光阻剥离装置制造方法及图纸

一种光阻剥离装置，用来剥离有机电激发光显示面板表面上的光阻。该装置包括：剥离单元，用来提供剥离液以去除该有机电激发光显示面板表面上的光阻；清洗单元，用来喷洒一清洗溶液以移除该有机电激发光显示面板表面上残留的剥离液；吹干设备，用来吹干该有机电激发光显示面板；传送滚轮，以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送至该剥离单元、该清洗单元以及该吹干单元中；控制单元，用来控制该传送单元的传送顺序与传送时间，以精确地控制该有机电激发光显示面板在每一个单元中的处理时间。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种光阻剥离的装置，特别涉及一种聚酰亚胺层的图案显影后的光阻剥离的装置。有机电激发光显示器(organic light emitting display，OLED)具有自发光、高亮度、高对比、宽视角、驱动电压低与高速应答等优点，是目前新世代显示器中最被寄予厚望的平面显示器。然而由于其技术较新、发展较其它显示器晚，技术尚未完全成熟，所以目前全世界仅有日本的Pioneer有小尺寸的产品推出。显示器OLED在商品化过程还有许多的障碍有待克服，特别是对批量生产的技术而言。光阻剥离(stripping)是在半导体或显示器的黄光微影工艺的最后一道步骤，就是将上道蚀刻步骤中保护图案的光阻去除，避免光阻残留污染下一道黄光微影工艺，以获得干净的有线路图案的基板。对OLED面板每一道的电极接线层、ITO(铟锡氧化物)阳极层、隔离层等结构层的微影图案定义后的光阻剥离工艺而言，由于所使用的ITO基板表面较现今半导体电路所使用的磊晶硅基板粗糙，使得光阻不易从ITO表面被剥离，容易有光阻的残留现象发生在显示面板的ITO表面。一旦光阻残留于显示面板表面，特别是在ITO阳极发光区，就会阻挡后续有机发光层与阴极材料的蒸镀，使得显示面板产生暗点，降低显示品质与工艺合格率。再者，因为后续工艺所蒸镀的有机电子发光膜层厚度非常薄，由于光阻残留造成的厚度不均，易造成电场分布不均，甚至组件短路，进而影响显示器的寿命。一般而言，定义非感光型聚酰亚胺(Non-photosensitive polyimide)层的图案使用的材质为光阻层，聚酰亚胺本身具有较好的热稳定性、机械稳定性、电稳定性以及光稳定性，可以使有机电激发光显示面板具有较好的发光稳定度与较长的使用寿命。制作的方法包含有涂布聚酰亚胺或是聚酰亚胺前躯体(precursor)，图布一光阻层于聚酰亚胺层之上，依次进行预烤、曝光、曝光后烤、显影、剥离、高温烘烤等工序，以定义出聚酰亚胺的图案。其中，公知的剥离光阻技术在传统的集成电路、光电工艺中，是将硅基板置于吸盘上旋转，而后由喷嘴分别喷洒剥离液与水洗液，最后再高速旋干。但随着显示器尺寸往新世代推进而加大，与显示器玻璃基板较硅基板重很多的双重效应影响，使得传统的转盘设计无法负荷如此大的重量与高速旋转下的离心力，使得光阻剥离效果不均、剥离不干净造成光阻残留，而大大降低显示组件的合格率。因此改用将显示基板浸泡在不同的碱性剥离槽与水洗槽的方式进行，但却无法连续操作每一个步骤，必须通过人为传送的方式将显示面板取出并装载至另一个机台中。因此整个显影工艺的时程会延长许多，不利于批量生产作业，也不利于大面积的显示面板制造。此外，由于人为因素不易控制，常会在传送过程中产生延误或是损坏，因此一般的显影设备根本无法精确地控制剥离时间，也不能确保剥离工艺的品质。再者针对工艺的化学稳定性而言，特别是有机电激发光显示器结构中所使用的聚酰亚胺材质，由于必须经过最后一道220～350℃高温烘烤后才会具备高的电气、机械、热与化学稳定性。而在此之前其化学性质尚未稳定，容易受到碱性物质等化学药剂的破坏。所以对于聚酰亚胺层的剥离而言，传统技术中用来剥离光阻的碱性物质如氢氧化钠、氢氧化钾，也会导致聚酰亚胺的分解、剥落。因此，在进行光阻层的剥离时，需要做精确的剥离时间控制与选择适当的剥离药剂，避免剥离时聚酰亚胺层遭受剥离液破坏而使图案定义面积的规格改变甚至造成整片聚酰亚胺层剥离脱落，以提高显示器的工艺合格率与规格稳定性。有鉴于此，本技术的目的在于提供一OLED面板光阻剥离装置。本技术的另一目的在于提供一OLED面板光阻剥离装置，可以供批量生产工艺流畅化的运作。本技术的又一目的在于提供一OLED面板光阻剥离装置，适用于不同世代基板尺寸的操作弹性，并同时满足OLED基板在光阻剥离后洁净的需求。