一种单晶炉炉底加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉炉底加热器，包括发热体、加热器脚板以及电极固定板；所述发热体为环形，其两侧与加热器脚板一体成型；所述加热器脚板为一对，分别位于发热体相对的两侧；所述电极固定板为一对，分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。该单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装，实现电极距可调，从而满足不同电极距炉型的使用需求；通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式，实现电极固定板与发热区分离，部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本；加热器的发热体整体为圆形设计，可满足主加与底加任意角度匹配安装。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉底加热器
本技术属于单晶材料制备领域，具体涉及一种单晶炉炉底加热器。
技术介绍
同一单晶厂家所使用的单晶炉往往是多个型号，炉型不同底加电极中心距，偏转角度也会不同，因此不同炉型需配置不同的底加热器，各炉型底加不具有通用性，只能单独采购，增加了后期采购成本及管理难度。同时，一体式结构设计损坏后整体报废，使用成本高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种能够适用于不同电极距炉型的新型单晶炉炉底加热器，实现不同炉型炉底加热器统一，降低后期采购及管理成本。为了实现上述目的，本技术采取的技术方案如下：一种单晶炉炉底加热器，包括发热体、加热器脚板以及电极固定板；所述发热体为环形，其两侧与加热器脚板一体成型；所述加热器脚板为一对，分别位于发热体相对的两侧；所述电极固定板为一对，分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。具体地，所述电极固定板上设有用于安装加热器脚板的卡槽；加热器脚板上设有一组连接孔，卡槽上设有对应的贯穿孔；所述加热器脚板卡入电极固定板的卡槽内，并使得卡槽内的贯穿孔与加热器脚板上对应的连接孔对齐，通过碳碳石墨螺栓贯穿后进行固定连接。优选地，所述加热器脚板为长条形的扁平板，其沿长度方向设置一组连接孔，通过卡槽内的贯穿孔对应远近端不同的连接孔贯穿碳碳石墨螺栓固定，实现电极固定板远近不同距离的调节安装。具体地，所述电极固定板远离卡槽的一端设有用于固定电极的石墨螺栓孔。进一步地，所述发热体包括中心的第一发热部和位于两侧的对称设置的第二发热部；所述第一发热部为圆环形，第二发热部由两根以上圆弧形的发热条首尾连接而成，最外侧的发热条外端与加热器脚板一体成型，最内侧的发热条里端与第一发热部一体成型。有益效果：本技术单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装，实现电极距可调，从而满足不同电极距炉型的使用需求；通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式，实现电极固定板与发热区分离，部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本；加热器的发热体整体为圆形设计，可满足主加与底加任意角度匹配安装。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术做更进一步的具体说明，本技术的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。图1为本技术单晶炉炉底加热器的立体结构示意图。图2为本技术单晶炉炉底加热器的俯视结构示意图。其中，各附图标记分别代表：1发热体；11第一发热部；12第二发热部；13发热条；2加热器脚板；21连接孔；3电极固定板；31卡槽；32石墨螺栓孔；4碳碳石墨螺栓。具体实施方式根据下述实施例，可以更好地理解本技术。说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1和图2所示，该单晶炉炉底加热器主要包括发热体1、加热器脚板2以及电极固定板3三部分。其中，发热体1整体为环形，包括中心的第一发热部11和位于两侧的对称设置的第二发热部12；第一发热部11为圆环形，第二发热部12由两根圆弧形的发热条13首尾连接而成，最外侧的发热条13外端与加热器脚板2一体成型，最内侧的发热条13里端与第一发热部11一体成型。发热体1采用串联加并联的设计，从而增加发热体回路的总长度以及截面积最终实现该加热器的总电阻满足使用需求。加热器脚板2为一对，分别位于发热体1相对的两侧；电极固定板3为一对，分别与发热体1两侧的加热器脚板2可拆卸地连接。电极固定板3上设有用于安装加热器脚板2的卡槽31；加热器脚板2上设有一组连接孔21，卡槽31上设有对应的贯穿孔；所述加热器脚板2卡入电极固定板3的卡槽31内，并使得卡槽31内的贯穿孔与加热器脚板2上对应的连接孔21对齐，通过碳碳石墨螺栓4贯穿后进行固定连接。加热器脚板2为长条形的扁平板，其沿长度方向设置一组连接孔21，通过卡槽31内的贯穿孔对应远近端不同的连接孔21贯穿碳碳石墨螺栓4固定，实现电极固定板3远近不同距离的调节安装。电极固定板3远离卡槽31的一端设有用于固定电极的石墨螺栓孔32，通过在电极固定板3上安装固定电极，接通电源后，实现整个发热体1的发热，对上部单晶炉进行加热。本技术提供了一种单晶炉炉底加热器的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉炉底加热器，其特征在于，包括发热体(1)、加热器脚板(2)以及电极固定板(3)；/n所述发热体(1)为环形，其两侧与加热器脚板(2)一体成型；/n所述加热器脚板(2)为一对，分别位于发热体(1)相对的两侧；/n所述电极固定板(3)为一对，分别与发热体(1)两侧的加热器脚板(2)可拆卸地连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉底加热器，其特征在于，包括发热体(1)、加热器脚板(2)以及电极固定板(3)；
所述发热体(1)为环形，其两侧与加热器脚板(2)一体成型；
所述加热器脚板(2)为一对，分别位于发热体(1)相对的两侧；
所述电极固定板(3)为一对，分别与发热体(1)两侧的加热器脚板(2)可拆卸地连接。


2.根据权利要求1所述的单晶炉炉底加热器，其特征在于，所述电极固定板(3)上设有用于安装加热器脚板(2)的卡槽(31)；加热器脚板(2)上设有一组连接孔(21)，卡槽(31)上设有对应的贯穿孔；所述加热器脚板(2)卡入电极固定板(3)的卡槽(31)内，并使得卡槽(31)内的贯穿孔与加热器脚板(2)上对应的连接孔(21)对齐，通过碳碳石墨螺栓(4)贯穿后进行固定连接。


3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑伟扬，王思锋，
申请(专利权)人：宁夏协鑫晶体科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64