一种蚀刻机料盒自动转移机构制造技术

本申请公开了一种蚀刻机料盒自动转移机构，包括取盒单元、传送单元和放盒单元，所述取盒单元设置于靠近蚀刻机上料端的区域，被配置为从蚀刻机的上料端拾取空料盒，并将拾取的空料盒放至所述传送单元；所述传送单元被配置为传送来自所述取盒单元的空料盒至所述放盒单元；所述放盒单元设置于靠近蚀刻机下料端的区域，被配置为将所述传送单元传送过来的空料盒拾取至蚀刻机的下料端。本申请的蚀刻机料盒自动转移机构能够对上完物料后的空料盒进行自动转运，可以避免人为出错，有利于降低劳动强度，使得料盒转运效率提高、成本降低，提高了蚀刻线的自动化。刻线的自动化。刻线的自动化。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻机料盒自动转移机构


[0001]本申请一般涉及半导体
，具体涉及一种蚀刻机料盒自动转移机构。

技术介绍

[0002]在半导体封装过程中，需要进行蚀刻处理，具体过程为：将装有待蚀刻物料的料盒放置在蚀刻机上料端的上料机台上，从料盒中提取物料，物料进入蚀刻机并经蚀刻处理后由蚀刻机的下料端出来，并装载于空料盒中完成下料。在这个过程中，蚀刻机由于其机台的特殊性，上下料机构分别为单独个体，上料机构作业完成的空料盒往往需要人工搬运至下料端的下料机台上；因作业机台连续作业、而机台上的产品是根据料盒来区分型号和品种的，人工转运空料盒难免放错位置，容易导致物料装载错误，从而容易出现产品混批或者混品种的现象，并且人工转运空料盒存在劳动强度大，成本高、效率低下，不利于蚀刻线自动化生产的缺点。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种蚀刻机料盒自动转移机构，以期解决现有的人工转运劳动强度大，成本高、效率低下，不利于蚀刻线自动化生产的问题。
[0004]作为本申请的第一方面，本申请提供一种蚀刻机料盒自动转移机构。
[0005]作为优选，蚀刻机料盒自动转移机构包括取盒单元、传送单元和放盒单元，所述取盒单元设置于靠近蚀刻机上料端的区域，被配置为从蚀刻机的上料端拾取空料盒，并将拾取的空料盒放至所述传送单元；所述传送单元被配置为传送来自所述取盒单元的空料盒至所述放盒单元；所述放盒单元设置于靠近蚀刻机下料端的区域，被配置为将所述传送单元传送过来的空料盒拾取至蚀刻机的下料端。
[0006]作为优选，所述取盒单元和放盒单元对称设置在所述传送单元的两侧。
[0007]作为优选，所述取盒单元包括第一支撑臂和活动连接在所述第一支撑臂上的第一机械手，所述第一机械手能够沿所述第一支撑臂在竖直方向升降运动以及在水平面内旋转运动。
[0008]作为优选，所述放盒单元包括第二支撑臂和活动连接在所述第二支撑臂上的第二机械手，所述第二机械手能够沿所述第二支撑臂在竖直方向升降运动以及在水平面内旋转运动。
[0009]作为优选，所述蚀刻机料盒自动转移机构还包括设置于所述蚀刻机上料端的两个第一运输组件，所述两个第一运输组件中的其中一者用于接收装载有待蚀刻物料的料盒，并将待蚀刻物料运送至蚀刻机的入料口，另一者用于接收卸载待蚀刻物料后的空料盒。
[0010]作为优选，所述蚀刻机料盒自动转移机构还包括设置于所述蚀刻机下料端的两个第二运输组件，所述两个第二运输组件中的其中一者用于接收来自所述取盒单元的空料盒，并将所述空料盒运送至蚀刻机的出料口以收取蚀刻后物料，另一者用于接收装载有蚀
刻后物料的料盒。
[0011]作为优选，所述传送单元、两个第一运输组件和两个第二运输组件均为水平设置的传输带，其中，所述两个第一运输组件以及所述两个第二运输组件分别呈上下平行结构，所述传送单元的长度方向分别与所述两个第一运输组件和所述两个第二运输组件的长度方向呈垂直结构。
[0012]作为优选，所述传送单元、两个第一运输组件和两个第二运输组件上分别设置有用于检测其上是否存在有料盒的至少一个感应装置。
[0013]作为优选，所述感应装置为对射型光电传感器。
[0014]作为优选，所述蚀刻机料盒自动转移机构还包括驱动单元和控制单元，所述驱动单元被配置为所述取盒单元、传送单元、放盒单元、两个第一运输组件和两个第二运输组件提供动力，所述控制器分别与所述感应装置和驱动单元电连接。
