线锯及线锯的送入送出工件的方法技术

本发明专利技术提供一种能够使生产率提高的线锯。线锯(1)为通过金属丝(53)切断工件(W)的切断装置。线锯(1)具有：临时载置台(11、12)，其支承工件(W)；运送装置(4)，其包含支承工件(W)的滑块(45)，将工件(W)向加工室(R)送入以及从加工室(R)送出；加工装置(5)，其配置在加工室(R)，对工件(W)进行加工；卡紧装置(2)，其配置在加工室(R)，卡紧工件(W)，升降装置(3)，其使卡紧装置(2)升降。运送装置(4)将工件(W)从临时载置台(11)、(12)向加工室(R)运送。

【技术实现步骤摘要】
线锯及线锯的送入送出工件的方法
本专利技术涉及线锯及线锯的送入送出工件的方法。
技术介绍
一般地，在通过金属丝切断半导体材料或磁性材料等工件的线锯中，采用通常仅在垂直方向上驱动工件的进给的结构。因此，在线锯中，当从线锯外送入或向线锯外送出工件时，例如专利文献1所记载的那样利用工件交接装置等附加装置来进行。在专利文献1所记载的线锯系统中，在运送工件时，通过操作员手动地移动与线锯分体形成的工件运送用推车和工件交接装置来进行工件的运送。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-149248号公报。专利技术要解决的问题但是，在专利文献1所记载的线锯系统中，在通过工件交接装置进行工件更换时不能够使线锯工作。因此，在通过工件交接装置更换工件的情况下，由于将线锯停止而中断的时间成为非加工时间，所以存在生产率降低的问题。
技术实现思路
本专利技术的课题在于解决所述问题，提供一种能够使生产率提高的线锯及线锯的送入送出工件的方法。用于解决问题的方案为了解决所述课题，本专利技术涉及的线锯，其特征在于，在通过金属丝切断工件的线锯中，具有：临时载置台，其支承所述工件；运送装置，其包含支承所述工件的滑块，将所述工件向加工室送入以及从所述加工室送出；加工装置，其配置在所述加工室，加工所述工件；卡紧装置，其配置在所述加工室，卡紧所述工件；升降装置，其使所述卡紧装置升降，所述运送装置将所述工件从所述临时载置台向所述加工室运送。此外，本专利技术为使用线锯将工件送入及送出的，线锯的送入送出工件的方法，其特征在于，包括：送出工序，通过滑块将加工完成的工件送出到卸载用临时载置台；送入工序，通过所述滑块将装载用临时载置台的未加工的工件送入加工室内；卡紧工序，通过卡紧装置将送入所述加工室内的所述未加工的工件卡紧；回退工序，使所述滑块回退到加工室内；加工工序，通过使用升降装置使所述未加工的工件升降来在加工装置进行加工；卸除载置工序，在对所述未加工的工件进行加工时，将将所述送出工序中载置于卸载用临时载置台的所述加工完成的工件从所述卸载用临时载置台卸除，并且将未加工的工件载置于装载用临时载置台。专利技术效果本专利技术能够提供一种使生产率提高的线锯及线锯的送入送出工件的方法。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式涉及的线锯的概要侧视图。图2是本专利技术的实施方式涉及的线锯的概要正视图。图3是图2的主要部分放大概要图。图4是表示安装在工件的工件夹具和支承工件夹具的滑块的配置状态的主要部分放大概要立体图。图5是表示将未加工的工件送入加工室时的状态的说明图。图6是表示使滑块回退到回退位置时的状态的说明图。图7是表示通过滑块支承加工后的工件时的状态的说明图。图8是表示将加工后的工件从加工室送出时的状态的说明图。图9是表示使装载用临时载置台支承未加工的工件，利用升降装置使加工装置加工后的工件上升时的状态的说明图。图10是表示将运送装置移动到装载侧的状态的说明图。图11是表示将运送装置移动到卸载侧的状态的说明图。图12是表示将运送装置移动到回退位置的状态的说明图。图13是表示通过升降装置使工件下降而加工时的状态的说明图。图14是表示在工件加工中将加工后的工件从卸载用临时载置台取下，将未加工的工件载置于装载用临时载置台时的状态的说明图。图15是表示本专利技术的实施方式涉及的线锯的送入送出工件的方法的工序图。图16是表示本专利技术的实施方式涉及的线锯的第一变形例的概要侧视图。图17是表示本专利技术的实施方式涉及的线锯的第二变形例的概要侧视图。图18是在表示本专利技术的实施方式涉及的线锯的第二变形例的图，(a)为表示滑块位于装载位置时的状态的主要部分放大概要侧视图，(b)为表示滑块位于卸载位置时的状态的主要部分放大概要侧视图。具体实施方式参照图1～图15说明本专利技术的实施方式涉及的线锯及线锯的送入送出工件的方法。另外，将图1所示的临时载置台11所在的位置作为装载位置Lo(装载侧)，将临时载置台12所在的位置作为卸载位置Un(卸载侧)来进行说明。此外，将图1所示的临时载置台11所在的方向作为前(F)，将临时载置台12所在的方向作为后(B)，将铅直上方侧作为上(U)，将铅直下方侧作为下(D)，将图2所示的电机M所在的方向作为左(L)，将与电机M所在左(L)侧相向的方向作为右(R)，来进行适当说明。<工件>如图1所示，工件W由半导体材料、磁性材料或陶瓷等硬脆材料构成。通过将工件W推抵至配置在线锯1的加工装置5的金属丝53，来切削并切断工件W。<线锯>图1所示的线锯1为通过加工装置5的金属丝53切断工件W的切断装置。线锯1构成为具有临时载置台11、12、卡紧装置2、升降装置3、运送装置4和加工装置5。<临时载置台>临时载置台11、12为用于支承工件W的载置台。临时载置台11、12分别配置在线锯1的加工室R外的前后。装载位置Lo侧(前侧)的临时载置台11(装载用临时载置台)用于在将未加工的工件W从装载位置Lo侧向加工室R送入时载置工件W。卸载位置Un侧(后侧)的临时载置台12(卸载用临时载置台)用于载置通过运送装置4从加工室R送出到卸载位置Un的加工完成后的工件W。<卡紧装置>卡紧装置2为在使用加工装置5加工工件W时，用于将送入加工室R的未加工的工件W卡紧的保持机构。即，卡紧装置2隔着工件夹具23间接地卡紧从装载位置Lo送入加工室R的未加工的工件W，然后将该工件W推抵至加工装置5的金属丝53来加工，保持加工完成后的工件W直到放置在运送装置4再松开。从卡紧装置2松开的工件W载置于运送装置4，然后向卸载位置Un送出。如图2所示，卡紧装置2具有多个(例如4个)卡紧构件26和保持多个卡紧构件26的工件保持构件25。在工件W的上表面，隔着玻璃平板21、金属平板22，可装卸地安装有金属制的工件夹具23。工件夹具23的上表面设有多个被卡紧构件24。工件保持构件25配置成在加工用辊51、52之间搭装的金属丝53的上方，用螺栓紧固在升降装置3的下端，通过升降装置3而能够升降。在工件保持构件25的下表面安装有能够与被卡紧构件24卡合和分离的多个卡紧构件26。<升降装置>升降装置3为在下端部具有隔着工件夹具23等对工件W进行保持的卡紧装置2来使工件W升降的装置。升降装置3使工件W从滑块45上上升，或者将工件W推抵至加工装置5的金属丝53而加工，或者使加工完成后的工件W下降而载置在滑块45上。升降装置3具有使卡紧装置2升降的滚珠丝杠等移动机构(图示省略)和使该移动机构运转的伺服电机等移动用驱动电机(图示省略)等。<运送装置>如图1所示，运送装置4为用于将载置于装载位置Lo侧的临时载置台11的工件W送入加工室本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线锯，通过金属丝切断工件，其特征在于，具有：/n临时载置台，其支承所述工件；/n运送装置，其包含支承所述工件的滑块，将所述工件向加工室送入以及从所述加工室送出；/n加工装置，其配置在所述加工室，加工所述工件；/n卡紧装置，其配置在所述加工室，卡紧所述工件；以及/n升降装置，其使所述卡紧装置升降，/n所述运送装置将所述工件从所述临时载置台向所述加工室运送。/n

