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本发明提供一种测量装置和光刻机，所述测量装置用于检测测量光的偏振相差，所述测量装置包括测量主体、波片、偏振片、旋转台和图像采集分析单元，所述旋转台、所述偏振片和所述图像采集分析单元设置在所述测量主体上，所述旋转台用于驱动所述波片旋转，所述测...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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