[0015]本申请的有益效果：
[0016]本申请的蚀刻机料盒自动转移机构能够对上完物料后的空料盒进行自动转运，可以避免人为出错，有利于降低劳动强度，使得料盒转运效率提高、成本降低，提高了蚀刻线的自动化。
附图说明
[0017]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0018]图1为本申请一种实施方式的蚀刻机料盒自动转移机构的主视图；
[0019]图2为图1所示的蚀刻机料盒自动转移机构的第一机械臂和第二机械臂进行作业时的结构示意图；
[0020]图3为本申请一种实施方式的第一机械手的结构示意图；
[0021]图4为本申请一种实施方式的蚀刻机料盒自动转移机构的左视图；
[0022]图5为本申请一种实施方式的蚀刻机料盒自动转移机构的右视图。
[0023]附图标记：蚀刻机1，上料端11，下料端12，入料口13，出料口14，第一支撑臂21，第一机械手22，第一固定座23，第二支撑臂31，第二机械手32，第二固定座33，传送单元4，空料盒5，第一运输组件61A，第一运输组件61B，第二运输组件71A，第二运输组件71B。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0025]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0026]需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方
位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0028]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]本申请所公开的蚀刻机料盒自动转移机构是指为蚀刻机1输送料盒的机构，其中料盒是在蚀刻过程中至少用于装载、转移待蚀刻物料和蚀刻后物料的容器，本文所称的物料可以为半导体制备中的电子元器件，包括但不限于为基板、电路板。其中，蚀刻机1可以为激光蚀刻机、化学蚀刻机或电解蚀刻机等。
[0030]需要理解的是，本申请所公开的料盒自动转移机构不限于应用于蚀刻机1料盒的转移，也可以应用于其他需要借助料盒进行物料装载、转移的设备或工序，例如用于上锡工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻机料盒自动转移机构，其特征在于，包括取盒单元、传送单元和放盒单元，所述取盒单元设置于靠近蚀刻机上料端的区域，被配置为从蚀刻机的上料端拾取空料盒，并将拾取的空料盒放至所述传送单元；所述传送单元被配置为传送来自所述取盒单元的空料盒至所述放盒单元；所述放盒单元设置于靠近蚀刻机下料端的区域，被配置为将所述传送单元传送过来的空料盒拾取至蚀刻机的下料端。2.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构，其特征在于，所述取盒单元和放盒单元对称设置在所述传送单元的两侧。3.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构，其特征在于，所述取盒单元包括第一支撑臂和活动连接在所述第一支撑臂上的第一机械手，所述第一机械手能够沿所述第一支撑臂在竖直方向升降运动以及在水平面内旋转运动。4.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构，其特征在于，所述放盒单元包括第二支撑臂和活动连接在所述第二支撑臂上的第二机械手，所述第二机械手能够沿所述第二支撑臂在竖直方向升降运动以及在水平面内旋转运动。5.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构，其特征在于，还包括设置于所述蚀刻机上料端的两个第一运...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴鹏飞，
申请(专利权)人：南通通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：