翻转装置和基板加工系统制造方法及图纸

涉及翻转装置和基板加工系统。能够节省空间地执行基板翻转。翻转装置(54)具备轴部(541、541

【技术实现步骤摘要】
翻转装置和基板加工系统


[0001]本专利技术涉及使切断加工后的基板翻转的翻转装置和具备该翻转装置的基板加工系统。

技术介绍

[0002]已知将玻璃等平面基板切分为小的基板小片的切断装置。另外，有时需要将切断后的基板小片在将其面的朝向固定的状态下交接给下一个工艺等。以往，作业者从切断装置取出基板小片，根据需要使基板翻转，使基板小片的面的朝向固定。
[0003]另一方面，已知在将平面状基板夹在两个台之间的状态下使该台旋转从而使基板翻转的翻转装置(例如，专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开平11-347779号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]上述翻转装置为如下构成：在将基板夹在两个台之间时，使一个台在与旋转轴垂直的方向移动来载置基板，之后，使该台与另一个台对置来夹着基板。在使一个台在与台的旋转轴垂直的方向上移动的构成中，需要确保用于该台的移动的大的空间，因此，以往的翻转装置难以变得紧凑。
[0009]因此，在装置的设置空间有限的作业现场，配置基板的切断装置和以往的基板的翻转装置两者是困难的。
[0010]本专利技术的目的在于能够节省空间地执行基板的翻转。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]以下，作为用于解决问题的方案说明多个方式。这些方式能够根据需要任意地组合。
[0013]本专利技术的一个观点的翻转装置是用于使基板翻转的装置。翻转装置具备轴部、第一手部、第二手部以及翻转部。
[0014]轴部与基板的侧面接近。第一手部以能够在轴部的长度方向上移动的方式装配于轴部，向基板侧移动来保持第一主面。第二手部以能够在轴部的长度方向上移动的方式装配于轴部，向基板侧移动来保持第二主面。翻转部当第一手部和第二手部保持着基板时将轴部绕轴旋转，从而将基板翻转。
[0015]上述的翻转装置为如下构成：保持基板的第一手部及第二手部以能够在轴部的长度方向上移动的状态装配于轴部，当保持基板时沿着轴部的长度方向移动到基板侧。由此，上述的翻转装置能够在少量空间内执行直至保持并翻转基板为止。
[0016]可以是，第一手部具有真空吸附并保持第一主面的第一吸附部。另外可以是，第二
手部具有真空吸附并保持第二主面的第二吸附部。由此，能够使基板容易地保持/脱离。
[0017]可以是，当由第一手部和第二手部保持基板时，由第一吸附部真空吸附并保持第一主面，或者由第二吸附部真空吸附并保持第二主面。由此，能够容易地识别由哪个手部保持着基板。
[0018]本专利技术的其它观点的基板加工系统具备：切断装置，其将基板切断为基板小片；以及翻转装置，其将基板小片翻转。该基板加工系统的翻转装置具有轴部、第一手部、第二手部以及翻转部。
[0019]轴部与基板小片的侧面接近。第一手部以能够在轴部的长度方向上移动的方式装配于轴部，向基板侧移动来保持基板的第一主面。第二手部以能够在轴部的长度方向上移动的方式装配于轴部，向基板侧移动来保持基板的第二主面。翻转部当第一手部和第二手部保持着基板时将轴部绕轴旋转，从而将基板翻转。
[0020]上述的基板加工系统为如下构成：在翻转装置中，保持基板的第一手部及第二手部以能够在轴部的长度方向上移动的状态装配于轴部，当保持基板时沿着轴部的长度方向移动到基板侧。
[0021]由此，上述的翻转装置能够在少量空间内执行直至保持并翻转基板为止。其结果是，在上述的基板加工系统中，能够使翻转装置变得紧凑，能够在有限的设置空间内设置切断装置和翻转装置。
[0022]专利技术效果
[0023]能够在少量空间内执行直至保持并翻转基板为止。其结果是，能够使翻转装置变得紧凑，能够在有限的设置空间内设置切断装置和翻转装置。
附图说明
[0024]图1是示出基板加工系统的构成的图。
