一种集成电路制备用光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集成电路制备用光刻机，具体涉及光刻机技术领域，包括机架，所述机架内部的一侧设有输送机构，所述输送机构包括两个并排布置的传输带，两个所述传输带之间的外侧设有若干个载物台，若干个所述载物台两端的底部分别与两个传输带固定连接，所述载物台上端的中部开设有载物槽，所述载物台的底部开设有底槽，所述底槽内部的一端转动连接有转动块，所述输送机构的内部设有推动机构所述推动机构包括两个套板。本实用新型专利技术通过输送机构、推动机构、传动机构的设置，在插板来回往复移动的过程中，能够间歇地推动载物台向右侧移动，从而实现了硅片的间歇送料，结构简单，制造成本低，安装方便。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路制备用光刻机
本技术涉及光刻机
，更具体地说，本实用涉及一种集成电路制备用光刻机。
技术介绍
光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的核心设备，光刻即是将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，光刻机主要包括了曝光系统和对准系统两个部分，制造难度极大，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，全世界只有少数几家公司掌握了核心技术，价格也极其昂贵。现有的光刻机在送入硅片时，通常是利用取片装置或机械臂逐片取料送料，这种方式的制造成本较高，结构较为复杂，其制造组装都十分不便，并且在维护运输时，不具有减振效果，易被损坏。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种集成电路制备用光刻机，本技术所要解决的技术问题是：现有的光刻机在送入硅片时，通常是利用取片装置或机械臂逐片取料送料，这种方式的制造成本较高，结构较为复杂，其制造组装都十分不便，并且在维护运输时，不具有减振效果，易被损坏。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种集成电路制备用光刻机，包括机架，所述机架内部的一侧设有输送机构，所述输送机构包括两个并排布置的传输带，两个所述传输带之间的外侧设有若干个载物台，若干个所述载物台两端的底部分别与两个传输带固定连接，所述载物台上端的中部开设有载物槽，所述载物台的底部开设有底槽，所述底槽内部的一端转动连接有转动块，所述输送机构的内部设有推动机构所述推动机构包括两个套板，两个所述套板的两端分别与机架的前后两侧固定连接，两个所述套板之间设有插板，所述插板的两端分别活动插接在两个套板的中部，所述插板上方的一端固定连接有与转动块对应的推杆，所述机架内部的另一侧设有光刻机，所述输送机构的一侧设有传动机构，所述机架的下方设有减振机构。通过输送机构、推动机构、传动机构的设置，在插板来回往复移动的过程中，能够间歇地推动载物台向右侧移动，从而实现了硅片的间歇送料，结构简单，制造成本低，安装方便。在一个优选的实施方式中，所述传动机构包括安装架，所述安装架的上端转动连接有转盘，所述转盘一侧的外缘处转动连接有第一连杆，所述第一连杆的一端转动连接有第二连杆，所述第二连杆的上端与插板的底端固定连接，所述机架的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过带传动与转盘传动连接。在一个优选的实施方式中，所述输送机构的上方设有远离光刻机一侧的放置筒，所述放置筒的后端与机架的内侧壁固定连接。在一个优选的实施方式中，所述放置筒的一侧设有远离光刻机一侧的滚筒，所述滚筒的两端分别与机架的前后两侧转动连接，所述滚筒的外侧固定套设有硅胶。在一个优选的实施方式中，所述减振机构包括底板，所述底板上端的四周均固定连接有斜杆，所述斜杆上端的外侧活动套设有套杆，所述套杆的上端与机架的底端铰接。在一个优选的实施方式中，所述斜杆的外侧套设有位于套杆下部一侧的弹簧。在一个优选的实施方式中，所述底板的底端固定安装有若干个福马轮。本技术的技术效果和优点：1、本技术通过输送机构、推动机构、传动机构的设置，在插板来回往复移动的过程中，能够间歇地推动载物台向右侧移动，从而实现了硅片的间歇送料，结构简单，制造成本低，安装方便；2、本技术通过滚筒和硅胶的设置，在硅片运输的过程中，还能够将未完全进入载物槽内的硅片压入载物槽的内部，可靠性高；3、本技术在维护和运输时，通过减振机构可以对机架起到缓冲减振的作用，在机架上下振动时，会使套杆在斜杆的外侧来回滑动，进而挤压弹簧起到缓冲的作用，而通过套杆与斜杆之间的摩擦作用，可以起到消减振动的目的。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。图2为本技术图1中A处的局部放大图。图3为本技术输送机构的俯视图。