低热效应投影物镜制造技术

本发明专利技术公开了一种低热效应投影物镜，其选择合适材料并通过合理的结构设计，能实现在高曝光剂量下较小的热效应，降低了热效应补偿的难度，同时能在４４ｍｍ×４４ｍｍ方形视场范围内实现良好均匀的像质，物方像方工作距离达到３０ｍｍ，总长不超过８００ｍｍ，且不包含非球面镜片，不给加工、测试和装调增加难度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学系统，尤其涉及一种全折射式投影光学系统。 背景技水目前在半导体封装领域，微米级分辨率，高产率的投影光学系统需求日益 增加。但从紫外到深紫外波段都遇到了镜片热效应问题(lensheating)的困扰， 相应地产生了很多关于如何补偿热效应的装置和方法的探讨，例如美国专利 US7294814, US7084952, US5898479等，介绍的装置都针对镜片热效应进行检 测或补偿。 、但是如何从设计和选材角度预防镜片的热效应，相关报道较少。美国专利 US7239450从热效应角度讨论了石英晶体(SILICA)和萤石(CAF2)两种材料 的使用。专利的主要贡献是总结小通光孔径的厚透镜，比大通光口径的薄透 镜受寿命(lifetime )或热效应(lens heating)的影响更大，并给出了单个镜片寿 命/热效应敏感度系数其中，D表示单个镜片厚度；C4表示单个镜片的有效通光口径；〈D〉表示AT个 镜片的平均中心厚度；〈G4〉表示W个镜片的平均通光口径。氟化物晶体(如CAF2)比传统的石英晶体(SILICA)在短波^歐内有更高的 透光率，由于低吸收所以产生的热效应更小本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低热效应投影物镜，包括从物方到像方沿光轴依次排列的第一至第十二透镜，所述第六和第七透镜之间设有光阑，所述第一至第六透镜与所述第十二至第七透镜关于所述光阑对称；其特征在于：所述第一、第二、第六透镜具有正光焦度，所述第三、第四、第五透镜具有负光焦度；所述的十二片透镜中，全部采用了１０ｍｍ内部透光率达到０．９９９的材料制成，且所述的十二片透镜均不包含非球面表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：武珩，储兆祥，赵滨，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]