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本实用新型公开一种硅料微波真空烘干机，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与真空烘干箱连通的真空泵，真空...
该专利属于华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司授权不得商用。

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