一种全自动硅料真空烘干机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种全自动硅料真空烘干机，该真空烘干机包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置。该真空烘干机将待烘干的硅料经水浴浸泡提高温度后置于真空条件下，利用真空条件下水沸点降低的原理，使带有余温的硅料表面残留的水分快速蒸发并经由真空泵组抽出，实现快速烘干的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动硅料真空烘干机
本技术涉及硅料烘干
，特别是涉及一种全自动硅料真空烘干机。
技术介绍
随着半导体和太阳能行业的不断发展壮大，硅料的需求量越来越大。硅料的纯度对最终产品的质量至关重要，有些硅料表面附带有很多杂质，对之必须用酸洗的方法将表面杂质去除，然后再进行清洗，清洗过的硅料在投炉前须经过烘干处理，以去除附着在硅料上的水分。常规的方法是将硅料用周转箱分装好后，以叠加方式装入普通烘箱中，加热器设置在烘箱的下方，通电加热进行烘干处理，采用常规的烘箱进行烘干，位于底层的硅料能够很快被烘干，而位于中上层的硅料则不易烘干，同时烘箱内的水汽不易排出，烘干速度慢、效率低，能耗高，且烘箱内的硅料受热不均匀，很难适应对大量硅料的烘干处理。针对上述问题，特提出本技术。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种全自动硅料真空烘干机，该真空烘干机将待烘干的硅料经水浴浸泡提高温度后置于真空条件下，利用真空条件下水沸点降低的原理，使带有余温的硅料表面残留的水分快速蒸发并经由真空泵组抽出，实现快速烘干的目的。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种全自动硅料真空烘干机，包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有用于平衡真空烘干箱压力的平压阀，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干箱和硅料水浴箱的上方，所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述升降组件为链轮链条驱动，所述水平滑动组件为齿轮齿条驱动。优选的，所述水平滑动组件包括滑轨、滑动连接于所述滑轨上的滑座、固定连接于所述滑座上的第一电机、与所述第一电机的输出端连接的齿轮和与所述齿轮啮合的且对应滑轨设置的齿条，所述升降组件固定连接于所述滑座上。优选的，所述升降组件包括竖直设置于滑座上的导轨、滑动连接于导轨上的升降座及用于驱动升降座升降的第二电机，所述第二电机通过链轮链条与升降座动力连接，所述取料组件设置于升降座上。优选的，所述齿条的两侧均设置有滑轨，所述滑座包括左滑座、右滑座和设置于所述左滑座和右滑座之间的用于连接左滑座和右滑座的连接座，所述第一电机固定连接于所述连接座上，所述左滑座和右滑座分别与齿条两侧的滑轨滑动连接，所述导轨设置为两组，两组导轨分别竖直设置于所述左滑座和右滑座上，所述升降座分别对应两组导轨设置为两个，对应每一升降座分别设置链轮链条与第二电机动力连接，所述取料组件设置于两个升降座之间。优选的，所述链轮链条包括上链轮、下链轮及连接上下链轮的链条，所述第二电机固定连接于所述滑座上，所述第二电机的输出轴上连接有旋转轴，所述上链轮设置于所述旋转轴上，所述左滑座和右滑座上分别对应导轨竖向设置有固定座，对应每一升降座设置的下链轮分别对应设置于所述固定座上，所述升降座与相应链条连接，所述第二电机通过旋转轴带动对应两升降座的链轮链条运转。优选的，还包括多个用于盛放待烘干硅料的料篮，所述取料组件包括固定连接于两升降座之间的连接板，所述连接板上连接有用于与所述料篮配合以抓取料蓝的卡勾。优选的，还包括用于放置待烘干硅料的上料台和用于放置烘干后的硅料的出料放置装置，所述机械臂输送装置设置于所述上料台、硅料水浴箱、真空烘干装置和出料放置装置的上方用于实现硅料在上料台、硅料水浴箱、真空烘干装置和出料放置装置之间的转移。优选的，所述出料放置装置为出料运送车。优选的，还包括主框架，所述上料台、硅料水浴箱、真空烘干装置和出料放置装置均设置于所述主框架内，所述机械臂输送装置设置于所述主框架上。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术提供了一种全自动硅料真空烘干机，该真空烘干机利用真空条件下水沸点降低从而短时间内能够将带有余温物料表面残留水分蒸发的原理设计，其包括硅料水浴箱、真空烘干装置和机械臂输送装置，待烘干的硅料在硅料水浴箱内经水浴浸泡提高温度后置于真空烘干箱内，真空烘干箱经真空泵抽真空，带有余温的硅料表面残留的水分在真空条件下快速蒸发并经由真空泵组抽出，达到快速烘干效果，该真空烘干机烘干速度快、烘干效果好、效率高。附图说明图1为本技术全自动硅料真空烘干机的结构示意图。图2为机械臂输送装置的结构示意图。图3为升降组件和取料组件的结构示意图。图中：1—主框架，2—硅料水浴箱，3—真空烘干箱，4—出料运送车，5—真空泵，6—水平滑动组件，61—滑轨，62—右滑座，63—左滑座，64—连接座，65—第一电机，66—齿条，7—升降组件，71—第二电机，72—旋转轴，73—固定座，74—下链轮，75—上链轮，76—链条，77—导轨，78—升降座，8—取料组件，81—连接板，82—卡勾，9—料篮。具体实施方式为了使本领域的人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合本技术的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。如图1所示，本具体实施例中提供的全自动硅料真空烘干机包括外部的主框架1以及设置于主框架1内部的用于放置待烘干硅料的上料台、用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱2、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置、用于放置烘干后的硅料的出料放置装置和用于实现硅料在上料台、硅料水浴箱2、真空烘干装置和出料放置装置之间转移的机械臂输送装置，机械臂输送装置设置于主框架1上且位于上料台、硅料水浴箱2、真空烘干装置和出料放置装置的上方。真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱3和与真空烘干箱3连通的真空泵5，真空烘干箱3上设置有用于平衡真空烘干箱3压力的平压阀。在本具体实施例中，硅料水浴箱2设置两个，真空烘干装置设置4个，经计算及试验验证，两个硅料水浴箱2对应4个真空烘干装置能够充分利用水浴工位和真空烘干工位，使水浴工位和真空烘干工位在硅料烘干过程中不会闲置，提高真空烘干机各工位的利用率和硅料的烘干效率。如图2所示，机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件8、用于带动取料组件8升降的升降组件7和用于带动升降组件7水平滑动的水平滑动组件6，升降组件7为链轮链条驱动，水平滑动组件6为齿轮齿条驱动。水平滑动组件6包括滑轨61、滑动连接于滑轨61上的滑座、固定连接于滑座上的第一电机65、与第一电机65的输出端连接的齿轮和与齿轮啮合的且对应滑轨61设置的齿条66。进一步的，齿条66的两侧均设置有两条滑轨61，滑座包括左滑座62、右滑座63和设置于左滑座62和右滑座63之间的用于连接左滑座62和右滑座63的连接座64，第一电机65固定连接于连接座64上，左滑座62和右滑座63分别与齿条66两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动硅料真空烘干机，其特征在于，包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有用于平衡真空烘干箱压力的平压阀，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干装置和硅料水浴箱的上方，所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述升降组件为链轮链条驱动，所述水平滑动组件为齿轮齿条驱动。/n

