一种顶针安装校正装置制造方法及图纸

技术编号:27579048 阅读:26 留言:0更新日期:2021-03-09 22:30
本实用新型专利技术公开了半导体制造领域内的一种顶针安装校正装置,包括顶针盘,顶针盘上安装有若干顶针,顶针盘与顶针杆相固定连接,顶针杆水平放置在上压块和下压块之间,所述上压块与下压块活动连接,上压块下侧开设有上定位槽,下压块上侧开设有下定位槽,所述上压块上螺纹连接有锁紧螺丝,锁紧螺丝与锁紧孔螺纹连接,所述顶针杆的上侧紧贴上定位槽内壁,顶针杆的下侧紧贴下定位槽内壁,所述下压块固定在水平的移动座上,与移动座相对应设置有固定板,固定板上固定连接有若干导向杆,与移动座相对应地设置有可推动移动座沿导向杆移动的推进机构。本实用新型专利技术能够对顶针盘上的顶针安装进行水平校正,确保各顶针头部安装在同一平面内。面内。面内。

【技术实现步骤摘要】
一种顶针安装校正装置


[0001]本技术属于半导体制造领域,特别涉及一种顶针安装校正装置。

技术介绍

[0002]现有技术中,卷带式覆晶薄膜封装是一种 IC 封装技术,是运用软性基板电路作为封装芯片的载体,透过热压合将芯片上的金凸块与软性基板电路上的内引脚进行接合的技术。这种封装具有高密度/高接脚数、微细化集团接合、高产出以及高可靠度的特性。
[0003]IC是由晶圆切割得到的小晶粒,内引脚接合机应用于卷带式覆晶封装,内引脚接合机工作时,需要使用到顶针,顶针安装在顶针盘上,目前顶针在安装到顶针盘的过程中没有规范,通常是将顶针用手直接插入到顶针盘底部,并固定即可。其不足之处在于:同时安装两根或以上数量顶针时,无法确认顶针之间是否都已安装到位,各顶针头部是否安装在同一平面内。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种顶针安装校正装置,能够对顶针盘上的顶针安装进行水平校正,确保各顶针头部安装在同一平面内。
[0005]本技术的目的是这样实现的:一种顶针安装校正装置,包括顶针盘,顶针盘上安装有若干相互平行的顶针,顶针与顶针盘相垂直,顶针盘与顶针杆相固定连接,顶针杆与顶针盘相垂直,所述顶针杆水平放置在上压块和下压块之间,所述上压块与下压块活动连接,上压块下侧开设有上定位槽,下压块上侧开设有下定位槽,所述上压块上螺纹连接有锁紧螺丝,下压块上对应锁紧螺丝开设有锁紧孔,锁紧螺丝与锁紧孔螺纹连接,所述顶针杆的上侧紧贴上定位槽内壁,顶针杆的下侧紧贴下定位槽内壁,所述下压块固定在水平的移动座上,与移动座相对应设置有固定板,固定板与顶针杆相垂直,固定板靠近顶针杆的一侧设置有检测面,固定板上固定连接有若干导向杆,移动座与各导向杆活动连接,与移动座相对应地设置有可推动移动座沿导向杆移动的推进机构。
[0006]本技术使用时,先松开锁紧螺丝,然后将上压块向上提升,将顶丝杆插入上定位槽和下定位槽之间,再将上压块向下压,再将锁紧螺丝锁紧,使得上压块压紧顶丝杆;再通过推进机构驱动移动座向着固定板移动,然后观察顶针盘上的各顶针头部是否均与固定板的检测面相接触。与现有技术相比,本技术的有益效果在于:能够对顶针盘上的顶针安装进行水平校正,确保各顶针头部安装在同一平面内。本装置可以可以保证机台相比较之前更加稳定作业,减少因异常带来的修机时间;减少成本损失,顶针之间水平校正可以保证在拾取晶粒过程中,减少晶粒因拾取不稳定造成的损失。
[0007]作为本技术的进一步改进,所述推进机构包括一端转动支撑在固定板上的丝杆,丝杆与顶针杆相平行,移动座与丝杆螺纹连接,丝杠的另一端设置有旋钮。通过旋钮转动丝杠,使得移动座沿着导向杆移动。
[0008]作为本技术的进一步改进,所述导向杆设置有两根,两根导向杆对称分布在
丝杠的左右两侧。
[0009]作为本技术的进一步改进,所述移动座与固定板之间设置有两根对称分布在丝杠左右两侧的阻尼弹簧,移动座和固定板上均对应阻尼弹簧相应端部设置有安装座,安装座上开设有安装槽,阻尼弹簧的左右两端分别弹性抵触在相应安装座的安装槽内壁上。移动座移动时,阻尼弹簧给予一定阻力,提高移动精度;移动座停止时,丝杠具有自锁特性,保证移动座停下后不会窜动。
[0010]作为本技术的进一步改进,所述锁紧螺丝与顶丝杆轴线相垂直。
[0011]作为本技术的进一步改进,所述下压块上设置有两个左右对称的导向块,上压块与两个导向块活动连接。上压块上下移动时,导向块起到导向作用。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构图。
