测量装置和光刻机制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测量装置和光刻机，所述测量装置用于检测测量光的偏振相差，所述测量装置包括测量主体、波片、偏振片、旋转台和图像采集分析单元，所述旋转台、所述偏振片和所述图像采集分析单元设置在所述测量主体上，所述旋转台用于驱动所述波片旋转，所述测量光经所述波片、所述偏振片后进入所述图像采集分析单元，所述图像采集分析单元用于采集、分析所述测量光并获得偏振相差，所述测量装置还包括冷却组件，所述冷却组件用于吸收所述图像采集分析单元和/或所述旋转台的热量。本发明专利技术中的测量装置和光刻机可改善测量装置和光刻机的稳定性。定性。定性。

【技术实现步骤摘要】
测量装置和光刻机


[0001]本专利技术涉及光刻
，特别涉及一种测量装置和光刻机。

技术介绍

[0002]对于浸没式投影光刻机而言，投影物镜偏振相差的测量结果容易影响光刻机的分辨率。目前，光刻机多采用测量装置测量投影物镜偏振相差。然而，现有的测量装置多存在稳定性低的问题，投影物镜偏振相差的测量结果稳定性低，光刻机的分辨率易受投影物镜偏振相差的测量结果的影响而波动，导致光刻机的稳定性低。
[0003]因此，急需对现有的测量装置进行改进，以提高测量装置的稳定性，从而改善光刻机的稳定性。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种测量装置和光刻机，以解决现有的测量装置和光刻机稳定性低的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种测量装置，用于检测测量光的偏振相差，包括测量主体、波片、偏振片、旋转台和图像采集分析单元，所述旋转台、所述偏振片和所述图像采集分析单元设置在所述测量主体上，所述旋转台用于驱动所述波片旋转，所述测量光经所述波片、所述偏振片后进入所述图像采集分析单元，所述图像采集分析本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量装置，用于检测测量光的偏振相差，包括测量主体、波片、偏振片、旋转台和图像采集分析单元，所述旋转台、所述偏振片和所述图像采集分析单元设置在所述测量主体上，所述旋转台用于驱动所述波片旋转，所述测量光经所述波片、所述偏振片后进入所述图像采集分析单元，所述图像采集分析单元用于采集、分析所述测量光并获得偏振相差，其特征在于，所述测量装置还包括冷却组件，所述冷却组件用于吸收所述图像采集分析单元和/或所述旋转台的热量。2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述冷却组件具有一冷却流道、流道入口和流道出口，所述冷却流道的一端与所述流道入口连通，另一端与流道出口连通，冷却介质可从所述流道入口流入所述冷却流道并从所述流道出口流出所述冷却流道。3.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述冷却组件包括第一冷却件、至少两个第二冷却件和第三冷却件，所述第一冷却件固定设置在所述测量主体上，所述旋转台设置在所述第一冷却件上，所述波片设置在所述旋转台上，所述第二冷却件固定设置在所述第一冷却件上，所述偏振片固定设置在所述第二冷却件上，所述第三冷却件固定设置在所述第二冷却件上，所述图像采集分析单元固定设置在所述第三冷却件上。4.如权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述冷却流道设置在所述第一冷却件中，所述流道入口和所述流道出口设置在所述第一冷却件上。5.如权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述第一冷却件包括第一冷却板和第二冷却板，所述第一冷却板固定设置在所述测量主体上，所述第二冷却板固定设置在所述第一冷却板上，所述第二冷却件固定设置在所述第二冷却板上，所述旋转台固定设置在所述第二冷却板上，所述冷却流道、流道入口和流道出口设置在所述第一冷却板和所述第二冷却板之间。6.如权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述冷却流道设置在所述第三冷却件中，所述流道入口和所述流道出口设置在所述第三冷却件上。7.如权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述冷却流道设置在所述第一冷却件、所述第二冷却件和所述第三冷却件中，所述流道入口和所述流道出口设置在所述第一冷却件和/或所述第三冷却件上。8.如权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述第一冷却件包括第一冷却板和第二冷却板，所述第一冷却板固定设置在所述测量主体上，所述第二冷却板固定设置在所述第一冷却板上，所述第二冷却件固定设置在所述第二冷却板上，所述旋转台固定设置在所述第二冷却板上，所述第一冷却件包括第一冷却流道、第一流道入口和第一流道出口，所述第一冷却流道的一端与所述第一流道入口连通，所述第一冷却流道的另一端与所述第一流道出口连通，所述第一冷却流道、所述第一流道入口和所述第一流道出口设置在所述第一冷却板和所述第二冷却板之间；所述第二冷却件包括第二冷却流道、第二流道入口和第二流道出口，所述第二冷却流道的一端与所述第二流道入口连通，所述第二冷却流道的另一端与所述第二流道出口连通，所述第一流道出口的数量与所述第二冷却件的数量相对应，所述第二流道入口与所述第一流道出口连通；所述第三冷却件包括第三冷却流道、第三流道入口和第三流道出口，所述第三冷却流道的一端与所述第三流道入口连通，所述第三冷却流道的另一端与所述第三流道出口连
通，所述第三流道入口的数量与所述第二冷却件的数量相同，所述第三流道入口与所述第二流道出口连通；其中，所述第一流道入口和所述第三流道出口中的一个为流道入口，另一个为流道出口。9.如权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述第一冷却件包括第一冷却板和第二冷却板，所述第一冷却板固定设置在所述测量主体上，所述第二冷却板固定设置在所述第一冷却板上，所述第二冷却件固定设置在所述第二冷却板上，所述旋转台固定设置在所述第二冷却板上，所述第一冷却件包括第一冷却流道和第一流道出口，所述第一冷却流道和所述第一流道出口设置在所述第一冷却板和所述第二冷却板之间；所述第二冷却件包括第二冷却流道、第二流道入口和第二流道出口，所述第二冷却流道的一端与所述第二流道入口连通，所述第二冷却流道的另一端与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵钦浩，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：