应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质技术方案

本发明专利技术实施例公开了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质；该系统包括：在双面抛光设备的定盘外围固定设置的红外标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的能被红外探测到的标签；其中，所述红外标签阅读器，经配置为当所述双面抛光设备停机下料时，在探测范围内检测是否存在目标标签，并将检测结果传输至所述控制器；所述控制器，经配置为相应于所述检测结果表征未检测到目标标签，向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。确位置。确位置。

【技术实现步骤摘要】
应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质


[0001]本专利技术实施例涉及晶圆制造
，尤其涉及一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质。

技术介绍

[0002]目前硅晶圆制造工艺流程中，执行双面抛光工序所采用双面抛光设备，通常包括上、下定盘和用于承载硅晶圆的承载盘（Carrier）。对于承载盘来说，其设计结构以不锈钢作为基础，表面涂布类金刚石薄膜（DLC，Diamond-Like Carbon）涂层，同硅晶圆相接触部分的内圆环部分镶嵌聚偏氟乙烯PVDF高分子材料。在双面抛光设备中，承载盘通常放置于下定盘上，并且承载盘能够绕自身轴线自转并绕所述下定盘的中心公转以实现相对于上、下定盘运动；上、下定盘均安装有抛光垫。上、下定盘同时施加压力并结合相对运动对承载盘上所承载的硅晶圆进行抛光。
[0003]在抛光过程中，基于上、下定盘同时施加的压力以及抛光垫相对运动的作用，通常会导致承载盘内所镶嵌的PVDF高分子材料会发生磨损，为确保硅晶圆产品质量，需要对承载盘的寿命进行管理以进行定期更换；此外，由于部分承载盘偶尔会出现品质问题，也需单独更换。因此会在进行承载盘更换后会出现同一台设备内的承载盘寿命不一致的问题，加大物料管理的难度。另外，双面抛光设备加工完成后会进行停机下料，此时，偶尔会因为停机时承载盘位置偏差导致硅晶圆位置错误的现象。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例期望提供一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质；能够对承载盘的寿命进行管理，并且监控承载盘位置，避免停机时由于承载盘位置出现偏差而导致硅晶圆位置错误的现象。
[0005]本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：第一方面，本专利技术实施例提供了一种应用于双面抛光设备的物料管理系统，所述系统包括：在双面抛光设备的定盘外围固定设置的红外标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的能被红外探测到的标签；其中，所述红外标签阅读器，经配置为当所述双面抛光设备停机下料时，在探测范围内检测是否存在目标标签，并将检测结果传输至所述控制器；所述控制器，经配置为相应于所述检测结果表征未检测到目标标签，向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
[0006]第二方面，本专利技术实施例提供了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法，所述方法应用于第一方面所述的应用于双面抛光设备的物料管理系统，所述方法包括：当所述双面抛光设备停机下料时，通过红外标签阅读器在探测范围内检测是否存在目标标签；
相应于所述检测结果表征未检测到目标标签，通过控制器向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
[0007]第三方面，本专利技术实施例提供了一种计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有应用于双面抛光设备的物料管理程序，所述应用于双面抛光设备的物料管理程序被至少一个处理器执行时实现第二方面所述应用于双面抛光设备的物料管理方法步骤。
[0008]本专利技术实施例提供了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质；在双面抛光设备停机下料时，若红外标签阅读器在其探测范围内未检测到任一标签，或者未检测到设置在目标承载盘的目标标签，则说明目标承载盘未处在停机下料时该目标承载盘理论上的位置，目标承载盘的位置出现了异常。因此，控制器当接收到表征上述检测结果时，就可以确定目标承载盘的位置出现了偏差，从而控制器可以向双面抛光设备发送复位指令，以使得双面抛光设备重新对承载盘的位置进行初始化，从而避免由于承载盘位置出现偏差而导致硅晶圆位置错误的现象。
附图说明
[0009]图1为能够应用本专利技术实施例技术方案的双面抛光设备结构俯视示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理系统组成示意图；图3为本专利技术实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理方法流程示意图。
