一种ppt级超高纯氨水生产线制造技术

技术编号:27772042 阅读:86 留言:0更新日期:2021-03-23 12:51
本实用新型专利技术涉及氨水生产技术领域,且公开了一种ppt级超高纯氨水生产线,包括底板,所述底板的顶部固定安装有操作箱,所述操作箱的内腔左右两侧壁之间固定连接有横板,所述横板的顶部固定安装有混液仓,所述操作箱的内腔左侧壁固定安装有电机,所述电机的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至混液仓内部的转动轴。该ppt级超高纯氨水生产线,通过在混液仓的左右两侧均设置有一端贯穿并延伸至操作箱外部的连接管,方便将氨气和水倒入至混液仓的内部,通过设置有电机,启动电机,电机的输出轴带动转动轴转动,通过在转动轴的外表面设置有搅拌杆,使得搅拌杆对混液仓内部进行搅拌,方便加速氨气与水的融合。

【技术实现步骤摘要】
一种ppt级超高纯氨水生产线
本技术涉及氨水生产
,具体为一种ppt级超高纯氨水生产线。
技术介绍
随着国内半导体产业的迅速发展,高纯电子化学品需求量急剧增长,高纯电子级氨水在集成电路和LED等制造行业中有着重要作用,利用氨水的弱碱性,活化硅晶圆及微粒表面,可以除去其表面颗粒、部分金属不纯物,因此,超高纯氨水广泛应用于芯片的清洗及蚀刻工艺,超净高纯氨水呈碱性,主要用于半导体行业紫外负性光刻胶的漂洗工艺,可与负胶显影液配套使用。氨水在生产过程中会有少量的废气和废水产生,传统生产装置则忽略这一点,导致对环境有一定污染的产生,且浪费了资源,无法进行循环利用,故而提出一种ppt级超高纯氨水生产线来解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种ppt级超高纯氨水生产线,具备保护环境和循环利用等优点,解决了氨水在生产过程中会有少量的废气和废水产生,传统生产装置则忽略这一点,导致对环境有一定污染的产生,且浪费了资源,无法进行循环利用的问题。(二)技术方案为实现上述保本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ppt级超高纯氨水生产线,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有操作箱(2),所述操作箱(2)的内腔左右两侧壁之间固定连接有横板(3),所述横板(3)的顶部固定安装有混液仓(4),所述操作箱(2)的内腔左侧壁固定安装有电机(5),所述电机(5)的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至混液仓(4)内部的转动轴(6),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有回液箱(8),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有位于回液箱(8)左侧的处理箱(9),所述混液仓(4)的内部固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8)内部的出液管(10),所述横板(3)的底部固定安装有抽气泵(11),所述抽...

【技术特征摘要】
1.一种ppt级超高纯氨水生产线,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有操作箱(2),所述操作箱(2)的内腔左右两侧壁之间固定连接有横板(3),所述横板(3)的顶部固定安装有混液仓(4),所述操作箱(2)的内腔左侧壁固定安装有电机(5),所述电机(5)的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至混液仓(4)内部的转动轴(6),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有回液箱(8),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有位于回液箱(8)左侧的处理箱(9),所述混液仓(4)的内部固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8)内部的出液管(10),所述横板(3)的底部固定安装有抽气泵(11),所述抽气泵(11)的右侧固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8)内部的吸气管(12),所述抽气泵(11)的左侧固定连接有一端贯穿并延伸至处理箱(9)内部的出气管(13),所述处理箱(9)的内腔左右两侧壁之间活动安装有转杆(16),所述转动轴(6)和转杆(16)的外表面均活动安装有传送皮带(7),所述处理箱(9)的内部固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8...

【专利技术属性】
技术研发人员:赖仕海
申请(专利权)人:梅州市海龙化工有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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