[0025]图2是示出第一实施方式的翻转装置的构成的图。
[0026]图3A是示意性地示出由翻转装置进行的基板小片的翻转动作的图(其一)。
[0027]图3B是示意性地示出由翻转装置进行的基板小片的翻转动作的图(其二)。
[0028]图3C是示意性地示出由翻转装置进行的基板小片的翻转动作的图(其三)。
[0029]图3D是示意性地示出由翻转装置进行的基板小片的翻转动作的图(其四)。
[0030]图3E是示意性地示出由翻转装置进行的基板小片的翻转动作的图(其五)。
[0031]图4是示出第二实施方式的翻转装置的构成的图。
[0032]图5是示意性地示出第二实施方式的翻转装置保持基板小片的状态的图。
[0033]附图标记说明
[0034]100基板加工系统；1切断装置；3第一搬运装置；5基板翻转部；51第一移动载置装置；51a第一移动部；51b第一垫片移动部；51c第一吸附垫片；52第二移动载置装置；52a第二垫片移动部；52b垫片保持部；52c第二吸附垫片；53对位装置；54翻转装置；541、541
′
轴部；542、542
′
第一手部；543、543
′
第二手部；544、544
′
翻转部；545第一吸附部；545a第一吸引口；545b第一吸引装置；545c第一压力计；545d第一阀；546第二吸附部；546a第二吸引口；546b第二吸引装置；546c第二压力计；546d第二阀；55ID读取装置；56第三移动载置装置；56a第三移动部；56b第三垫片移动部；56c第三吸附垫片；7第二搬运装置；9控制器；S基板小
片；S1第一基板；S2第二基板。
具体实施方式
[0035]1.第一实施方式
[0036](1)基板加工系统
[0037]以下，使用图1来说明第一实施方式的基板加工系统100。图1是示出基板加工系统的构成的图。在图1中，以由第一搬运装置3进行的基板小片S的搬运方向为X方向并用箭头示出。另外，以与其垂直的方向为Y方向并用箭头示出。第一实施方式的基板加工系统100是将玻璃等母基板切分为多个基板小片S、根据用途使各基板小片S的正反面翻转、将其搬运到进行下一个工序的装置等的系统。此外，在本实施方式中，加工对象的母基板是使两个基板贴合而成的贴合基板。
[0038]基板加工系统100主要具备切断装置1、第一搬运装置3、基板翻转部5、第二搬运装置7以及控制器9。
[0039]切断装置1将母基板切断为多个基板小片S。切断装置1例如具备：划线形成构件(例如，划线轮)，其设置于母基板的上表面及下表面双方；固定台，其保持形成有划线的母基板；以及切割机构，其在使划线位于固定台与倾动台的间隔内的状态下，使倾动台向上方或下方倾斜而施加弯矩来切断母基板，从而切出基板小片S。
[0040]由切断装置1切出的基板小片S为了向基板翻转部5搬运而被搬运到第一搬运装置3。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种翻转装置，是将基板翻转的翻转装置，其特征在于，具备：轴部，与所述基板的侧面接近；第一手部，以能够在所述轴部的长度方向上移动的方式装配于所述轴部，向所述基板侧移动来保持所述基板的第一主面；第二手部，以能够在所述轴部的长度方向上移动的方式装配于所述轴部，向所述基板侧移动来保持所述基板的第二主面；以及翻转部，当所述第一手部和所述第二手部保持着所述基板时将所述轴部绕轴旋转，从而将所述基板翻转。2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述第一手部具有真空吸附并保持所述第一主面的第一吸附部，所述第二手部具有真空吸附并保持所述第二主面的第二吸附部。3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，当由所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井敏行，中田胜喜，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：