具体实施方式
[0010]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0011]目前，双面抛光设备1结构的俯视示意图如图1所示，包括：定盘11和多个如斜线填充的载盘12；其中，定盘11为圆环形，包括内销环111和外销环112，每个载盘12均承载有多个硅晶圆2，本专利技术实施例以图1中所示的每个载盘12均承载有3个硅晶圆2为例。载盘12在内销环111和外销环112之间的范围绕自身轴线自转并且还绕所述定盘11的中心公转。上述双面抛光设备1在抛光过程中，不仅需要对承载盘的寿命进行管理以进行定期更换。另外，双面抛光设备1在加工完成进行停机下料时，偶尔会因为停机时承载盘位置偏差导致硅晶圆位置错误的现象。针对以上阐述，本专利技术实施例期望提供一种应用于双面抛光设备的物料管理方案，能够对承载盘的寿命进行管理，并且监控承载盘位置，避免停机时由于承载盘位置出现偏差而导致硅晶圆位置错误的现象。
[0012]基于此，参见图2，其示出了本专利技术实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理系统20，所述系统20包括：在双面抛光设备1的定盘11外围等距离设置的红外标签阅读器21、控制器22以及设置在承载盘12的能被红外探测到的标签23；其中，所述红外标签阅读器21，经配置为当所述双面抛光设备1停机下料时，在探测范围内检测是否存在目标标签，并将检测结果传输至所述控制器22；所述控制器，经配置为相应于所述检测结果表征未检测到目标标签，向所述双面抛光设备1发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备1针对承载盘12的位置进行初始化以使得承载盘12恢复到正确位置。
[0013]具体来说，在实施过程中，所述标签23可以包括激光标签、条码标签或二维码标签。当这些类型的标签处于如图2中虚线所示的红外标签阅读器21的探测范围内时，均能够被红外标签阅读器21探测到；除此之外，由于红外标签阅读器21的设置于固定位置，也就是说其探测范围也相应被固定下来，当标签23出现在探测范围时，设置该标签23的承载盘12的位置也相应地能够进行确定。在双面抛光设备1停机下料时，若红外标签阅读器21在其探测范围内未检测到任一标签，或者未检测到设置在目标承载盘的目标标签，则说明目标承载盘未处在停机下料时该目标承载盘理论上的位置，目标承载盘的位置出现了异常。因此，控制器22当接收到表征上述检测结果时，就可以确定目标承载盘的位置出现了偏差，从而控制器22可以向双面抛光设备1发送复位指令，以使得双面抛光设备1重新对承载盘12的位置进行初始化，从而避免出现混料的异常。
[0014]对于图2所示的系统20，其标签23具体可以包括激光标签、条码标签或二维码标签。以激光标签为例，具体来说，每当设定双面抛光设备1停机下料时，承载盘12理论上应当停留在一固定位置，基于此，可以将红外标签阅读器21的探测范围设置于与上述固定位置相应的一固定的方向，当双面抛光设备1停机下料时，目标承载盘的标签能够被红外标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于双面抛光设备的物料管理系统，其特征在于，所述系统包括：在双面抛光设备的定盘外围固定设置的红外标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的能被红外探测到的标签；其中，所述红外标签阅读器，经配置为当所述双面抛光设备停机下料时，在探测范围内检测是否存在目标标签，并将检测结果传输至所述控制器；所述控制器，经配置为相应于所述检测结果表征未检测到目标标签，向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述标签包括激光标签、条码标签或二维码标签。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，相应于所述双面抛光设备中按照设定顺序放置多个设置有所述标签的承载盘，所述红外标签阅读器，还经配置为基于在探测范围内进行检测，获得所检测到的标签顺序；并将所检测到的标签顺序传输至所述控制器；所述控制器，还经配置为按照所述设定顺序判定所检测到的标签顺序是否正确。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述多个承载盘的标签均设置于相应承载盘中的相同位置。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述标签中存储有所述承载盘的标识；所述红外标签阅读器，还经配置为当所述承载盘放置于所述双面抛光设备的下定盘上时，通过探测所述标签以读取存储于所述标签中的所述承载盘的标识；以及，将所述承载盘的标识传输至所述控制器；所述控制器，还经配置为基于所述双面抛光设备的加工次数记录所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命；以及，当所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命满足设定的工作寿命时，发送用于指示更换所述承载盘标识所对应的承载盘的提...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昀泽，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：