临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法技术方案

本发明专利技术公开一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法。临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统。控制系统包括一智能图像识别单元、一处理单元及一远程操作单元。智能图像识别单元用以提取一屏幕画面，并自动辨识一警告事件的类型。处理单元用以在屏幕画面的一显示区域自动搜寻一目标图案。若在屏幕画面的显示区域自动搜寻到目标图案，则远程操作单元自动移动目标图案至显示区域的中心。移动目标图案至显示区域的中心。移动目标图案至显示区域的中心。

【技术实现步骤摘要】
临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法


[0001]本专利技术涉及一种控制系统与控制方法，且特别涉及一种临界尺寸扫描电子显微镜(critical dimension scanning electron microscope，CD-SEM)的控制系统与控制方法。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，各式精密电路芯片不断推陈出新。在半导体制造过程中，每一道工艺的质量都必须严格控管，以避免影响产品良率。
[0003]半导体工艺可以采用临界尺寸扫描电子显微镜(critical dimension scanning electron microscope，CD-SEM)来监测电路图形是否符合预定标准。然而，由于芯片的电路图形相当复杂，人员在操作临界尺寸扫描电子显微镜必须不断搜寻目标图案、或是进行焦距调整的动作。这些动作不仅容易出错，而且相当耗费人力与时间。因此，如何让临界尺寸扫描电子显微镜的操作更加便利，已成为半导体业界相当重视的一项研发方向。

技术实现思路

[0004]本专利技术涉及一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统，其特征在于该控制系统包括：智能图像识别单元，用以提取屏幕画面，并自动辨识警告事件的类型；处理单元，用以在该屏幕画面的显示区域自动搜寻目标图案；以及远程操作单元，若在该屏幕画面的该显示区域自动搜寻到该目标图案，则该远程操作单元自动移动该目标图案至该显示区域的中心。2.如权利要求1所述的控制系统，其中当该目标图案已移至该显示区域的中心，则该远程操作单元自动点击确认按钮。3.如权利要求1所述的控制系统，其中若在该屏幕画面的该显示区域无法自动搜寻到该目标图案，则该远程操作单元更自动执行对焦调整程序，以使该显示区域重新对焦。4.如权利要求3所述的控制系统，其中在该对焦调整程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击对焦调节按钮。5.如权利要求3所述的控制系统，其中在该对焦调整程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击焦距放大按钮，以放大焦距。6.如权利要求3所述的控制系统，其中在该对焦调整程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击焦距缩小按钮，以缩小焦距。7.如权利要求1所述的控制系统，还包括：若在该屏幕画面的该显示区域无法自动搜寻到该目标图案，则执行观测范围移动程序。8.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击倍率放大按钮，以放大倍率。9.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击倍率缩小按钮，以缩小倍率。10.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元自动连续点击该屏幕画面的该显示区域的多个角落。11.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元自动连续点击该屏幕画面的该显示区域的多个边缘。12.如权利要求1所述的控制系统，其中该智能图像识别单元将该...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈辉腾，尹又生，金艳慧，刘涛，吴晓宁，许弈佳，郭晓娜，王哲忠，陈有证，谈文毅，
申请(专利权)人：联芯集成电路制造厦门有限公司，
类型：发明
国别省市：