本技术提供一OLED面板光阻剥离装置，可以提供一高洁净度及批量生产工艺流畅化的光阻剥离。不仅具有连续化高产量的优点、适用于不同世代基板尺寸的操作弹性，并同时满足OLED基板在光阻剥离后洁净的需求。本技术提供一种剥离装置，用来针对图案化聚酰亚胺层之后，进行光阻剥离。请参照附图说明图1，光阻剥离装置包含了以传送滚轮200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500，以及一控制设备600来控制传送滚轮的传送顺序与传送时间。另外可以包括一承载单元(未绘出于图1上)，承载单元用来装载待剥离处理的显示面板，或以提供一缓冲区使光阻曝光完后的显示面板直接进行光阻剥离工艺来取代承载单元。另外可以包括一下载单元(未绘出于图1上)，下载单元用来装载剥离处理完成的显示面板，或以提供一缓冲区使显示面板直接进入下游的高温烘烤模块来取代下载单元。传送滚轮的功能是用来提供连续传送的方式，将有机电激发光显示面板依次传送至剥离单元、清洗单元以及吹干设备中。传送滚轮是由轮轴及安装于轮轴两端的两滚轮所组成的，其中滚轮包括具有承接功能的内缘及具有限制功能的外缘两个部分。具有承接功能的内缘用以承接有机电激发光显示面板，具有限制功能的外缘用以固定有机电激发光显示面板位于传输滚轮单元上的横向位置。借着滚轮的转动来传输置于其上的有机电激发光显示面板。剥离单元至少包括了正丁基乙酯(n-Butyl acetate，NBA)剥离槽和异丙醇(Isopropyl Alcohol，IPA)剥离清洗槽。正丁基乙酯剥离槽至少包括了储槽、供液系统及反应室。储槽的功能是用于储存正丁基乙酯，而通过供液系统将正丁基乙酯供应至反应室，而与在反应室内来回传送的有机电激发光显示面板上的光阻作用而将光阻剥离，使有机电激发光显示面板于反应室内来回传送，可促使剥离效果均匀性更好。供液系统将位于储槽内的正丁基乙酯吸入反应室内，以浸泡、喷洒或一边浸泡一边喷洒的方式用正丁基乙酯来溶解并去除位于有机电激发光显示面板表面上的光阻，而使光阻脱离有机电激发光显示面板表面。剥离单元至少包括一个正丁基乙酯剥离槽，若包括一个以上的正丁基乙酯剥离槽，这些正丁基乙酯剥离槽的排列方式可以为并联、串联或并串联的方式排列。并联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板，串联的优点在于可以以连续二次以上的正丁基乙酯处理而使得光阻的剥除更干净，而并串联更兼具两者的优点。两个以上的正丁基乙酯剥离槽还可在更换正丁基乙酯时避免光阻剥离装置的停摆，而使生产的速度不受影响。异丙醇剥离清洗槽排列在正丁基乙酯剥离槽之后，剥离单元至少包括一个异丙醇剥离清洗槽，若包括一个以上的异丙醇剥离清洗槽，这些异丙醇剥离清洗槽也可如正丁基乙酯剥离槽的排列方式排列，而视生产上的需求而定。异丙醇剥离清洗槽的目的一方面是在将有机电激发光显示面板表面上的残留光阻去除干净，另一方面是在将残留于有机电激发光显示面板表面上正丁基乙酯置换。异丙醇剥离清洗槽也包括了储槽、供液系统及反应室。储槽的功能是用于储存异丙醇，而通过供液系统将异丙醇供应至反应室来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板。因为异丙醇的沸点较低，所以在此均采用浸泡而不用喷洒的方式来清洗有机电激发光显示面板，以减少异丙醇蒸气的产生。剥离单元中的设备均采用防爆不锈钢设计，以提高设备的安全系数。在正丁基乙酯槽及异丙醇槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光阻剥离装置，适用于剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征在于：该装置包括：一剥离槽，该剥离槽内盛装剥离液；一清洗槽，配置于剥离槽之后，该清洗槽内盛装清洗液；一吹干设备，该吹干设备配置于该清洗槽之后；一传送滚轮，该传送滚轮配置于该剥离槽、该清洗槽及该吹干设备之间；一控制设备，该控制设备适于控制该传送滚轮的传送顺序与传送时间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：张毅，卢添荣，
申请(专利权)人：铼宝科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]