结构光3D测高装置及测高方法制造方法及图纸

技术编号:27593670 阅读:85 留言:0更新日期:2021-03-10 10:12
本发明专利技术涉及精密光学仪器测量系统技术领域,公开了一种结构光3D测高装置,包括结构光光路和主镜光路,所述结构光光路与主镜光路之间形成一个夹角,两者交点位置为待测物位置,所述结构光光路包括依次排布的光源、与结构光光路呈一定角度的光栅和结构光镜头,所述主镜光路包括主镜和CMOS相机,所述结构光镜头为小视场的双远心镜头,所述待测物的表面、结构光镜头的主面和光栅的表面,三者满足沙姆定律;所述光栅能够沿其倾斜方向移动,所述主镜为大NA远心镜头,使所述待测物与CMOS相机呈共轭关系。本发明专利技术还公开了对应的测高方法。本发明专利技术实现更大检测范围和更高的检测精度和更快的检测速度。测速度。测速度。

【技术实现步骤摘要】
结构光3D测高装置及测高方法


[0001]本专利技术涉及精密光学仪器测量系统
,尤其涉及一种结构光3D测高装置及测高方法。

技术介绍

[0002]参见附图1,结构光测高采用三角测高原理,激光器发射出激光,通过聚光透镜,入射到被测物件,反射的光束通过成像透镜入射到接收器CCD,移动被测物件,通过在接受面上的像点的位移变化,再通过计算公式h=x'*cosα/β(其中β为成像透镜放大倍率)计算出被测物件表面的高度信息。
[0003]中国专利
ꢀ“
形状测量装置和形状测量方法”(申请号: CN201910318789.8)利用此原理对物体进行测量,其装置主要包括载物台,光投射部,光接受部和控制部。光投射部中光源发出光束,达到样品表面,反射的光线通过光接受部到达探测器,完成一个视场的数据采集,移动载物台到下一个视场,采集数据,直至完成整个样品的检测。该装置检测精度为1um,检测区域为20*10*5cm,适用于精度要求高,体积小的待测物。
[0004]但是,其反映出来的问题是测量速度慢,因为结构光亮度低,主镜NA小,这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种结构光3D测高装置,其特征在于:包括结构光光路和主镜光路,所述结构光光路与主镜光路之间形成一个夹角,两者交点位置为待测物位置,所述结构光光路包括依次排布的光源、与结构光光路呈一定角度的光栅和结构光镜头,所述主镜光路包括主镜和CMOS相机,所述结构光镜头为小视场的双远心镜头,所述待测物的表面、结构光镜头的主面和光栅的表面,三者满足沙姆定律;所述光栅能够沿其倾斜方向移动,所述主镜为大NA远心镜头,使所述待测物与CMOS相机呈共轭关系。2.根据权利要求1所述的结构光3D测高装置,其特征在于:所述光栅的移动速度和CMOS的帧率匹配,移动总位移是光栅的两个条纹间隔。3.根据权利要求1所述的结构光3D测高装置,其特征在于:所述光源为LED光源,在LED光源与光栅之间还设置准直透镜。4.根据权利要求1所述的结构光3D测高装置,其特征在于:所述光栅上线条纹的长宽尺寸及间隔是可变的。5.根据权利要求1至4中任一项所述的结构光3D测高装置,其特征在于:所述结构光光路为两路,设置于主镜光路的两侧。6.根据权利要求5所述的结构光3D测高装置,其特征在于:所述主镜光路设置于待测物的表面的上方,与待测物的表面垂直,两个结构光光路对称于主镜光路设置。7.根据权利要求1至4中任一项所述的结构光3D测高装置,其特征在于:所述结构光3D测高...

【专利技术属性】
技术研发人员:李梦梦
申请(专利权)人:嘉兴景焱智能装备技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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