激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备制造技术

提供了一种激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备。激光光源包括气密容器。第一共振镜和第二共振镜设置在气密容器外部。第一共振镜包括透镜单元和反射涂层。透镜单元包括第一表面和第二表面，并且第一表面相对于第二表面倾斜。

【技术实现步骤摘要】
激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备本申请要求于2019年8月26日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0104692号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用全部包含于此。
本专利技术涉及一种激光光源和一种包括该激光光源的激光晶化设备。
技术介绍
包括半导体层的薄膜晶体管(TFT)设置在诸如有机发光装置(OLED)或液晶显示器(LCD)的有源驱动显示装置的像素中。半导体层可以由多晶硅形成。多晶硅可以通过用激光照射非晶硅并对非晶硅进行退火来形成。在该工艺中使用激光晶化设备。激光晶化设备可以是气体激光设备(例如，准分子激光设备)。激光晶化设备通过放电通过激发介质气体来产生激光，通过共振使激光放大，然后输出激光。激光晶化设备的激光在照射非晶硅时沿着预定的线路行进，并且最终可能以时间差来照射非晶硅的区域。如果激光晶化设备的激光的能量是不均匀的，则非晶硅的晶化的程度对于每个区域是不同的，使得TFT或显示器件的性能劣化，或者条纹对于用户是可见的。
技术实现思路
根据本专利技术的示例性实施例，提供了一种包括气密容器的激光光源。第一共振镜和第二共振镜设置在气密容器外部。第一共振镜包括透镜单元和反射涂层。透镜单元包括第一表面和第二表面，并且第一表面相对于第二表面倾斜。根据本专利技术的示例性实施例，第一表面设置在气密容器与第二表面之间。根据本专利技术的示例性实施例，第二共振镜包括第三表面和第四表面，并且第四表面相对于第三表面倾斜或平行于第三表面。>根据本专利技术的示例性实施例，第一共振镜包括：第一点，与其中第一共振镜的厚度在从第一共振镜的透镜单元的第二表面垂直延伸的方向上最厚的部分对应；第二点，与其中第一共振镜的厚度在从第一共振镜的透镜单元的第二表面垂直延伸的方向上最薄的部分对应；以及第一轴线，穿过第一点和第二点。第二共振镜包括：第三点，与其中第二共振镜的厚度在从第二共振镜的第三表面垂直延伸的方向上最厚的部分对应；第四点，与第二共振镜的厚度在从第二共振镜的第三表面垂直延伸的方向上最薄的部分对应；以及第二轴线，穿过第三点和第四点。第一轴线与第二轴线之间的角度为80°至100°。根据本专利技术的示例性实施例，反射涂层设置在第一共振镜的透镜单元的第二表面上。根据本专利技术的示例性实施例，反射涂层设置在透镜单元内部且在第一共振镜的透镜单元的第一表面与第二表面之间。根据本专利技术的示例性实施例，反射涂层设置在第一共振镜的透镜单元的第一表面上。根据本专利技术的示例性实施例，第二共振镜的第三表面设置在第二共振镜的第四表面与气密容器之间。根据本专利技术的示例性实施例，第二共振镜包括彼此面对的第三表面和第四表面，并且第三表面和第四表面彼此平行。根据本专利技术的示例性实施例，第一共振镜的透镜单元的第一表面是螺旋形的。根据本专利技术的示例性实施例，第一共振镜的透镜单元的第一表面包括彼此不平行的多个倾斜表面。根据本专利技术的示例性实施例，提供了一种包括用于产生激光的激光光源的激光晶化设备。载物台安装有基底。激光光源包括：气密容器；第一共振镜，设置在气密容器外部；以及第二共振镜，设置在气密容器外部。第一共振镜包括透镜单元和反射涂层。透镜单元包括彼此面对的第一表面和第二表面，并且第一表面相对于第二表面倾斜。根据本专利技术的示例性实施例，第二共振镜包括彼此面对的第三表面和第四表面，并且第四表面相对于第三表面倾斜。根据本专利技术的示例性实施例，第一共振镜包括：第一点，与其中第一共振镜的厚度在从第一共振镜的透镜单元的第二表面垂直延伸的方向上最厚的部分对应；第二点，与其中第一共振镜的厚度在从第一共振镜的透镜单元的第二表面垂直延伸的方向上最薄的部分对应；以及第一轴线，穿过第一点和第二点。第二共振镜包括：第三点，与其中第二共振镜的厚度在从第二共振镜的第三表面垂直延伸的方向上最厚的部分对应；第四点，与其中第二共振镜的厚度在从第二共振镜的第三表面垂直延伸的方向上最薄的部分对应；以及第二轴线，穿过第三点和第四点。第一轴线与第二轴线之间的角度为80°至100°。根据本专利技术的示例性实施例，第一分束器被设置为反射从激光光源输出的激光的第一部分并且透射从激光光源输出的激光的第二部分。第二分束器被设置为用于反射激光的穿过第一分束器的第三部分并且透射激光的第四部分。激光强度感测单元测量激光的从第一分束器反射的第一部分的脉冲强度。第一监测单元被设置为用于拍摄激光的从第二分束器反射的第三部分的聚焦图像。第二监测单元被设置为用于拍摄激光的照射基底的第五部分。控制器被设置为用于调节第一共振镜的第一轴线与第二共振镜的第二轴线之间的角度。根据本专利技术的示例性实施例，第一光学系统包括设置在从激光光源输出的激光的前进路径上的分束器。第一反射镜设置在穿过分束器的激光的前进路径上。第二反射镜设置在从第一反射镜反射的激光的前进路径上。穿过分束器并且从第一反射镜和第二反射镜反射的激光入射到分束器。根据本专利技术的示例性实施例，提供了第二光学系统。第二光学系统包括设置在从激光光源输出的激光的前进路径上的分束器。合束器设置在激光的第一部分的前进路径上，所述激光的所述第一部分穿过分束器。多个反射镜被设置为将激光的从分束器反射的第二部分朝向合束器反射。根据本专利技术的示例性实施例，道威棱镜设置在从激光光源输出的激光的前进路径上，道威棱镜具有梯形形状。根据本专利技术的示例性实施例，提供了一种包括气密容器的激光光源。提供了第一共振镜。第二共振镜设置在气密容器外部且面对第一共振镜。第一共振镜的彼此面对的第一表面和第二表面不平行，第二共振镜的彼此面对的第一表面和第二表面不平行。根据本专利技术的示例性实施例，第一共振镜的最厚部分和第二共振镜的最厚部分彼此面对。附图说明通过参照附图详细描述本专利技术的示例性实施例，本专利技术的上面和其它特征将变得更加明显，在附图中：图1是根据本专利技术的示例性实施例的激光光源的示意图；图2是根据本专利技术的示例性实施例的包括在激光光源中的第一共振镜的透视图；图3是根据本专利技术的示例性实施例的包括在激光光源中的第二共振镜的透视图；图4是表示第一共振镜和第二共振镜的位置关系的示意图；图5是示出根据对比示例的从激光光源输出的激光的图像的平面图；图6是示出图3的第二共振镜的干涉图案图像的平面图；图7是示出图2的第一共振镜的干涉图案图像的平面图；图8是示出根据本专利技术的示例性实施例的从激光光源输出的激光的图像的平面图；图9是示出根据对比示例和本专利技术的示例性实施例的从激光光源输出的激光的能量分布的百分比的图表；图10是示出根据对比示例和本专利技术的示例性实施例的从激光光源输出的激光的中心位置分布的百分比的图表；图11是示出根据本专利技术的示例性实施例的激光晶化设备的示意图；图12是根据本专利技术的示例性实施例的包括在激光光源中的第一共振镜的透视图；图13是根据本专利技术的示例性实施例的包括在激光光源中的第一共振镜的透本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光光源，所述激光光源包括：/n气密容器；以及/n第一共振镜和第二共振镜，在所述气密容器外部，/n其中，所述第一共振镜包括透镜单元和反射涂层，/n所述透镜单元包括第一表面和第二表面，并且/n所述第一表面相对于所述第二表面倾斜。/n