附图标记为：1机架、2输送机构、21传输带、22载物台、23载物槽、24底槽、25转动块、3推动机构、31套板、32插板、33推杆、4传动机构、41安装架、42转盘、43第一连杆、44第二连杆、45驱动电机、5光刻机、6放置筒、7滚筒、71硅胶、8减振机构、81底板、82斜杆、83套杆、84弹簧、9福马轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了一种集成电路制备用光刻机，包括机架1，所述机架1内部的一侧设有输送机构2，所述输送机构2包括两个并排布置的传输带21，两个所述传输带21之间的外侧设有若干个载物台22，若干个所述载物台22两端的底部分别与两个传输带21固定连接，所述载物台22上端的中部开设有载物槽23，所述载物台22的底部开设有底槽24，所述底槽24内部的一端转动连接有转动块25，所述输送机构2的内部设有推动机构3所述推动机构3包括两个套板31，两个所述套板31的两端分别与机架1的前后两侧固定连接，两个所述套板31之间设有插板32，所述插板32的两端分别活动插接在两个套板31的中部，所述插板32上方的一端固定连接有与转动块25对应的推杆33，所述机架1内部的另一侧设有光刻机5，所述输送机构2的一侧设有传动机构4，所述机架1的下方设有减振机构8。所述传动机构4包括安装架41，所述安装架41的上端转动连接有转盘42，所述转盘42一侧的外缘处转动连接有第一连杆43，所述第一连杆43的一端转动连接有第二连杆44，所述第二连杆44的上端与插板32的底端固定连接，所述机架1的底部固定安装有驱动电机45，所述驱动电机45的输出轴通过带传动与转盘42传动连接。所述输送机构2的上方设有远离光刻机5一侧的放置筒6，所述放置筒6的后端与机架1的内侧壁固定连接。所述放置筒6的一侧设有远离光刻机5一侧的滚筒7，所述滚筒7的两端分别与机架1的前后两侧转动连接，所述滚筒7的外侧固定套设有硅胶71。所述减振机构8包括底板81，所述底板81上端的四周均固定连接有斜杆82，所述斜杆82上端的外侧活动套设有套杆83，所述套杆83的上端与机架1的底端铰接。所述斜杆82的外侧套设有位于套杆83下部一侧的弹簧84。所述底板81的底端固定安装有若干个福马轮9。如图1-3所示，实施方式具体为：在使用时，首先将多个硅片置于放置筒6的内部，然后启动驱动电机45即可进行输送，驱动电机45通过带传动带动转盘42转动，转盘42带动第一连杆43摆动，继而通过第二连杆44带动插板32在套板31的内部来回滑动，在此过程中，放置筒6内部的硅片落到下方的载物槽23的内部，插板32带动推杆33来回往复移动，在向光刻机5一侧(右侧)移动的过程中，推杆33会通过推动转动块25来推动载物台22移动，而在向远离光刻机5一侧(左侧)移动的过程中，当推杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路制备用光刻机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)内部的一侧设有输送机构(2)，所述输送机构(2)包括两个并排布置的传输带(21)，两个所述传输带(21)之间的外侧设有若干个载物台(22)，若干个所述载物台(22)两端的底部分别与两个传输带(21)固定连接，所述载物台(22)上端的中部开设有载物槽(23)，所述载物台(22)的底部开设有底槽(24)，所述底槽(24)内部的一端转动连接有转动块(25)，所述输送机构(2)的内部设有推动机构(3)所述推动机构(3)包括两个套板(31)，两个所述套板(31)的两端分别与机架(1)的前后两侧固定连接，两个所述套板(31)之间设有插板(32)，所述插板(32)的两端分别活动插接在两个套板(31)的中部，所述插板(32)上方的一端固定连接有与转动块(25)对应的推杆(33)，所述机架(1)内部的另一侧设有光刻机(5)，所述输送机构(2)的一侧设有传动机构(4)，所述机架(1)的下方设有减振机构(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成电路制备用光刻机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)内部的一侧设有输送机构(2)，所述输送机构(2)包括两个并排布置的传输带(21)，两个所述传输带(21)之间的外侧设有若干个载物台(22)，若干个所述载物台(22)两端的底部分别与两个传输带(21)固定连接，所述载物台(22)上端的中部开设有载物槽(23)，所述载物台(22)的底部开设有底槽(24)，所述底槽(24)内部的一端转动连接有转动块(25)，所述输送机构(2)的内部设有推动机构(3)所述推动机构(3)包括两个套板(31)，两个所述套板(31)的两端分别与机架(1)的前后两侧固定连接，两个所述套板(31)之间设有插板(32)，所述插板(32)的两端分别活动插接在两个套板(31)的中部，所述插板(32)上方的一端固定连接有与转动块(25)对应的推杆(33)，所述机架(1)内部的另一侧设有光刻机(5)，所述输送机构(2)的一侧设有传动机构(4)，所述机架(1)的下方设有减振机构(8)。


2.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述传动机构(4)包括安装架(41)，所述安装架(41)的上端转动连接有转盘(42)，所述转盘(42)一侧的外缘处转动连接有第一连杆(43)，所述第一连杆(43)的一端转动连接有第二连杆(44)，所述第二连...

【专利技术属性】
技术研发人员：高龙，
申请(专利权)人：浙江明哲电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33