真空烘干机的分段设置，使得该硅料微波真空烘干机便本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅料微波真空烘干机，其特征在于，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅料微波真空烘干机，其特征在于，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。


2.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，硅料清洗箱内设置有能够对硅料清洗箱内的清洗液进行加热的加热装置。


3.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述真空烘干箱的侧壁上设置有多个用于连接所述微波加热装置的连接口，微波加热装置包括微波发热器、与微波发生器连接的微波传送波导以及与微波发生器连接的散热器，所述微波传送波导连接于所述连接口处的真空烘干箱上。


4.根据权利要求3所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述真空烘干箱上设置有微波加热保护罩，若干个微波加热装置均设置于微波加热保护罩内，所述微波加热保护罩上设置有通风口。


5.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，还包括主框架，所述硅料清洗箱和多个真空烘干装置均设置于所述主框架内部，所述主框架由多个子框架拼接而成，所述硅料清洗箱和多个真空烘干装置分布于多个子框架内。


6.根据权利要求5所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述主框架由第一子框架和第二子框架拼接而成，所述硅料清洗箱设置于所述第一子框架内，多个真空烘干装置设置于所述第二子框架内，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干装置和硅料清洗箱的上方,所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述水平滑动组件包括滑轨、滑动连接于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕磊，
申请(专利权)人：华磊寰球工业装备青岛股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37