【技术特征摘要】
20190826 KR 10-2019-01046921.一种激光光源，所述激光光源包括：
气密容器；以及
第一共振镜和第二共振镜，在所述气密容器外部，
其中，所述第一共振镜包括透镜单元和反射涂层，
所述透镜单元包括第一表面和第二表面，并且
所述第一表面相对于所述第二表面倾斜。


2.根据权利要求1所述的激光光源，其中，
所述第一表面设置在所述气密容器与所述第二表面之间，
所述第二共振镜包括第三表面和第四表面，并且
其中，所述第四表面相对于所述第三表面倾斜或平行于所述第三表面。


3.根据权利要求2所述的激光光源，其中，
所述第一共振镜包括：第一点，与所述第一共振镜的厚度在从所述第一共振镜的所述透镜单元的所述第二表面垂直延伸的方向上最厚的部分对应；第二点，与所述第一共振镜的厚度在从所述第一共振镜的所述透镜单元的所述第二表面垂直延伸的所述方向上最薄的部分对应；以及第一轴线，穿过所述第一点和所述第二点，并且
其中，所述第二共振镜包括：第三点，与所述第二共振镜的厚度在从所述第二共振镜的所述第三表面垂直延伸的方向上最厚的部分对应；第四点，与所述第二共振镜的厚度在从所述第二共振镜的所述第三表面垂直延伸的所述方向上最薄的部分对应；以及第二轴线，穿过所述第三点和所述第四点，并且
其中，所述第一轴线与所述第二轴线之间的角度为80°至100°。


4.一种激光晶化设备，所述激光晶化设备包括：
激光光源，用于产生激光；以及
载物台，安装有基底，
其中，所述激光光源包括：气密容器；第一共振镜，在所述气密容器外部；以及第二共振镜，在所述气密容器外部，
其中，所述第一共振镜包括透镜单元和反射涂层，
其中，所述透镜单元包括彼此面对的第一表面和第二表面，并且
其中，所述第一表面相对于所述第二表面倾斜。


5.根据权利要求4所述的激光晶化设备，其中，
所述第二共振镜包括彼此面对的第三表面和第四表面，并且
其中，所述第四表面相对于所述第三表面倾斜。


6.根据权利要求5所述的激光晶化设备，其中，
所述第一共振镜包括：第一点，与所述第一共振镜的厚度在从所述第一共振镜的所述透镜单元的所述第二表面垂直延伸的方向上最厚的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔京植，申东勳，柳壎澈，金京睦，文载雄，朴京镐，石基焕，孙明石，李洪鲁，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR