【技术实现步骤摘要】
一种抽真空保护装置
本技术涉及抽真空设备领域，具体是一种抽真空保护装置。
技术介绍
气体是一种无处不在的物质存在的状态，在工业生产过程中，需要对气体进行压缩，在压缩气体的时候，瓶装气体占很大一部分，瓶装气体的灌装，涉及到气瓶的处理，灌装系统管道的置换清洗等都要用到真空系统。同时在电子气体如氨气、硅烷的灌装系统中，则涉及到灌装安全与产品的质量，如果气瓶内部处理不好，空气抽不干净，灌装系统留有空气，势必造成硅烷的氧化甚至自燃，轻则影响灌装产品质量，重则引起硅烷燃烧爆炸等生产安全事故。
技术实现思路
为了克服现有技术中气体抽真空不完全、罐内含有包括氧气的气体等的缺点，本技术提供一种抽真空保护装置，通过将完全真空状态转化为形变或者应力等实际的技术参数，通过控制器对参数的反馈进行实时的抽真空操作。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种抽真空保护装置，包括罐体、罐盖、真空泵、负压形变结构，所述罐盖外缘卡设有密封圈，密封圈固定设置在罐盖连接圈内侧，所述罐盖连接圈通过连接螺纹安装在罐体顶部，所述罐盖上方开设有通孔，通孔内卡设有负压形变结构，所述负压形变结构上设置有传感器，所述罐盖上还开设有抽真空用的出气孔，出气孔上安装有真空泵，所述罐盖上还开设有进气孔，用于进气，所述真空泵、传感器与外部的控制器相电性连接。上述的一种抽真空保护装置，所述负压形变结构为下凹式弹性的弧形金属片结构。上述的一种抽真空保护装置，所述传感器为位移传感器。上述的一种抽真空保护装置，所述传感器设置在抽真空过程中...
【技术保护点】
1.一种抽真空保护装置，其特征在于，包括罐体(1)、罐盖(8)、真空泵(5)、负压形变结构(6)，所述罐盖(8)外缘卡设有密封圈(4)，密封圈(4)固定设置在罐盖连接圈(3)内侧，所述罐盖连接圈(3)通过连接螺纹(2)安装在罐体(1)顶部，所述罐盖(8)上方开设有通孔，通孔内卡设有负压形变结构(6)，所述负压形变结构(6)上设置有传感器(7)，所述罐盖(8)上还开设有抽真空用的出气孔，出气孔上安装有真空泵(5)，所述罐盖(8)上还开设有进气孔，所述真空泵(5)、传感器(7)与外部的控制器相电性连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种抽真空保护装置，其特征在于，包括罐体(1)、罐盖(8)、真空泵(5)、负压形变结构(6)，所述罐盖(8)外缘卡设有密封圈(4)，密封圈(4)固定设置在罐盖连接圈(3)内侧，所述罐盖连接圈(3)通过连接螺纹(2)安装在罐体(1)顶部，所述罐盖(8)上方开设有通孔，通孔内卡设有负压形变结构(6)，所述负压形变结构(6)上设置有传感器(7)，所述罐盖(8)上还开设有抽真空用的出气孔，出气孔上安装有真空泵(5)，所述罐盖(8)上还开设有进气...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡业，王洪琨，孟祥辉，
申请(专利权)人：龙口华东气体有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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