[0013]图2为图1的主视图。
[0014]图3为图1的左视图。
[0015]图4为图1的俯视图。
[0016]其中,1顶针盘,2顶针,3顶针杆,4上压块,4a上定位槽,5下压块,5a下定位槽,6锁紧螺丝,7锁紧孔,8移动座,9固定板,9a检测面,10导向杆,11丝杆,12旋钮,13阻尼弹簧,14安装座,15安装槽,16导向块。
具体实施方式
[0017]如图1-4所示,为一种顶针安装校正装置,包括顶针盘1,顶针盘1上安装有若干相互平行的顶针2,顶针2与顶针盘1相垂直,顶针盘1与顶针杆3相固定连接,顶针杆3与顶针盘1相垂直,顶针杆3水平放置在上压块4和下压块5之间,上压块4与下压块5活动连接,上压块4下侧开设有上定位槽4a,下压块5上侧开设有下定位槽5a,上压块4上螺纹连接有锁紧螺丝6,下压块5上对应锁紧螺丝6开设有锁紧孔7,锁紧螺丝6与锁紧孔7螺纹连接,顶针杆3的上侧紧贴上定位槽4a内壁,顶针杆3的下侧紧贴下定位槽5a内壁,下压块5固定在水平的移动座8上,与移动座8相对应设置有固定板9,固定板9与顶针杆3相垂直,固定板9靠近顶针杆3的一侧设置有检测面9a,固定板9上固定连接有若干导向杆10,移动座8与各导向杆10活动连接,与移动座8相对应地设置有可推动移动座8沿导向杆10移动的推进机构。所述推进机构包括一端转动支撑在固定板9上的丝杆11,丝杆11与顶针杆3相平行,移动座8与丝杆11螺纹连接,丝杠的另一端设置有旋钮12。导向杆10设置有两根,两根导向杆10对称分布在丝杠的左右两侧。移动座8与固定板9之间设置有两根对称分布在丝杠左右两侧的阻尼弹簧13,移动座8和固定板9上均对应阻尼弹簧13相应端部设置有安装座14,安装座14上开设有安装槽15,阻尼弹簧13的左右两端分别弹性抵触在相应安装座14的安装槽15内壁上。锁紧螺丝6与顶丝杆11轴线相垂直。下压块5上设置有两个左右对称的导向块16,上压块4与两个导向块16活动连接。
[0018]本技术使用时,先松开锁紧螺丝6,然后将上压块4向上提升,将顶丝杆11插入上定位槽4a和下定位槽5a之间,再将上压块4向下压,再将锁紧螺丝6锁紧,使得上压块4压紧顶丝杆11;再通过旋钮12转动丝杠,使得移动座8沿着导向杆10向着固定板9移动,然后观
察顶针盘1上的各顶针2头部是否均与固定板9的检测面9a相接触。本技术的优点在于:能够对顶针盘1上的顶针2安装进行水平校正,确保各顶针2头部安装在同一平面内。本装置可以可以保证机台相比较之前更加稳定作业,减少因异常带来的修机时间;减少成本损失,顶针2之间水平校正可以保证在拾取晶粒过程中,减少晶粒因拾取不稳定造成的损失。
[0019]本技术并不局限于上述实施例,在本技术公开的技术方案的基础上,本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
,不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形,这些替换和变形均在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种顶针安装校正装置,包括顶针盘,顶针盘上安装有若干相互平行的顶针,顶针与顶针盘相垂直,顶针盘与顶针杆相固定连接,顶针杆与顶针盘相垂直,其特征在于,所述顶针杆水平放置在上压块和下压块之间,所述上压块与下压块活动连接,上压块下侧开设有上定位槽,下压块上侧开设有下定位槽,所述上压块上螺纹连接有锁紧螺丝,下压块上对应锁紧螺丝开设有锁紧孔,锁紧螺丝与锁紧孔螺纹连接,所述顶针杆的上侧紧贴上定位槽内壁,顶针杆的下侧紧贴下定位槽内壁,所述下压块固定在水平的移动座上,与移动座相对应设置有固定板,固定板与顶针杆相垂直,固定板靠近顶针杆的一侧设置有检测面,固定板上固定连接有若干导向杆,移动座与各导向杆活动连接,与移动座相对应地设置有可推动移动座沿导向杆移动的推进机构。2.根据权利要求1所述的一种顶针安装校正装置,其特征在于,所述推进机...

【专利技术属性】
技术研发人员:张德青涂可嘉刘明群赵原
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司
类型:新型
国别省市:

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