【技术特征摘要】
20190920 JP 2019-1723521.一种线锯，通过金属丝切断工件，其特征在于，具有：
临时载置台，其支承所述工件；
运送装置，其包含支承所述工件的滑块，将所述工件向加工室送入以及从所述加工室送出；
加工装置，其配置在所述加工室，加工所述工件；
卡紧装置，其配置在所述加工室，卡紧所述工件；以及
升降装置，其使所述卡紧装置升降，
所述运送装置将所述工件从所述临时载置台向所述加工室运送。


2.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，
所述运送装置具有：
电机；
驱动齿轮，其通过所述电机旋转；
转换齿轮，其将所述驱动齿轮的旋转转换为直线运动；
滑块，其通过所述转换齿轮进退；
导向件，其进退自由地支承所述滑块；以及
支承部，其设置在所述滑块。


3.根据权利要求2所述的线锯，其特征在于，
所述工件具有保持该工件的工件夹具，
所述滑块由相互平行地配置的一对构件构成，并且具有对分别突出设置在所述工件夹具的侧面两侧的卡定部进行支承的所述支承部，
在所述工件夹具中，当运送所述工件时，所述卡定部被所述一对滑块的所述支承部支...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村哲也，河津知之，长谷川靖夫，阿部克彦，高桥正明，
申请(专利权)人：小松NTC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP