双层石英工艺室结构制造技术

一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体上，包括炉管，炉管包括外炉管和內炉管，外炉管的内壁与內炉管的外壁之间设有间隔空间；炉管上安装有法兰，第一法兰上设置有第一通气管；第二法兰上安装有第二炉盖，第二炉盖上设置有抽气管，內炉管后端的端口与第二炉盖相连，并与抽气管相连通；第二炉盖上设置有充气管，充气管的内端伸入到间隔空间中。本发明专利技术的双层石英工艺室结构，设置有内外两个炉管，炉管之间具有夹层空间，能够通过充气管通入保护气体，使夹层空间内保护气体的气压微高于作为工艺腔室的內炉管内腔的气体压力，防止工艺腔室内气体进入到夹层内部，防止外炉管内壁上有工艺反应物沉积，从而避免外炉管因此发生破裂，提高其使用寿命。高其使用寿命。高其使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
双层石英工艺室结构


[0001]本技术属于晶片低压镀膜工艺设备领域，尤其涉及一种双层石英工艺室结构。

技术介绍

[0002]光伏行业的生产中，LPCVD炉的工艺腔室主要采用单层工艺腔室，工艺腔室由石英材质制成，而石英材质与低压镀膜工艺领域的工艺沉积物的应力不同，且应力值相差较大，使作为工艺腔室的石英管内表面因沉积物的应力作用容易破裂，使用寿命非常短，为了人员和设备安全，必须缩短石英管的实际使用周期，对石英管进行提前更换，增加设备的运行成本。

技术实现思路

[0003]本技术针对上述现有设备采用的单层工艺腔室存在易破裂、寿命短且运行成本高的问题，提出一种寿命长且运行成本低的双层石英工艺室结构。
[0004]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案为：
[0005]一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体上，包括炉管，所述炉管包括外炉管和內炉管，所述外炉管穿设在加热炉体中，并套设在內炉管外；
[0006]所述外炉管的内壁与內炉管的外壁之间设有间隔空间；
[0007]所述炉管上安装有法兰，所述法兰包括第一法兰和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体(1)上，其特征在于，包括炉管，所述炉管包括外炉管(21)和內炉管(22)，所述外炉管(21)穿设在加热炉体(1)中，并套设在內炉管(22)外；所述外炉管(21)的内壁与內炉管(22)的外壁之间设有间隔空间(3)；所述炉管上安装有法兰，所述法兰包括第一法兰(41)和第二法兰(42)，所述外炉管(21)前端的端口和內炉管(22)前端的端口均与第一法兰(41)相连，所述外炉管(21)后端的端口与第二法兰(42)相连；所述第一法兰(41)上安装有第一炉盖(51)，所述第一法兰(41)上设置有第一通气管(61)；所述第二法兰(42)上安装有第二炉盖(52)，所述第二炉盖(52)上设置有抽气管(63)，所述內炉管(22)后端的端口与第二炉盖(52)相连，并与抽气管(63)相连通；所述第二炉盖(52)上设置有充气管(64)，所述充气管(64)的内端伸入到间隔空间(3)中；所述第一通气管(61)、充气管(64)和抽气管(63)上均安装有阀门。2.根据权利要求1所述的双层石英工艺室结构，其特征在于，所述內炉管(22)后端的端口上安装有环形的端盖(7)，所述端盖(7)上连接有波纹管(8)，所述波纹管(8)一端与第二炉盖(52)固接，所述端盖(7)的内孔与抽气管(63)通过波纹管(8)相连通。3.根据权利要求1所述的双层石英工艺室结构，其特征在于，所述法兰上均设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海林，刘国霞，
申请(专利权)人：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：