补偿对工件上高对比度层、步进辐射中的能量差异的方法技术

本发明专利技术涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像，可适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明专利技术的多个方面可以应用到ＳＬＭ和扫描技术。本发明专利技术包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请公开了重叠区、保护区的使用、将多边形移动和重新定大小、使用两个分辨率级，表示区域、定义边、定位边和角。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种补偿在对工件上的高对比度层的多遍次、步进辐射中的能量差异的方法，所述方法包括：对应于在多遍次辐射中的所希望的能量贡献的图形而向重叠范围映射工件；使用能量来辐射工件的区域；记录被应用到在所述区域中用于重叠范围的区域 的能量；并且根据被应用到特定重叠范围的所记录能量，在随后的曝光遍次期间，调整所述区域的特定重叠范围的辐射。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：托布乔恩桑德斯特罗姆，马丁奥尔森，珀埃尔姆福斯，斯蒂芬古斯塔夫森，
申请(专利权)人：麦克罗尼克激光系统公司，
类型：发明
国别省市：SE[瑞典]