一种半导体制造用机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开一种半导体制造用机械手臂，包括座体，所述座体的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂，所述座体的底部设有连接机构，所述连接机构包括第一箱体、第一圆杆、弹簧、块体、第二圆杆、第二箱体、圆块、弧形块、第三箱体和手柄，所述手柄的顶部固接有圆块，两个所述弧形块的外侧分别与两个第二圆杆的内侧相贴合，所述第二箱体的底部固接有第三箱体，所述第三箱体的通口与手柄的右侧间隙配合。该半导体制造用机械手臂通过第一箱体、第一圆杆和弹簧之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可进行快速的拆卸，避免存在机械手柄固定后，方便该半导体制造用机械手臂更具使用者的需求进行移动，省时省力。省时省力。省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造用机械手臂


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体为一种半导体制造用机械手臂。

技术介绍

[0002]机械手臂是机械人
中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影，虽然现有的机械手臂虽然可以实现对半导体的加工，但存在机械手柄固定后，无法进行快速的拆卸，当机械手臂损坏后，使用者对其进行拆卸维修费时费力，影响工作效率的问题，且存在现有的机械手臂活动高度有限，无法更具不同的工作高度，进行高度调节，需进行重新安装，进行加工的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供，以解决上述
技术介绍
中提出的虽然现有的机械手臂虽然可以实现对半导体的加工，但存在机械手柄固定后，无法进行快速的拆卸，当机械手臂损坏后，使用者对其进行拆卸维修费时费力，影响工作效率的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体制造用机械手臂，包括座体，所述座体的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂，所述座体的顶部左侧通过销轴转动相连有推杆，所述推杆的输出端通过销轴与转动臂的顶部转动相连，所述座体的底部设有连接机构；
[0005]所述连接机构包括第一箱体、第一圆杆、弹簧、块体、第二圆杆、第二箱体、圆块、弧形块、第三箱体和手柄；
[0006]所述第一箱体固接于座体的底部，所述第一箱体的左右两侧均连通有第一圆杆，所述第一圆杆的内壁外侧卡接有弹簧，所述弹簧的内侧卡接有块体，所述第一箱体的内壁间隙配合有第二箱体，所述第二箱体的内壁左右两侧均贯穿有第二圆杆，所述第二圆杆的外壁与第一圆杆的内壁间隙配合并与块体相贴合，所述第二箱体的顶部通过轴承转动相连有手柄，所述手柄的顶部固接有圆块，所述圆块的左右两侧均固接有弧形块，两个所述弧形块的外侧分别与两个第二圆杆的内侧相贴合，所述第二箱体的底部固接有第三箱体，所述第三箱体的通口与手柄的右侧间隙配合。
[0007]优选的，所述手柄的表面加工有纹路。
[0008]优选的，所述第三箱体的底部设有升降机构；
[0009]所述升降机构包括竖杆、第三圆杆和螺杆；
[0010]所述竖杆固接于第三箱体的底部，所述竖杆的外壁间隙配合有第三圆杆，所述第三圆杆的内壁底部通过轴承转动相连有螺杆，所述螺杆的外壁与竖杆的内壁螺纹相连。
[0011]优选的，所述第三圆杆的底部设有移动机构；
[0012]所述移动机构包括横板和万向轮；
[0013]所述横板固接于第三圆杆的底部，所述横板的底部四角均固接有万向轮。
[0014]优选的，所述横板的顶部设有调节机构；
[0015]所述调节机构包括槽轮、转盘和皮带；
[0016]两个所述槽轮设于横板的顶部，右侧所述槽轮套接于螺杆的外壁，左侧所述槽轮通过销轴与横板的顶部左侧转动相连，左侧所述槽轮的顶部固接有转盘，两个所述槽轮通过皮带转动相连，所述皮带的外壁贯穿于第三圆杆的内壁左侧。
[0017]优选的，两个所述槽轮位于同一水平线上。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构科学合理，使用安全方便。
[0019]该半导体制造用机械手臂，通过第一箱体、第一圆杆和弹簧之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可进行快速的拆卸，避免存在机械手柄固定后，无法进行快速的拆卸，当机械手臂损坏后，使用者对其进行拆卸维修费时费力，影响工作效率。
[0020]该半导体制造用机械手臂，通过螺杆、第三圆杆和竖杆之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可根据使用者需求，进行一定的高度调节，避免存在现有的机械手臂活动高度有限，无法更具不同的工作高度，进行高度调节，需进行重新安装，进行加工。
