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一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体上，包括炉管，炉管包括外炉管和內炉管，外炉管的内壁与內炉管的外壁之间设有间隔空间；炉管上安装有法兰，第一法兰上设置有第一通气管；第二法兰上安装有第二炉盖，第二炉盖上设置有抽气管，內炉管后端的端口与第二炉...
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