【技术实现步骤摘要】
图像扫描装置、激光封装设备、掩模板测量设备与方法
[0001]本专利技术涉及图像扫描
，特别涉及图像扫描装置、激光封装设备、掩模板测量设备与方法。
技术介绍
[0002]在包括玻璃基底的OLED器件、光伏器件的制造中，为了防止器件劣化，或者双层真空玻璃结构需要长时间的保持高真空度，通常采用高分子粘合剂或者高温烧结的玻璃料(glass frit)将另一玻璃盖板和玻璃基底接合，形成玻璃密封体。现有技术中，封框胶或者玻璃粉通过设定的参数进行印刷涂布，但是封框胶或者玻璃粉在印刷过程中各框边位置并不是绝对一致的，而是存在一定的制作偏差。在激光封装过程中，需要使激光光斑严格沿封框胶或者玻璃粉的印刷路线(简称印刷路线)进行扫描，以保证较高的照射面积比率，其中，照射面积比率＝光斑宽度/封框胶或玻璃粉的框边宽度)*100％。但是目前获得印刷路线的方法通常采用人工监控的方法，即监控光斑的移动路线并根据实际情况手动调试使光斑移动路线(即封装路径)与印刷路线一致，但是这种方法效率很低，影响产能，而非人工监控的方法亦存在异形图案监控难度大以及准
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种图像扫描装置，其特征在于，包括：TDI线阵扫描模块，被配置为在目标对象所在的二维平面内执行至少一次行扫描，并输出与各次行扫描对应的行图像信息，所述TDI线阵扫描模块包括线阵扫描镜头以及对应的TDI行图像传感器；以及图像处理模块，被配置为对所述行图像信息进行处理，以生成覆盖所述二维平面的整幅图像，并根据所述整幅图像获得所述目标对象在所述二维平面内的分布信息。2.如权利要求1所述的图像扫描装置，其特征在于，还包括以下模块中的至少一个：参数设置模块，被配置为根据所述二维平面的信息设置扫描参数，所述扫描参数包括行扫描次数、每次行扫描的起点和终点位置；运动控制模块，被配置为根据所述参数设置模块设置的扫描参数，控制所述TDI线阵扫描模块在所述二维平面内移动以执行各次行扫描；以及TDI控制模块，被配置为启动和停止所述TDI行图像传感器进行成像。3.如权利要求1所述的图像扫描装置，其特征在于，所述TDI线阵扫描模块还包括：照明模块，被配置为向所述线阵扫描镜头提供光源；高度传感器，被配置为获取所述线阵扫描镜头与所述二维平面之间的距离信息；以及镜头调节模块，被配置为根据所述距离信息，调节所述线阵扫描镜头，使所述二维平面处于所述线阵扫描镜头的焦平面附近。4.如权利要求3所述的图像扫描装置，其特征在于，所述照明模块包括光源和照明光导，所述光源为LED，所述照明光导为线光导。5.如权利要求1所述的图像扫描装置，其特征在于，各次行扫描的扫描方向平行；各次行扫描的扫描范围在所述扫描方向的垂向上排成至少一列。6.如权利要求5所述的图像扫描装置，其特征在于，位于同一列且相邻的两次行扫描的扫描方向相反。7.如权利要求5所述的图像扫描装置，其特征在于，位于同一列且相邻的两次行扫描在所述行扫描方向的垂向上的视场至少部分重叠。8.如权利要求1至7任一项所述的图像扫描装置，其特征在于，所述线阵扫描镜头的放大倍率为2X、3.5X、5X、7X以及10X。9.如权利要求1至7任一项所述的图像扫描装置，其特征在于，所述TDI线阵扫描模块以匀速运动执行各次行扫描，所述匀速运动的速率为所述TDI线阵扫描模块的采样频率与所述线阵扫描镜头垂直于所述扫描方向上的视场宽度的乘积。10.一种激光封装设备，用于通过激光束照射待封装基板中的封框材料以进行封装，其特征在于，所述激光封装设备包括如权利要求1至9任一项所述的图像扫描装置，所述图像扫描装置被配置为获取所述封框材料在所述待封装基板所在二维平面内的分布信息。11.如权利要求10所述的激光封装设备，其特征在于，所述激光封装设备还包括：基板台，被配置为放置...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓，魏礼俊，陈志刚，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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