[0021]该半导体制造用机械手臂，通过横板、万向轮和第三圆杆之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可进行移动，方便该半导体制造用机械手臂更具使用者的需求进行移动，省时省力。
附图说明
[0022]图1为本技术连接关系示意图；
[0023]图2为图1中第一箱体、第一圆杆和块体的连接关系示意图；
[0024]图3为图1中手柄、竖杆和第三圆杆的连接关系示意图；
[0025]图4为图1中槽轮、皮带和横板的连接关系示意图。
[0026]图中：1、座体，2、转动臂，3、推杆，4、连接机构，401、第一箱体， 402、第一圆杆，403、弹簧，404、块体，405、第二圆杆，406、第二箱体， 407、圆块，408、弧形块，409、第三箱体，410、手柄，5、升降机构，501、竖杆，502、第三圆杆，503、螺杆，6、调节机构，601、槽轮，602、转盘，603、皮带，7、移动机构，701、横板，702、万向轮。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种半导体制造用机械手臂，包括座体1，座体1的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂2，使得转动壁2可进行转动，转动壁2的顶部用于连接外界加工设备，座体1的顶部左侧通过销轴转动相连有推杆3，推杆3的型号为DH190-S200，推杆3的输出端通过销轴与转动臂2的顶部转动相连，使得推杆3可带动转动臂2进行转动，座体1的底部设有连接机构4，连接机构4包括第一箱体401、第一圆杆 402、弹簧403、块体404、第二圆杆405、第二箱体406、圆块407、弧形块 408、第三箱体409和手柄
410，第一箱体401固接于座体1的底部，第一箱体401的左右两侧均连通有第一圆杆402，第一圆杆402的内壁外侧卡接有弹簧403，弹簧403的弹力系数为7500-8500N\M，弹簧403的内侧卡接有块体 404，弹簧403给予块体404向内移动的力，第一箱体401的内壁间隙配合有第二箱体406，使得第二箱体406移出或移入第一箱体401的内壁，第二箱体 406的内壁左右两侧均贯穿有第二圆杆405，使得第二圆杆405可在第二箱体 406的内壁进行左右移动，第二圆杆405的外壁与第一圆杆402的内壁间隙配合并与块体404相贴合，使得第二圆杆405可将第二箱体406与第一箱体401 固定连接在一起，第二箱体406的顶部通过轴承转动相连有手柄410，手柄 410的顶部固接有圆块407，圆块407的左右两侧均固接有弧形块408，两个弧形块408的外侧分别与两个第二圆杆405的内侧相贴合，使得弧形块408 可将第二圆杆405移入第一圆杆402的内部，第二箱体406的底部固接有第三箱体409，第三箱体409的通口与手柄410的右侧间隙配合，使得手柄410 可在第三箱体409本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用机械手臂，包括座体(1)，所述座体(1)的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂(2)，所述座体(1)的顶部左侧通过销轴转动相连有推杆(3)，所述推杆(3)的输出端通过销轴与转动臂(2)的顶部转动相连，其特征在于：所述座体(1)的底部设有连接机构(4)；所述连接机构(4)包括第一箱体(401)、第一圆杆(402)、弹簧(403)、块体(404)、第二圆杆(405)、第二箱体(406)、圆块(407)、弧形块(408)、第三箱体(409)和手柄(410)；所述第一箱体(401)固接于座体(1)的底部，所述第一箱体(401)的左右两侧均连通有第一圆杆(402)，所述第一圆杆(402)的内壁外侧卡接有弹簧(403)，所述弹簧(403)的内侧卡接有块体(404)，所述第一箱体(401)的内壁间隙配合有第二箱体(406)，所述第二箱体(406)的内壁左右两侧均贯穿有第二圆杆(405)，所述第二圆杆(405)的外壁与第一圆杆(402)的内壁间隙配合并与块体(404)相贴合，所述第二箱体(406)的顶部通过轴承转动相连有手柄(410)，所述手柄(410)的顶部固接有圆块(407)，所述圆块(407)的左右两侧均固接有弧形块(408)，两个所述弧形块(408)的外侧分别与两个第二圆杆(405)的内侧相贴合，所述第二箱体(406)的底部固接有第三箱体(409)，所述第三箱体(409)的通口与手柄(410)的右侧间隙配合。2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述手柄(410...

【专利技术属性】
技术研发人员：仝立娟，张照杰，
申请(专利权)人：仝立娟，
类型：新型
国别省市：