【技术实现步骤摘要】
一种ppt级超高纯氨水生产线
本技术涉及氨水生产
,具体为一种ppt级超高纯氨水生产线。
技术介绍
随着国内半导体产业的迅速发展,高纯电子化学品需求量急剧增长,高纯电子级氨水在集成电路和LED等制造行业中有着重要作用,利用氨水的弱碱性,活化硅晶圆及微粒表面,可以除去其表面颗粒、部分金属不纯物,因此,超高纯氨水广泛应用于芯片的清洗及蚀刻工艺,超净高纯氨水呈碱性,主要用于半导体行业紫外负性光刻胶的漂洗工艺,可与负胶显影液配套使用。氨水在生产过程中会有少量的废气和废水产生,传统生产装置则忽略这一点,导致对环境有一定污染的产生,且浪费了资源,无法进行循环利用,故而提出一种ppt级超高纯氨水生产线来解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种ppt级超高纯氨水生产线,具备保护环境和循环利用等优点,解决了氨水在生产过程中会有少量的废气和废水产生,传统生产装置则忽略这一点,导致对环境有一定污染的产生,且浪费了资源,无法进行循环利用的问题。(二)技术方案 ...
【技术保护点】
1.一种ppt级超高纯氨水生产线,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有操作箱(2),所述操作箱(2)的内腔左右两侧壁之间固定连接有横板(3),所述横板(3)的顶部固定安装有混液仓(4),所述操作箱(2)的内腔左侧壁固定安装有电机(5),所述电机(5)的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至混液仓(4)内部的转动轴(6),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有回液箱(8),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有位于回液箱(8)左侧的处理箱(9),所述混液仓(4)的内部固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8)内部的出液管(10),所述横板(3)的底部固定安装有抽 ...
【技术特征摘要】
1.一种ppt级超高纯氨水生产线,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有操作箱(2),所述操作箱(2)的内腔左右两侧壁之间固定连接有横板(3),所述横板(3)的顶部固定安装有混液仓(4),所述操作箱(2)的内腔左侧壁固定安装有电机(5),所述电机(5)的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至混液仓(4)内部的转动轴(6),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有回液箱(8),所述操作箱(2)的内底壁固定安装有位于回液箱(8)左侧的处理箱(9),所述混液仓(4)的内部固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8)内部的出液管(10),所述横板(3)的底部固定安装有抽气泵(11),所述抽气泵(11)的右侧固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8)内部的吸气管(12),所述抽气泵(11)的左侧固定连接有一端贯穿并延伸至处理箱(9)内部的出气管(13),所述处理箱(9)的内腔左右两侧壁之间活动安装有转杆(16),所述转动轴(6)和转杆(16)的外表面均活动安装有传送皮带(7),所述处理箱(9)的内部固定连接有一端贯穿并延伸至回液箱(8...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖仕海,
申请(专利权)人:梅州市海龙化工有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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