【技术特征摘要】
1.一种全自动硅料真空烘干机，其特征在于，包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有用于平衡真空烘干箱压力的平压阀，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干装置和硅料水浴箱的上方，所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述升降组件为链轮链条驱动，所述水平滑动组件为齿轮齿条驱动。


2.根据权利要求1所述的全自动硅料真空烘干机，其特征在于，所述水平滑动组件包括滑轨、滑动连接于所述滑轨上的滑座、固定连接于所述滑座上的第一电机、与所述第一电机的输出端连接的齿轮和与所述齿轮啮合的且对应滑轨设置的齿条，所述升降组件固定连接于所述滑座上。


3.根据权利要求2所述的全自动硅料真空烘干机，其特征在于，所述升降组件包括竖直设置于滑座上的导轨、滑动连接于导轨上的升降座及用于驱动升降座升降的第二电机，所述第二电机通过链轮链条与升降座动力连接，所述取料组件设置于升降座上。


4.根据权利要求3所述的全自动硅料真空烘干机，其特征在于，所述齿条的两侧均设置有滑轨，所述滑座包括左滑座、右滑座和设置于所述左滑座和右滑座之间的用于连接左滑座和右滑座的连接座，所述第一电机固定连接于...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕磊，
申请(专利权)人：华磊寰球工业装备青岛股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37